金属膨胀式真空计量标准

介绍了新研制的金属膨胀式真空计量标准及其起努压力和体积比的测量方法，讨论了气体特性，温度变化格气体吸附等干扰效应，分析了标准装置的不确定度。该标准的校准范围为１０＾５－１０＾－４Ｐａ，校准电容薄膜规和磁悬浮转子规时不确定度为０．０１％－１．０％。     

静态膨胀法真空标准装置的体积原位测定

在静态膨胀法中，起始压力在膨胀过程中的衰减率为初态与终态体积之比。在我们新研制的金属静态膨胀法真空标准装置中采用气体膨胀技术对体积比进行了原位精确测定。测量仪器为ＤＰＣ７０１０石英规和两保满量程分别为１３３．３ｋＰａ和１３．３３ｋＰａ的电容薄膜规（ＣＤＧ），为了降低测量仪器之间的差异给体积测定带来的不确定度，测量前将石英规和ＣＤＧ的经对统一起来。这样，体积的测定主要取决于测量仪器的线性，与它们测量     

静态膨胀法真空标准装置不确定度的评定

现在国内真空系统普遍采用静态膨胀法校准10^-1-10^2Pa范围内的真空度,本文详细分析了一套真空标准装置在静态膨胀法中不确定度的评定方法,并给出了测量结果不确定度的报告。     

真空计量中静态膨胀法的计算

本文结合实际情况,详细分析了静态膨胀法的计算方法.     

略论绝对真空计量标准

仅就“绝对真空计量标准”略加评论，对真空计量标准的“绝对性”含义作一讨论。随着真空度的提高，真空度计量标准的绝对性越来越下降；相对真空度计量标准而言气体流量标准的绝对性还要更差些。     

静态膨胀法真空标准的发展概况

本文介绍了德国PTB、英国NPL、墨西哥CENAM、韩国KRISS、意大利CENAM、日本NMU、中国计量科学研究院和国防科技工业真空一级计量站的静态膨胀法真空标准的发展概况,对其前级标准,结构特点和性能指标进行了评述.     

略论绝对真空计量标准

仅就“绝对真空计量标难”略加评论，对真空计量标准的“绝对性”含义作一讨论。随着真空度的提高，真空度计量标准的绝对性越来越下降；相对真空度计量标准而言，气体微流量标准的绝对性还要更差些。     

膨胀法真空标准装置传递阀控制单元

本文提供了膨胀法真空标准装置中传递阀控制单元的一种设计。它能自动控制传递阀进行气体取样和膨胀过程，并同时记录膨胀次数。     

静态膨胀法真空标准容积比测量及不确定度评定

静态膨胀法真空标准是真空计量的基础标准,其校准的精度在很大程度上取决于容积比测量的精度。选用一台高压力气体活塞压力计测量膨胀前气体的压力;利用电容薄膜真空计作为比较器,用一台低压力数字式气体活塞压力计测量膨胀后气体的压力;对静态膨胀法真空标准的容积比进行了测定,并对测量结果进行了不确定度的评定。     

标准静态膨胀法真空装置研制

本装置检定范围(10^-3～10^5)Pa，最佳校准能力0．012％～2．2％．可以检定薄膜真空计。热传导真空计以及电离真空计。该装置的建立不仅满足了从大气到10^-3Pa高真空计量的需求，而且还可以用来校准标准漏孔，拓宽了检测领域。     

静态膨胀法真空系统

本文介绍了中国计量院新建立的一套静态膨胀法真空系统,其测量范围5×10-4Pa～1×105 Pa,扩展不确定度0.19%～0.02%(k=2).用参考体积法确定了系统体积比,并用增量法和预压累积法进行了体积比复测.用对流风扇的方法减小了系统温度分布差.     

