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相似文献
 共查询到20条相似文献,搜索用时 93 毫秒
1.
用AFM在室温和大气下对高温超导体Bi2Sr2CaCu2O8+δ(Bi2212)单昌是面的形貌和结构进行了系统的研究,观测到解理面绝大部分是原子级平滑的晶面。在晶面的边缘观测到高度为结构单元整倍数的台阶,这与该晶体是以层状模式生长的机制相一致的。进而证明了解理位置和解理分布。在解理面的局部区域,以高度为1.25nm,面积的为0.05μm的平台。X-射线微区分析证明这些小平台正是在Bi2212单晶生  相似文献   

2.
自对准外延CoSi_2源漏接触CMOS器件技术   总被引:1,自引:0,他引:1  
CO/Ti/Si或TiN/Co/Ti/Si多层薄膜结构通过多步退火技术在Si单晶衬底上外延生长CoSi2薄膜,AES、RBS测试显示CoSi2薄膜具有良好均匀性和单晶性.这种硅化物新技术已用于CMOS器件工艺.采用等离子体增强化学汽相淀积(PECVD)技术淀积氮氧化硅薄膜,并用反应离子刻蚀(RIE)技术形成多晶硅栅边墙.固相外延CoSi2薄膜技术和边墙工艺相结合,经过选择腐蚀,可以分别在源漏区和栅区形成单晶CoSi2和多晶CoSi2薄膜,构成新型自对准硅化物(SALICIDE)器件结构.在N阱CMOS工艺  相似文献   

3.
本文详细描述了自行设计和研制的4.2K低温扫描隧道显微镜的结构和性能,并报导了利用这台低温扫描隧道显微镜在4.3K下对2H-NbSe2单晶中的电荷密度波及高温超导体Bi2Sr2CaCu2O6+δ单晶电子隧道谱的观测结果。  相似文献   

4.
CoSi_2超薄外延膜的生长研究   总被引:2,自引:2,他引:0  
用质量分离的离子束外延(MALE-IBE或简作IBE)法在n-Si(111)上生长了CoSi2超薄外延膜.厚度为10~20nm的CoSi2薄膜的结构特性已由AES、RHEED及RBS作了研究.实验结果表明Co的淀积率对CoSi2单晶生长来说是一个关键因素  相似文献   

5.
用SEM的SACP技术分析解理断裂面的结晶学性质   总被引:2,自引:2,他引:0  
用SEM的SACP技术分析解理断裂面的结晶学性质朱衍勇,廖乾初(冶金工业部钢铁研究总院,北京100081)解理断裂是晶体沿一定晶面发生的开裂,它是B.C.C金属材料常见的一种脆性断裂机制。为了分析解理断裂过程的本质,往往要对断裂面中特征形貌的几何位向...  相似文献   

6.
利用AFM对在(100)和与(100)有6°切偏角的SrTiO3基片上用射频溅射方法制备的高温超导Bi2Sr1.6La0.4CuO6+δ(Bi2201)薄膜的生长模式进行了系统地研究。对应以上两类不同切割的基片,实验观察到两种不同的薄膜生长模式。对切偏角小于0.4°的(100)SrTiO3基片,本征的生长模式是梯田岛模式(Volmer-Weber模式),每层的厚度为c/2(1.25nm);在切偏角为6°的衬底上沉积的Bi2201薄膜则以台阶流模式(Step-flowmode)生长。Bi系高温超导体的本征的二维特性决定了薄膜的生长模式。  相似文献   

7.
本文利用卢瑟福背散射及沟道(RBS/C)技术,二次离子质谱(SIMS)技术等研究了MeVSi离子束轰击对BF2注入Si样品特性的影响.结果表明,退火后在BF2注入形成的PN结结区内仍有大量的二次缺陷.退火前附加一次MeVSi离子轰击可以有效地消除BF2注入区内的二次缺陷,抑制B原子的扩散,并提高B原子的电激活率.  相似文献   

8.
本文用热管法以氟金云母单晶为衬底生长出了(111)织构的C60薄膜,用X射线衍射谱研究了薄膜的织构特性,用扫描电镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)观测了薄膜的表面形貌、晶粒分布、结晶形和晶粒大小。  相似文献   

9.
多层结构铁电薄膜的I—V特性性能的研究   总被引:3,自引:0,他引:3  
为FRAM、FFET和FDM的实际应用研究,提出了多层结构铁电薄膜的设计思想,实际制备了M/BIT/p-Si、M/PZT/BIT/p-Si、M/BIT/PZT/BIT/p-Si三种结构铁电薄膜,并测量了它们的I-V特性曲线。结果表明,夹层结构铁电薄膜M/BIT/PZT/BIT/p-Si漏电流密度J最小,在500nm厚时J+(+3V)约2.8×10-10A/mm2,J-(-3V)约1.2×10-12A/mm2优于单层和双层结构铁电薄膜的结果。  相似文献   

10.
用提拉法生长了质量较高的Al∶Bi12SiO20和Cr∶Bi12SiO20(简称Al∶BSO和Cr∶BSO)晶体,测定了掺杂BSO晶体的吸收光谱。首次发现:Al∶BSO(摩尔比)为0.1%的晶体的透过率(80%)远高于纯BSO晶体的透过率(70%);Cr∶BSO晶体中除Cr3+外,还存在少量Cr4+  相似文献   

