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针对惯性约束性聚变(ICF)实验中高分辨靶源辐射成像的需要,对结合电子束光刻和X射线光刻制作大高宽比菲涅尔波带片的制作工艺进行了研究。首先采用带有自支撑薄膜的衬底进行电子束光刻和微电镀技术来制作X射线光刻掩膜,以此来降低电子束光刻过程中的背散射,然后采用多次X射线曝光和全水电镀的方法来增强大高宽比图形的抗倒性,从而完成了大高宽比波带片结构的制作。对所制作的自支撑波带片最外环宽度为350 nm,厚度为3.5μm,高宽比达到10,侧壁陡直且具有优良的结构质量,可用于10 keV~30 keV波段的硬X射线成像。 相似文献
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本文根据菲涅耳线波带片的结构给出了在平行光照射下波带片焦面光强分布的计算公式。并利用此公式对线波带片焦面及其附近的光强分布结构进行了分析。对影响焦面光强分布的几个因素(波带序数,波带刻划误差及挡光带的透光性)进行了讨论。由此对线波带片的使用及制造提出了建议。 相似文献
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本文从X射线光刻自动对准特点出发,探讨采用圆形菲涅尔波带片做为标记,以激光做相干光源的电视对准原理。重点讨论其中光学系统工程问题,如总体考虑、精度分析、能量计算和均化、激光偏振态的传输和控制、激光背景噪音的抑制等。 相似文献
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利用菲涅尔波带法计算三维全息 总被引:2,自引:1,他引:1
根据全息理论,从点光源菲涅尔全息图的计算出发,提出一种利用主菲涅尔波带计算三维物体菲涅尔全息图的方法。通过读取 3DS 文件直接获得三维物体表面各点的空间位置信息,模仿物理全息计算出点的菲涅尔图,将组成三维物体的各点的菲涅尔波带叠加从而获得三维物体的全息图。该方法区别于用菲涅尔衍射公式的传统全息计算,用加法运算代替指数、乘除运算,从而大大加快了计算输出全息图的速度,且具有信息连续、无冗余信息等特点。实验对由 1060 个采样点组成的物体进行全息计算,生成一幅 1024×768 的全息图,所需时间为 83s。 相似文献
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