用于射频领域的高调节范围MEMS压控电容

在分析了传统平行极板MEMS压控电容的基础上,提出了一种新型的高调节范围MEMS压控电容。与传统的平行极板电容不同的是,它由三对极板构成。其中一对是起电容作用的极板,另外两对是控制极板。交流信号通过电容极板传输,而直流控制电压施加在控制极板上。使用有限元分析软件Ansys对该电容进行了模拟,得出其调节范围达214％,大大超出了传统的平行极板电容在调节范围上的自然限制(50％)。另外,设计了该电容的工艺流程。其工艺流程较简单,很容易集成在标准的RF电路中。