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金属钽可作为集成电路中铜与硅基板的阻隔层材料,以防止铜与硅扩散生成铜硅合金影响电路性能。采用钽靶材通过物理气相沉积技术溅射钽到硅片上。靶材晶粒尺寸与织构取向影响溅射速率及溅射薄膜均匀性,要求钽靶材晶粒尺寸应小于100μm,在靶材整个厚度范围内应主要是(111)型织构。同时,为了避免薄膜存在杂质颗粒,要求钽靶材纯度不小于99.99%。本文对钽靶材电子束熔炼、锻造、轧制、热处理等关键工艺进行了系统研究,找到了一种有别于常规钽靶材生产工艺的新方法,所生产产品化学纯度、晶粒尺寸、织构等性能优良,产品成品率高,适于批量化生产。 相似文献
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通过轧制温度、轧制方式实验,以及织构和力学性能分析,研究了轧制工艺对液晶显示背光源用的深冲钼带的组织和性能的影响.结果表明:采用低温开坯,然后低温两次交叉轧制,再进行一次交叉轧制的工艺,使钼带在1 000℃退火后具有很强的{001}〈011〉板织构和弱的〈111〉丝织构;钼带纵、横向组织几乎完全一致,都为细小均匀、相互搭接的纤维状组织;钼带经过消除应力退火后,纵、横向不仅都具有较高并相近的延伸率,而且强度也相近,杯突值较高.由于强度和硬度适中,各项性能形成了很好的匹配,使钼带各向异性大大减弱,深冲性能良好. 相似文献
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研究了废硫酸回收用钽管的加工工艺.通过改进挤压管坯镗内孔的工艺,实现了挤压管坯不中断,用较长的挤压管坯生产Φ25×0.9×11 000 mm 的长钽管,减少了管材切头尾的长度,提高了管材成品率.在确定成品管前一道次管坯的尺寸时,要综合考虑LD30轧机最大装料长度、钽材的变形程度和减径量与减壁量的比值.用本工艺所制备的钽管已用于废硫酸回收的钽蒸发器的制造,获得良好的应用效果. 相似文献
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研究了固溶处理温度对细晶铸造K403合金的组织和性能的影响,最科确定热等静压后合适的热处理制度为:1180^ 10℃/4h 980℃/6h 相似文献
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The aim of this work was to determine accurate and reliable thermophysical properties of liquid tantalum from melting up to temperatures of 5000 K. Temperature measurements on pulse-heated liquid metal samples reported by different authors have always been performed under the assumption of a constant emissivity over the whole liquid range because of the lack of data for liquid metals. The uncertainty in temperature measurement is reduced in this work by the direct measurement of emissivity during the experiments. The emissivity measurements are performed by linking a laser polarimetry technique with the established method for performing high speed measurements on liquid tantalum samples at high temperatures during microsecond pulse-heating experiments. A set of improved thermophysical properties for liquid tantalum, such as temperature dependences of normal spectral emissivity at 684.5 nm, heat capacity, enthalpy, electrical resistivity, thermal diffusivity, and thermal conductivity, was obtained. 相似文献
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采用不同固溶和时效热处理工艺对液态铸锻双控成形AZ91D摩托车发动机壳体进行了热处理实验。结果表明:样品经过T4(415℃×9h,60℃水淬)处理后,合金的抗拉强度和延伸率最大,其值分别为239.7MPa,1.58%,较未热处理提高幅度分别为41.6%,79.9%。经T6(415℃×9h,60℃水淬+205℃×16h,空冷)处理后,样品显微组织中的第二相得到均化,在一定程度上强化了合金。未处理态、T4、T6状态下的拉伸试样断口形貌中均存在较多的韧窝,表明铸锻双控成形制件的塑性较好。T6(415℃×9h,60℃水淬)热处理后的拉伸试样断口形貌中韧窝最多,塑性最好。 相似文献