11.
本文报道了用原子力显微镜(AFM)研究的几种(YBCO)超薄膜的表面结构,这些膜分别生长在SrTiO3(100)基底,和具有厚度为40nm的PrBa2Cu3O7缓冲导的SrTiO3基底上,YBCO超薄膜厚度范围为2.5nm-25nm。在2.5nm厚的单层膜表面观察到了岛状结构,并在7.5nm厚的超薄膜表面首次观察到了台阶高度度不同的三种螺旋位错。同时还讨论了YBCO超薄膜的生长机理。  相似文献   

12.
在微重力下生长的GaAs:Si单晶结构缺陷的X射线研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
本文对空间生长GaAS:Si单晶,沿着生长方向用X射线形貌和双晶衍射方法进行了研究,X射线形貌观测到了在空间生长区域有一个扇形高完整区.双晶衍射表明,在这个扇形区回摆曲线最窄、强度较高.  相似文献   

13.
朱华飞  肖国镇 《电子学报》1997,25(7):124-125
基于强Universal_2函数的消息认证码构造与安全性分析TheConstructionandSecurityAnalysisofMessageAuthenticationCodeBasedonStrongUniversal_2Function¥朱华...  相似文献   

14.
本文选用了Co/Si/GaAs结构作为研究对象,经600℃恒温退火及800℃快速退火处理后,分别在GaAs衬底上形成Cosi2/GaAsSchottky接触.采用多种薄膜和界面的测试技术,对CoSi2:/GaAs的薄膜及界面特性进行了细致的研究.结果表明:热退大处理后,Co/Si经化学反应形成了较均匀的CoSi2单相,其薄膜电阻率约为30μΩcm.即使经900℃的快速返火处理后,GaAs界面仍保持相当的完整性,同时薄膜形貌也很理想.此外,采用I-V电学测试法对经750℃恒温退火处理后形成的CoSi2/Ga  相似文献   

15.
内电极对BZN基多层陶瓷电容器显微结构的影响   总被引:2,自引:0,他引:2  
研究了银钯内电极对Bi2O3-ZnO-Nb2O5(BZN)基多层陶瓷电容器(MLC)的显微结构的影响及对BZN复相陶瓷中立方焦绿石(α相)与单斜焦绿石(β相)的影响。利用扫描电镜观察晶粒的大小与形貌,利用能谱(EDX)检测不同晶粒的组成,采用波谱观察Ag迁移的情况,证明在MLC中存在Ag迁移。探讨了银钯内电极中Ag对晶粒大小及组成的影响,进一步说明其对MLC性能的影响。结果表明,内电极中的Ag破坏了β相的稳定性,有利于α相的生成,这在显微结构上表现为大晶粒比例的增大,在相组成上表现为α相比例增加,在电性能上表现为温度系数变负。  相似文献   

16.
WSi_2栅和Si栅CMOS/BESOI的高温特性分析   总被引:1,自引:0,他引:1  
用厚膜BESOI(BondingandEtch-backSilicon-On-Insulator)制备了WSi2栅和Si栅4007CMOS电路,在室温~200℃的不同温度下测量了其P沟、N沟MOSFET的亚阈特性曲线,分析了阈值电压和泄漏电流随温度的变化关系。  相似文献   

17.
码分多址(CDMA)蜂窝移动通信(2)吴家滨(广东省移动通信局)5CDMA数字蜂窝移动通信系统的容量在FDMA或TDMA蜂窝移动通信系统中,容量的计算是根据C/I的要求,求出频率重复使用次数K,再根据总的能使用的带宽B;和每个信道或等效信道的带宽Be...  相似文献   

18.
首次用化学氧碘激光辐射泵浦MgF2:Co晶体激光器。得到了40%的微分效率,相当于62%的量子效率,这说明MgF2:Co晶体可有效地作碘激光器的变频器和混频器。  相似文献   

19.
已经证明,用过渡族金属激活的氧化物荧光体作为场致发光器件的发光层以获得三角色,是有前途的。例如,发红光用Cr,发绿光用Mn与发蓝光用Ti。也已证明了ZnAl2O4:Mn或Zn2SiO4:Mn TFEL器件发出的绿光,Zn-Ca2O4:CrTFEL器件发出的红光与Zn2SiO4:Ti发出的蓝光均具有高亮度,适于用作全彩色TFEL显示器的三基色。  相似文献   

20.
Co/Ti/Si三元固相反应外延生长CoSi2薄膜   总被引:4,自引:3,他引:1  
刘平  周祖尧 《半导体学报》1994,15(4):235-242,T001
研究采用Co/Ti/Si三元固相反应的方法生长外延CoSi2薄膜。通过选择适当的热处理条件,采用步退火,在Si(100)和Si(111)衬底上均成功获得外延CoSi2薄膜。实验用XRD.TEM、RBS/channeling等测试技术分析CoSi2薄膜外延特性,得到的CoSi2/Si薄膜的RBS/channeling最低产额Xmin达到10-14%,实验时CoSi2/Si(111)样品,分别沿Si衬  相似文献   

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