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友清 《激光与光电子学进展》1997,34(9):27
微型光学的进展已导致大量和批量处理衍射、折射微光学元件的发展,并产生可望使许多光子系统革命的新兴技术。这是一种对普通光学不易解决的应用的起动性技术。与微光学元件技术相似,微型光电子机械(MEM)为机械系统的尺寸微型化提供了强有力段,这是用普通机械加工法所无法达到的。美国和其它国家的许多公司正开始对开发这种技术倾注了巨大努力。用微型光电子机械来产生一系列装置将进一步影响微型光电子机械(MOEM)装置的工业应用,并将导致激光扫描器、焦平面列阵、动态微型反射镜、数字电视机和光学交叉条开关之类商品化产品的发… 相似文献
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N/A 《激光与光电子学进展》1971,8(11):31
美国国际商业机械公司的研究人员已经将光学集成回路与表面声波技术结合在一个器件中,从而使他们在由很小的底板上得到一个完整的光通讯系统组件的工作上前进了一大步。该公司制造的器件是一种能用作光信号开关的调制器。 相似文献
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《电子工业专用设备》2012,41(7):43-43
自即日起至九月底止,美国理波公司(Newport Corporation)针对精密光學精密光学机械元件、运动控制、光电测量仪器、光学平台、电光调制器、光电探测器、 相似文献
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季叶克 《激光与光电子学进展》1985,22(9):48
美国巴特耳纪念学院哥伦布分部建立了一套超净室设备,可以用来研制技术要求很高的微型元件和器件。这套设备能使公司扩大设计研究、制造和评价微型光学元件、薄膜和机械装置。 相似文献
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光应用技术的发展很显著,与其说是在纯光学产业,不如说是在横跨几个产业领域的许多领域中发挥其作用。另外与其以纯光学产业为基础,不如把基础放在机械产业上来重新认识光应用技术。特别是由机械产业如何有效利用光应用技术的观点,产生了“光机电”这种光技术、电子学技术以及机械技术融为一体的概念。基于 相似文献
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装配工作在光学技术中已日益显示出重要性。不仅光学零件间的相互组合,而且光学———机械件、光学———电气件都存在装配技术问题,描述了这些装配工作的可能性及易出现的问题。 相似文献
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利用硅—微机械元件,可实现光学结构的校准元件(如微光学台),其公差在微米级。这一技术可以有利地与集成光学件组合在一起,以便传输、分路和转换光学信号。机械功能件、电子学和光电子学半导体元件,以混合制造和连接技术,相互拼合在同一块硅 相似文献
10.
Aaron Hand 《集成电路应用》2006,(Z1)
浸没式光刻要实现32纳米技术乃至进一步向下延伸,在高折射率液体,光学镜头以及光刻胶等关键技术领域需要不断取得突破性的进展。为了得到更高的分辨率,超高数值孔径浸没式光刻技术势在必行,由此而产生的光学偏振问题会日益突出,现在光刻领域的专家已经开始着手解决这个问题。 相似文献