自准直仪及误差校准方法的研究

本文介绍了自准直仪的技术发展 ,对技术领先的二维自准直仪的自动测量原理进行分析 ,并对其示值误差的校准做了大量试验进而提出有效的建议和校准方法。     

基于数字式二维自准直仪的转台角位置误差校准时的影响因素分析

采用自准直仪结合多面棱体对转台的角位置误差进行校准是工作中普遍使用的方法。数字式二维自准直仪具有极高的精度和分辨力,被越来越多的应用在角位置误差校准场合。本文总结了实际工作中累积的经验,分析了用数字式二维自准直仪结合多面棱体校准转台的角位置误差时的几个影响因素,做了公式推理和试验验证,并提出了相应的解决方法。     

编码器分度误差检测中自准直仪读数的处理方法

自准直仪与棱体或多齿分度台等角度计量器具配合使用对编码器分度误差进行检测时,自准直仪读数的处理直接影响测量结果的准确性.通过分析,提出了应用《光电轴角编码器校准规范》中分度误差计算公式时自准直仪读数的处理方法.     

一种新型平尺直线度自动测量方法

阐述了按JJF 1097—2003《平尺校准规范》推荐的传统方法(桥板法)对平尺直线度测量存在的缺点,同时提出了一种采用光电自准直仪自动检测平尺直线度的方法,并分析比较了桥板法和光电自准直仪法检测平尺直线度的误差计算方法,最后总结出光电自准直仪法利用目前先进的仪器及计算机软件自动采集数据、无线传输、自动平差等技术,可大大减少人为误差,节省人力物力,所测数据准确可靠.     

CCD自准直仪示值漂移的自校准系统

数显式自准直仪使用时,气流等环境条件的影响以及仪器本身发热等原因都会引起示值的漂移和跳动,使测量误差增大、测量结果不能回零。采用增加一块固定反光镜作为参考镜,它与工作反光镜以自准直仪进行差动,组成自校准系统,可以有效地进行消减。仅用工作反光镜时2h内的漂移量为0.03″,经自校准系统后为0.01″;样本标准偏差为0.091 1″,经自校准后为0.057 4″。差动式反光镜自校准系统可以显著减小CCD自准直仪的示值漂移,对减小示值跳动也具有一定作用。且无论是对环境条件还是仪器本身原因引起的漂移和跳动都是有效的。     

光电自准直仪研究现状与展望

介绍了国际和国内光电自准直仪技术发展的现状 ,着重介绍了几种国际上比较先进的光电自准直仪产品以及国内光电自准直仪的研究现状 ,并对光电自准直仪今后的发展做出了展望。     

计量型激光椭偏仪初始入射角校准方法的研究

为保证计量型激光椭偏仪测量结果的准确性,研究了一种初始入射角校准方法,通过线性位移台带动CCD相机进行一维运动,其运动轴作为空间线性辅助参考量,实现了椭偏仪的入射激光光轴与自准直仪光轴的90°校准。结果表明:采用该方法校准计量型激光椭偏仪的初始入射角,光轴俯仰角偏差＜0.05°,偏摆角偏差＜0.09°;校准后,对标称值为102.10nm的Si上SiO₂膜厚标准片进行测量,示值误差＜0.4nm,提升了计量型激光椭偏仪测量校准服务的准确性。     

激光自准直仪示值误差的检定方法

针对激光自准直仪示值误差的检定,提出了一种基于双频激光干涉仪的检定方法,介绍了检定系统的工作原理。以双频激光干涉仪为基准反馈部件,利用自动控制技术对激光自准直仪示值误差的检定,系统可完成对标称示值误差为0.5″（±100″内）的激光自准直仪的自动示值误差检定,最后通过实验验证了方案的可行性。     

X射线衍射仪的角度溯源

采用溯源至SI国际单位的激光干涉仪和自准直仪分别对X射线衍射仪的θ角、2θ角进行校准,并且对角度引入的不确定度进行了分析.结果显示角度引入的扩展不确定度为0.02nm(k=2).     

自准直仪示值误差的调整

介绍了自准直仪的测量原理，对自准直仪示值超差的原因进行了分析，并说明了调整方法。