PTB220气压传感器在测量大气压力中的应用

一、工作原埕 PTB220感应元件采用VISALA研制的硅电容绝对压力传感器BAROCAP,是通过硅微加工而成.PTB220的工作原理是基于一个先进的RC振荡电路和三个参考电容,并且电容压力传感器及电容温度传感器连续测量,微处理器自动进行压力线性补偿及温度补偿.当得到压力变化时,硅薄膜弯曲使传感器真空室高度发生变化,导致传感器电容值发生变化.     

高精度扩散硅压力传感器的温度补偿

本文分析了扩散硅压力传感器的零点、零位温度系数及灵敏度温度系数三个基本参数并给出了温度补偿的计算公式。理论及实践均表明：采用此种方法补偿扩散硅压力传感器能满足高精度压力测量的要求。     

集成微型压力传感器

本文介绍了微型电子机械系统的发展，基本制作工艺及在传感器领域的应用。介绍了利用ＥＭＭＳ技术制造压力传感器的研究现状，重点描述了基于硅压阻效应的集成微型压力传感器及其封装技术。这种传感器通过Ｐ－Ｎ结电化学自停止腐蚀技术制作硅膜片，扩散电阻作为压电阻并形成桥路，且带有补偿电路。     

可对多参数测量的硅传感器系统的研制

本文介绍了一种新型的可对多个目标测量的硅压力传感器系统的研制,它是把多个硅压力传感器组合成一个完整的传感器系统,用于对多个不同的对象同时完成独力测量,文章具体描述了对压力、测量、干度实施测量的原理、过程以及传感器系统的结构制作。     

扩散硅绝对压力传感器的补偿方法研究

本文简要介绍了扩散硅绝对压力传感器的工作原理与结构,重点分析了传感器的零位温度系数与灵敏度温度系数及其温度补偿的方法,解决了此类传感器的稳定性问题。     

纳米添加材料压力传感器的实验研究

压力在生产、科研等过程中都是经常需要测量或者动态监测的物理量,常用的测量压力的装置有压力表,压力传感器等,传感器又分硅压式,陶瓷式,电压电容式等。近年来纳米材料由于其优良的物理、化学和力学性质已经成为各领域研究的重点。本文主要介绍一种新型碳纳米管添加材料压力传感器的工作原理。     

压力测量膜片的形变计算

电容式压力传感器测量膜片的形变，决定了计算压力测量环节中电容值的数学模型．介绍了测量膜片形变方程的建立、推导并对压力测量膜片在不同载荷下的形变特性进行了分析和计算，克服了原有测量膜片形变规律的错误模式。     

扩散硅精密数字压力计

在压力的精密测量领域采用智能仪表是目前的发展方向。本文介绍了新研制的ＫＳＹ型扩散硅数字压力计的工作原理、性能指标及温度补偿措施。     

压力传感器测量中不确定度的评定

对于任何用途的压力传感器都要进行静态特性的性能分析和测试，本文通过介绍压力传感器的原理及运用，以及评定压力传感器性能的各项技术指标和技术特性，阐述了压力传感器在检定过程中产生的各分量对测量结果的影响，从而保证了检测结果的准确性，使检定过程得到了有效的控制。     

低成本高灵敏度集成化压力与温度传感器

低成本高灵敏度集成化压力与温度传感器Ｐ．Ｐｏｎｓ等一、简介金属电阻为进行简便、精确及低成本的用度测量创造了条件。此外，电容压力传感器据供了一个高灵敏度、低温漂的压力测量方法。将这两种类型的传感器集成干同一芯片上看来是可行的，而且符合经济上的要求，因为...     

基于PSO-BP模型的扩散硅压力传感器温度补偿

硅的电导率易受温度影响,导致扩散硅压力传感器的输出电压随温度变化产生漂移,需对该传感器进行温度补偿,针对该问题提出粒子群优化的BP神经网络算法(PSO-BP)。通过二维标定实验,利用温度传感器监测实验环境温度,得到扩散硅压力传感器在不同工作温度下的输入输出特性曲线,建立PSO-BP模型。该模型利用粒子群算法全局寻优的能力为BP神经网络算法初始权值和阈值选取最优解,弥补传统BP神经网络初始值随机选取的弊端,克服容易局部陷入极值的缺陷。实验结果表明,经过PSO-BP模型补偿后的输出零位温度系数和灵敏度温度系数均减小一个数量级,证实该模型能够有效降低温度对扩散硅压力传感器的影响。     

材料试验机数字化改造中传感器的温度补偿

材料试验机的数字化改造是在液压式或机械式试验机上加装传感器,将力值转变为电信号,通过数据采集系统变换为数字信号,从而将其改造成电子式试验机。电阻应变片的电阻受温度影响很大．试验机在长时间工作时,油温会不断增加,使敏感元件及应变片的工作温度环境发生变化,如不采取当的适措施加以解决,将无法正常工作。本文研究了如何对应变式压力传感器进行温度补偿,以及检验压力传感器温度特性的试验.     

