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一、概述 随着真空技术在国民经济各部门的广泛应用。油扩散泵超高真空机组同无油超高真空机组一样被应用在许多大型表面分析仪器上。如国外电子能谱仪ES200、ES300、BSCA650B和VG公司SSMD2型分子束外延设备都配有油扩散泵超高真空机组。尽管返流油蒸汽污染真空室,但当采取适当措施。如挡油帽、水冷挡板、冷凝阱等,可使返流油蒸汽大大减少。尤其扩散泵与离子泵、升华泵比较,造价低。运行可靠、使用维护方便。特别是在某些仪器上,如电子能谱仪、高频溅射仪等,大大优越于无油机组。 一近年来聚苯醚的问世,给扩散泵的发展以强大的生命力… 相似文献
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金属旋压一般可以分为强力旋压和普通旋压。在旋压过程中,既改变形状又改变壁厚者称强力旋压。只改变形状基本不改变壁厚者称为普通旋压。YH—500型扩散泵高真空机组有36种零件采用旋压成形工艺制造。 相似文献
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众所周知,油扩散泵有许多优点,是真空技术中应用量大面广的设备之一,因此,世界各国都在不断地努力探索扩散泵的理论1)、2),改进扩散泵的结构,提高扩散泵的性能。近年来,我国真空技术工作者也在勤勤恳恳地做改进扩散泵性能方面的工作。但是,就目前情况看,我国的油扩散泵产品式样死板,性能还达不到国外同类型产品的水平。所以,有必要总结国内外产品的现状,找出差距,明确发展方向,为设计、制造出合格的油扩散泵产品作好准备。 一、国内、外油扩散泵产品 的现状 目前世界各国生产的油扩散泵的规格达300种以上,结构型式较多,性能也有差异。抽速最… 相似文献
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