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相似文献
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1.
基于雅敏干涉装置,提出一种新的可变载频(条纹频率可调)的径向剪切干涉仪。该干涉仪主体由两块雅敏干涉平板、两对可旋转双光楔、两个可变比例的扩束镜组成;双光楔用于调节条纹周期,以获取最佳干涉图;两扩束镜的扩束比例可变,以调节最佳剪切量。两块平板加工误差一致,同时所有光楔来源于同一楔板,参数一致,两扩束镜的性能参数也完全相同,光路对称,严格等光程。提出的干涉仪可一次性完成非球面模具的测量;并根据被测面形情况进行条纹周期和剪切量的调节,获得了最佳条纹图。最后,对球面/非球面模具表面进行了测试。结果显示:通过调节双光楔和扩束比,此干涉仪可获得较好的条纹图,为多种非球面模具的进一步高效检测提供了新的思路。  相似文献   

2.
共光路径向剪切干涉仪的设计   总被引:2,自引:2,他引:0  
何煦  马军 《光学精密工程》2011,19(9):2029-2035
针对常规像移式干涉仪无法用于大口径、长光路光学系统波像差检测的工程问题,设计了共光路径向剪切干涉仪以消除采用标准波面所引入的系统误差.设计中采用由三角棱镜与斜方棱镜组合而成的胶合棱镜组作为波面剪切器件,将待测波面与其复制波面产生干涉,并通过一组有不同相对孔径的透镜切换装置来控制干涉仪剪切比.与4D动态干涉仪在不同条件下...  相似文献   

3.
由于相移式横向剪切干涉仪相移单元的分辨率、精度等参数直接影响其测试物镜波像差的精度,本文根据相移式横向剪切干涉测试原理,设计了采用宏微复合运动模式的相移组件,该相移组件可在25 mm行程内实现纳米级的相移运动.重点分析了柔性铰链复合四杆结构微动单元初始设计参数间的数学规律,计算了铰链刚度与弱截面应力,并给出了具体的设计实例.采用有限元分析方法,对设计实例中微动单元的相移量与压电陶瓷(PZT)出力之间的作用规律进行仿真,并分析了相移精度.结果显示,PZT在促动力输出范围内可促动0.1 mm~1 nm的一维相移运动,理论精度优于3.5 nm.微动单元的开环标定测试结果表明,相移微动单元的实际精度优于5 nm.  相似文献   

4.
本文论述共路剪切扫描干涉仪原理,提出两种共路剪切干涉系统及一种新的条纹扫描方法。该干涉仪能有效地对光学表面、透镜进行精密检测,特别适用于光学非球面的检测,电适用于在没有严格环境控制的加工现场,对光学元件进行实时检测。  相似文献   

5.
光栅干涉仪的运动误差原理   总被引:1,自引:0,他引:1  
  相似文献   

6.
高必烈 《光仪技术》2000,16(3):17-26
剪切干涉仪具有其独特的抗震动干扰,无需标准比较球面等特点,它也不会出现其他类型的干涉仪经常出现的二束光(参考光与被检光)强度对比相差太大(往往是20多倍甚至更大),因而造成条纹对比度太差,甚至到无法拍摄测量的地步,因此适合于任何场合的检验,但它也存在一个“不直观”的毛病,即对同样的毛病,所呈现的干涉条纹与常规的干涉条纹不一样(以往的经验不能完全用上),且毛病的位置与量级也不能一目了然,即使是同一毛  相似文献   

7.
羡一民 《工具技术》1996,30(7):41-45
双频激光干涉仪的原理与应用(四)机械部成都工具研究所(610056)羡一民三、双频激光干涉仪的派生应用双频激光干涉仪在机床检定中的应用是双频激光干涉仪的基本功能,无需对仪器作任何改动即可实现。双频激光干涉仪同时又是一种高精度的长度传感器,可以直接安装...  相似文献   

