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低温沉积薄膜技术是发展微电子学器件和光电子学器件的关键工艺。射频等离子体增强化学气相沉积(PECVD)和微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积(ECR PCVD)技术都是能在低温或常温下制备各类优质薄膜的最新镀膜工艺。本文叙述采用这些技术沉积几种绝缘薄膜材料的制法、性能及其在半导体器件中的应用。 相似文献
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电化学沉积DLC薄膜的AFM研究 总被引:1,自引:0,他引:1
类金刚石碳膜 (diamondlikecarbonfilms ,简称DLCfilms)是一类硬度、光学、电学、化学和摩擦学等特性都类似于金刚石的非晶碳膜。例如 ,它具有高硬度 ,抗磨损 ,化学惰性 ,介电常数低 ,宽光学带隙 ,良好的生物相容性等特点。它可以应用于机械、电子、化学、军事、航空航天等领域 ,具有广泛的应用前景。目前制备类金刚石碳膜一般用气相沉积方法(化学气相沉积法和物理气相沉积法 ) ,但是气相合成实验装置的复杂性和基底的高温都导致了这些方法具有一定的局限性。近年来 ,研究人员开始了在液态低温下电化学沉积制… 相似文献
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半导体设备与工艺技术的现状及新技术 总被引:2,自引:0,他引:2
简要介绍了半导体的有关工艺技术和生产设备的发展动向。首先对光刻技术、干蚀刻技术、清洗技术、氧化?扩散技术、快速高温处理(RTP)技术、离子注入技术、化学气相沉积(CVD)技术、物理气相沉积(PVD)技术以及化学机械研磨(CMP)技术等分别加以介绍,然后对未来的发展动向提出一些建议。 相似文献
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正近日,应用材料宣布推出Endura Volta化学气相沉积(CVD)钴金属系统,藉由钴金属来包覆铜导线,提供半导体厂快速抢进20纳米以下先进制程。同时,应用材料也推出Endura Ventura物理气相沉积(PVD)系统,协助客户利用直通硅晶穿孔(TSV)技术快速完成3D晶片产能布建。应用材料将钴金属层的导入做为出色的金属包覆薄膜,是半导体导线材料过去15年来最重大的变革。Endura Volta化学气相沉积系统所拥有的两项新 相似文献
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韩国华 《光纤与电缆及其应用技术》1978,(4)
用化学气相沉积法(CVD法)制造低损耗导光纤维是非常有效的。但是,要获得足够厚的均匀的玻璃薄膜以便批量生产纤维,这个方法的代价是沉积速率太低。在提高沉积速率方面,我们已获得成功,与以前的气相沉积法 相似文献
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得益于绿色光源市场的驱动,全球每年都有大量新增的LED产能。2010年,全球将新安装大约750套有机金属化学气相沉积(MOCVD)设备,在单一年度中的安装基数增长50%,有机金属化学气相沉积设备总量达到2250套。2009 相似文献
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曹维敏 《光纤与电缆及其应用技术》1983,(4)
新型的光纤材料和制造工艺目前正处于研究和开发之中。现在采用的“普通”制造工艺有:改进的化学气相沉积法、内气相氧化法、外气相氧化法、气相轴向沉积法、等离子化学气相沉积法以及双坩锅法,在改进这些工艺方 相似文献
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《中国无线电电子学文摘》2007,(5)
O472007050439常压化学气相沉积技术生长ZnO:H薄膜的光学性质/李璠,王立,戴江南,蒲勇,方文卿,江风益(南昌大学教育部发光材料与器件工程研究中心)//光学学报.―2006,26(10).―1585~1588.采用常压金属有机物化学气相沉积技术(AP-MOCVD),以二乙基锌(DEZn)为Zn源,去离子水(H2O)为 相似文献
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用物理气相沉积技术(PVD)及化学气相沉积技术(CVD)制备的金属或金属化合物(如TiN、TiC等)薄膜,涂复在机械零件及刀、磨具的表面上,获得了日益广泛的应用。而薄膜的机械强度,是评价薄膜性能优劣的一个重要指标,本文试就薄膜抗拉强度和耐压强度的几种测试方法进行了归纳和论述,并对这些方法的适用范围及局限性进行了比较。 相似文献
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<正> 前言 提高模具的耐热、耐磨以及耐腐蚀性能通常指个两方面的工作。其一是对模具基体的热处理;其二是对模具表面的改性处理。模具表面改性的方法较多,有氮化、碳化以及氧化等化学处理方法,有化学气相沉积(CVD)法和物理气相沉积(PVD)法等镀膜的方法。PVD法是能够在工具钢(高速钢、模具钢)的回火温度下,在金属表面上沉积一层硬质膜的方法。特别是近几年发展起来的多弧离子镀沉积法,克服了以前离子镀的缺点和不足,使膜与基体的附着力显著提高。本文想介绍一些用PVD法得到的膜层的基本特性和在切削工具以及模具中的应用例子。 相似文献
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高压高功率VHF-PECVD的微晶硅薄膜高速沉积 总被引:2,自引:2,他引:0
采用高压高功率(hphP)甚高频等离子体强强化学气相沉积(VHF-PECVD)法对微晶硅(μc-Si:H)进行高速沉积,在最优沉积条件参数下对hphP和低压低功率(lplP)两组样品沉积速率、光电导、暗电导及光敏性等性能参数进行测试,得到了1.58 nm/s的较高沉积速率、光电性能优秀和更适合薄膜太阳能电池的μc-Si... 相似文献