新型复合硅微传感器的设计

为了解决弹药武器系统的高温、高压、强冲击振动和紧凑设计条件的测试问题，提出了一种以半导体压阻效应、极间电容变化以及PN结温度效应为基本原理的加速度、压力与温度多参数硅微复合传感器．介绍了复合传感器的工作原理、系统构成以及有限元分析仿真模型．给出了传感器的微结构照片及其性能参数．     

采用薄结构膜片的用于生物医学方面的高性能压阻式压力传感器

采用薄结构膜片的用于生物医学方面的高性能压阻式压力传感器Ｓ．Ｍａｒｃｏ，等１．引言高性能的硅压阻式压力传感器已广泛应用于工业环境中，然而在生物医学方面，若利用硅压阻式压力传感器进行介入性测量以直接监视被测物，则将在大小尺寸、准确度和灵敏度方面受到严格...     

电容传感微小孔径的测量方法

分析了电容传感器的基本原理，推导了电容传感器测量小孔内径的数学模型，组建了电容传感微孔测量系统。研究了Ф3mm微孔电容传感器的制作方法及测量系统的标定方法．所制作的测孔传感器经标定后，测量分辨率达到0．01μm．该测量系统操作简单，可通过USB接口、结合测量软件在计算机上直接读出微小孔的内径值。     

利用电容式传感器测量液位的研究

采用差动电容差压传感器测量液体的压力,利用液体的压力公式计算液位,设计了一种便携式低功耗液位仪。该仪器可以实现液位信号的采集和运算,同时还配有温度检测系统,通过软件编程对液位进行温度补偿,同时计算出液位值,最后结果由LCD显示。     

流体物性对流量计量的影响及用途(二)

C：电导率电磁流量计电导率超过阈值即使变化亦不影响测量值，但低于阈值会产生测量误差。闽值视各制造厂不同型号而异，使用时还取决于传感器和转换器之间流量信号线长度及其分布的电容值，尽量降低电导率阈值以扩展电磁流量计的使用范围是重要的研究课题。d：流体物性为压力、温度及介质组份的函数，使用时由于压力，温度变化使密度发生改变，需要进行压力、温度补偿（修正），在某些场合，当流体组份亦发生变化时，就不能采用压力，温度补偿，而应采用密度补偿。现场压力、温度波动是不可避免的，由此引起物性参数的变动是使用时产生附…     

基于FBG温度解耦的光纤法布里-珀罗 高温压力传感器

本文提出了一种基于光纤布拉格光栅(FBG)温度解耦方法的光纤法珀(FP)压力传感器,该传感器采用低温共烧陶瓷(LTCC)技术实现批量化制作.通过在膜片式压力传感器的基础上集成光纤布拉格光栅(FBG),实现温度、压力双参数测量;提出温度解耦方法,对传感器进行温度补偿及压力测量结果的修正.实验结果表明,在20～300℃的温度范围内, FBG温度传感器的灵敏度为0.012 nm/℃,在160 kPa的压力范围内,压力测量灵敏度约为0.1μm/kPa, 3次重复实验的重复性误差和非线性误差分别约为5.6%和1.3%,温度系数为0.018μm/℃,压力灵敏度随温度变化为0.283 nm/(kPa·℃),同时,采用温度解耦方法,得到压力计算值与真实值最大偏差小于2.5 kPa.     

基于MAX1452的硅压阻压力传感器数字补偿设计与拟合分析

随着现代科学与技术的高速发展,高精度传感器的应用日趋成熟。MAX1452作为一种高度集成的模拟传感器信号处理器,具有16引脚SSOP封装、全模拟信号通道、低功耗、温度范围宽等特点,可用于硅压阻压力传感器的数字补偿。硅压阻压力传感器输出的信号经过MAX1452校准补偿版输出模拟信号,再经过A/D转换器输出数字信号,在这个过程中,MAX1452全模拟信号通道没有引入量化噪声,利用16位DAC实现数字化校正,16位DAC对信号的偏移量和跨度进行校准,实现硅压阻压力传感器的数字补偿。     

对称差动电容压力传感器

对称差动电容压力传感器Ｒａｎｄａｌ．Ｄ，Ｐｅｔｅｒｓ１．前言众所周知，轴线旋转差动电容（ＬＲＤＣ）传感器是首先用于全桥路的电容装置。人们早已识认到了全桥路的优越性，并用于电阻应变仪中，奇怪的是多年前并没有发明类似的电容技术。ＬＲＤＣ传感器具有传感大角...