8.
羡一民 《工具技术》1996,30(5):43-45
双频激光干涉仪的原理与应用(二)机械部成都工具研究所(610056)羡一民二、双频激光干涉仪在机床检定中的应用机床检定是双频激光干涉仪的主要用途,与传统的检测方法相比,具有以下特点:①可检测项目多。双频激光干涉仪与不同的附件组合,可测量距离、直线度、...  相似文献   

9.
羡一民 《工具技术》1996,30(6):43-45
双频激光干涉仪的原理与应用(三)机械部成都工具研究所(610056)羡一民3.垂直度测量垂直度测量使用直线度干涉仪附件,在测量垂直方向时,需增加一些转向光学附件,如图10所示。图10垂直轴线直线度测量示意图1、激光头2.转向平面镜3.往复反射镜4.夜...  相似文献   

10.
双频激光干涉仪的原理与应用(一)   总被引:1,自引:0,他引:1  
羡一民 《工具技术》1996,30(4):44-46
双频激光干涉仪的原理与应用(一)机械部成都工具研究所(610056)羡一民编者按双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上发展的一种外差式干涉仪。被测信号载波在一个固定频差上、整个系统成为交流系统.大大提高了抗干扰能力,特别适合现场条件下使用。仪器与不...  相似文献   

11.
介绍了光纤传感器,特别是干涉式光纤传感技术的优点。给出了光纤Michelson干涉仪系统的结构。重点给出了光纤Michelson干涉仪系统中信号光与参考光干涉原理以及影响干涉光强因素的理论分析。详细阐述了单模光纤偏振控制器结构、工作原理以及其对光纤Michelson干涉仪系统传感臂偏振态的控制。最后,给出了光纤Michelson干涉仪系统的应用分析。  相似文献   

12.
剪切电子散斑干涉仪的实验应用   总被引:1,自引:0,他引:1  
简要介绍剪切电子散斑干涉的基本原理,将标准试件在受栽后的位移和位移梯度干涉条纹,通过CCD摄取并进行处理,从干涉条纹直接获得令人满意的结果,通过实验说明该技术能够应用在各个不同的场合,将成为无损检测的有效方法.  相似文献   

13.
1前言接触式干涉仪是工厂及科研部门常用的高精度计量仪器,广泛用于量值传递和精密测量。随着机械加工向高精度发展,这种仪器的使用领域不断拓宽,但由于仪器的调整环节多,调整工作十分复杂,如果调整方法不正确,调整顺序不当,将影响工作效率并影响仪器的示值精度,...  相似文献   

14.
简化光路的激光干涉仪及其应用   总被引:1,自引:0,他引:1  
文中论述了简化光路激光干涉仪的原理,并对该仪器的测试精度和在机械工程中的应用进行了详尽分析。  相似文献   

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16.
快速成形技术原理与应用   总被引:1,自引:0,他引:1  
一、引言 快速成形技术,又叫快速原型制造技术,简称RP(Rapid Prototyping)技术。始于1979年,是在日本东京大学中川威雄教授发明的叠层模型制造法的基础上发展起来的一门新兴技术。于1996年由华中理工大学教授王运赣与新加坡精技私人有限公司合作,将其推向中国市场。到目前已成为一门  相似文献   

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激光干涉仪技术及发展   总被引:2,自引:0,他引:2  
羡一民  王科峰 《工具技术》2003,37(11):68-74
由于激光具有极好的时间相干性 ,其相干距离可以达到数公里 ,所以自激光问世以来 ,以激光为光源的激光干涉仪一直被人们所关注 ,其应用范围不断扩展 ,激光干涉仪技术也不断发展 ,出现了各种形式的激光干涉仪。  1 单频激光干涉仪和外差激光干涉仪尽管存在各种形式的激光干涉仪 ,但从原理上讲 ,可以归结为单频激光干涉仪和外差激光干涉仪两种基本类型。通常用于长度测量的激光干涉仪采用Machel son干涉仪系统 ,图 1为单频激光干涉仪原理示意图 ,分光器BS将激光分为 2束 ,一束射向定镜R ,另一束射向动镜M ,当动镜M移动时 ,经R和M的反射…  相似文献   

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