定容式气体微流量标准装置

介绍了定容式气体微流量标准装置及其性能 ,讨论了温度变化、气体吸附和系统漏放气等干扰效应 ,分析了标准装置的不确定度。该标准的校准范围为 1× 1 0 - 3～ 1 0Pa·m3/s,不确定度 (1σ)小于 1 2 % ,用于校准热容式质量流量计。     

静态膨胀法真空标准校准下限延伸方法研究

影响静态膨胀法真空标准校准下限的主要因素是器壁放气,本文提出了使用非蒸散型吸气剂泵(NEGP)消除器壁放气影响来延伸校准下限的方法.NEGP对惰性气体无抽速,当以惰性气体作为校准气体时,NEGP既维持了校准室中的超高真空本底,又不改变校准室内惰性气体的气体量,从而保证气体静态膨胀时波义耳定律严格成立,使标准压力能够准确计算.这种方法将静态膨胀法真空标准校准能力的下限延伸到了10-7Pa量级.     

Development of vacuum metrology in National Institute of Metrology

Overview of the vacuum metrology development at the National Institute of Metrology, China is presented, including the different vacuum standards established years ago, the recently developed static expansion system and its characterization and the new compensated micro-manometer. Recent research of the performance of capacitance diaphragm gauges (CDGs) in Knudsen flow region, as well as the ongoing project on the constant pressure flow meter, micro-conductance measurement are also outlined.     

标准气体气瓶体积膨胀的精确测量

目前普遍采用称量法制备标准气体,在此过程中气瓶体积膨胀所引入的空气浮力的不确定度贡献不可忽视。设计了一个气瓶充气膨胀率测量装置,该装置可以控制气瓶内充入气体的压力,并利用精密移液管测量气瓶体积的膨胀量,从而准确计算出气瓶的充气膨胀率。利用该装置对国内常见的2L、4L和8L铝合金气瓶进行了测量,结果显示气瓶体积的膨胀与充入气体的压力近似成线性正相关。而且气瓶外观体积越大,充气膨胀率的数值越大,量值之间也呈现出较强的相关性。基于获得的气瓶充气膨胀率数据,可以进一步降低气瓶体积膨胀对瓶内充入气体质量的不确定度贡献,从而使气体质量的计算更加精确。     

ADC、DAC静态特性全自动测量标准装置

本文介绍一种模数、数模转换器静态特性自动测量标准装置和它的构成技术。该装置通过多个ＣＰＵ和计算机控制，可以实现全自动的测量。该装置采用组合放大器和组合ＤＡＣ技术构成２４ｂｉｔｓ标准ＤＡＣ，使之具有很小的微分线性误差、积分线性误差、零点误差和增益误差。实际测量速度为４０Ｈｚ～２５ｋＨｚ。     

真空泵微小抽速测试方法研究进展与分析

基于真空泵发展的实际需求,本文对真空泵微小抽速测试方法的研究现状与进展进行全面论述。首先,从三种常用的测试方法(流量计法、定容法和动态流导法)具体展开。通过回顾国内外学者的典型应用案例,分别介绍其测试原理与特点;接下来,讨论微小抽速的测试方法的难点及其应对策略,并对这几种测试方法进行对比分析,最后,就不同压力条件与测试方法的选用关系给出建议。同时,本文也提出未来可在真空泵极小抽速(<10^-5 m³/s)的精确测试和拓展测试气体的种类两方面开展进一步研究,以推动真空计量基础科研的跨越式发展。     

通信管道静摩擦系数标准器检定装置计量标准研究

介绍了通信管道静摩擦系数标准器检定装置计量标准的量传关系、组成、测量能力、主要技术参数、工作原理和检定方法,对可能影响检定装置测量结果准确性的因素进行了研究,确定了检定装置所用的标准试棒、采用的拉伸速度和对测量不确定度影响的因素。结果表明:检定装置所用的标准试棒与标准试件组成的摩擦副的静摩擦系数为0.120±0.005（拉伸速度为1.000mm/s）;温度和湿度对静摩擦系数的影响可以忽略;拉伸速度、重力加速度、标准试棒纵向中心线与推拉力计测头中心线重合度对测量结果均会造成影响,应作为B类不确定度分量加以评定。