JK型真空机组油扩散泵的修复

JK型真空机组主要由机械真空泵和油扩散泵组成,是高真空的获得设备。目前,在科研单位、学校、企业等都得到广泛应用。我厂从1977年起有14台JK──10(JK-200A)真空机组用于生产。 JK型真空机组工作时,机械真空泵是做为前级泵。在扩散泵工作前,使系统和扩散泵内达到一定的预抽真空度(≤5×10-2托)。在扩散泵工作中,把送到排气口的气体抽出泵体。扩散泵是获得高真空的主要设备。扩散泵加热后,泵内油蒸发,油蒸汽连续不断沿导流管经过备级喷阻得到高速蒸汽流。被抽容器的气体,由进气口扩散到蒸汽流中,即被高速蒸汽流迅速带走。蒸汽与其夹带的…     

二氯甲烷真空回收系统的研制

本文详细介绍了二氯甲烷真空回收系统,分析了采用爪式无油真空泵/罗茨泵真空机组抽取二氯甲烷的原理,比较了与水环泵抽取二氯甲烷所具有的优点,首先,二氯甲烷可以回收,对外部环境不产生污染,同时,具有抽速快、回收率高,可获得无油、洁净的真空环境,代表了一种新型的抽除气体的方法,提高了生产效率,为以后制造类似的设备提供有效方案。     

玻璃油扩散泵的应用

扩散泵是一种利用高速定向蒸汽流喷射抽气原理制成的真空获得设备。按泵的构成材料来说可分为金属扩散泵和玻璃扩散泵两类,按使用的工作液来说又可分为油扩散泵和汞扩散泵。由于玻璃油扩散泵具有使用简便、造价低廉、制作简单、极限真空度高、返油率低、同时又无毒害等优点,使得它在工业生产和科学研究各部门获得了广泛的应用。但是由于玻璃油系存在着机械强度差,泵的抽速受到玻璃管道的限制等缺点,使得玻璃油泵只能够适宜于作为小容器的真空获得工具。在电真空器件、激光管、特种光源等的工业生产中,在各种科研的小容器超高真空实验装置中,…     

JWC-1型无油超高真空机组性能简介

一、用途和基本参数 随着我国科学技术的发展,特别是通过文化大革命和批林批孔运动,我国真空行业也和全国其他行业一样有了飞速发展,各行各业都出现了新的面貌。为适应真空行业的 格要和发展,我厂与清华大学绵阳分校共同研制的JW C──1型无油超高真空机组已经制研成功,并列入了国家计划,进行批量生产。 该机组是用来获得清洁的超高真空的基本设备。它适用于原子能、宇宙空间模拟,表面物理、电子工业、冶金工业等。其基本特点是:所获取的真空是无油污染的清洁真空,使用过程中无振动,无噪声,操作简便等。 主要参数: 1.抽速;大于300升/秒(钛…     

我国一台大型空间环模设备获得超高真空

我国目前一台大型空间环境模拟设备,直径7米,高12米,容积400米~3。本文简介了超高真空系统的设计和调试情况,容器极限真空度为3.8×10~(-3)托。一、抽气系统的设计通常,大型空间环模室真空获得系统的设计可采用三种方案:早期(六十年代),采用大量的油扩散泵机组,尽量布满容器周围,如美国斯托克公司所研制的一台直径10米的环模室,用17台5万升/秒抽速的油扩散泵机组,容器极限真空为10~(-6)托。我们将此称为第一代抽气系统。第二代真空获得系统,是采用油扩散泵与20K深冷泵的组合抽气系统。由于引进有巨大抽速的深冷泵,抽气时间缩短,处理气体能力增大,极限真空达到10~(-8)托至10~(-9)     

中国真空学会第五届真空应用学术会议论文摘要(之一)

一、真空技术 V1 JLS—300型无油超高真空 机组的研制 胡昌官 金葆荔 白玉礼 (国营南光机器厂) 本机组采用JLS—300型复合离子泵与大通导能力的φ300mm口径的插板阀组成的新型无油超高真空机组。它的前级系统采用可烘烤至400℃ 的超高真空阀、离子阱、带放气的电磁阀、旋片真空泵及管道组成。它配备有完整的控制与测量装置。该机组具有结构紧凑、抽速大(2000 L/S)、极限真空度高(8 × 10～-10托),能获得清洁真空等优点。它适用于蒸发设备、溅射设备、排气设备,为科研和生产提供了新的抽气手段。 本机组是在300 L/8离子泵中加一钛球升华…     

复合离子泵的研制与调试

我厂是生产电真空器件的工厂。为了减少油蒸汽对器件的污染,原来所用的无油超高真空系统是以溅射离子泵为主体泵,尽管溅射离子泵有使用方便、可靠、极限真空度高、寿命长等优点,但也存在着启动压强低、用机械泵做前级难以启动,以及抽速低不能承受较大放气量(如电子管阴极分解时     

广东省潮阳市真空设备厂

广东省潮阳市真空设备厂现货供应Ｈ－１５０滑阀真空泵、ＺＪ－６００罗茨真空泵及真空机组广东省潮阳市真空设备厂是生产真空获得及应用设备专业制造厂。其主要产品有真空获得、真空阀门、真空应用设备三大类。并可按用户需要设计制造真空应用设备。产品符合部颁标准、价...     

真空—紫外辐照设备的研制

为研究真空—紫外辐照对空间材科的损伤,研制了真空—紫外辐照设备.介绍了设备的真空测试室,超高真空机组及紫外光源等部分的构成情况:以 L—600型溅射离子泵为主泵组成无油超高真空机组,工作压力为10~(-6)帕;卧式结构的真空测试室,设置了石英玻璃窗口,以满足样品辐照要求;特制的紫外光源可辐射200至300毫微米的远紫外谱线.最后介绍了用单向碳纤维材料板制备的试样所进行的紫外辐照、红外辐照和超高真空条件下的质量损失试验,并作了初步的试验结果分析.     

全无油超高真空设备的设计与调试的几点体会

着重介绍“全无油超高真空超纯表面制备和分析设备”、“分子束外延设备”“空间材料二次电子发射测试设备”的设计和调试过程中的一些体会.其中包括全无油超高真空机组的设计和方案比较;整机的结构布局形式;真空机组的布局以及主、辅泵的匹配.较为重点的叙述了升华泵的设计.这几种全无油超高真空设备的极限压力范围为4×10~(-8)—6×10~(-8)帕;真空机组的极限压力为2×10~(-8)—3×10~(-8)帕.     

三级罗茨泵直腰茧形转子型线的研究

三级高真空罗茨泵是一种新型罗茨泵，具有极限真空高、压缩比高的特点．在１０～１０－３Ｐａ范围抽速大，并获得无油真空。用于溅射、离子镀及真空沉积设备等抽气，优于扩散泵和分子泵。     

第八讲：真空系统设计

一、真空系统的组成真空应用设备种类繁多，但无论何种真空应用设备都有一套排除被抽容器内气体的抽气系统，以便在真空容器内获得所需要的真空条件。举例来说：一个真空处理用的容器，用管道和阀门将它与真空泵连接起来，当真空泵对容器进行抽空时，容器上要有真空测量装...     

粗真空、中真空获得设备的最新进展与应用

随着真空应用技术的发展,对真空获得设备的要求愈来愈高。真空泵必须是低振动、低噪声、高可靠、耐腐蚀、清洁无油。本文介绍了最新的粗真空、中真空泵的结构与性能以及它们在光伏行业、制药工业、汽油蒸汽回收以及空间模拟方面的应用。     

多靶双室磁控溅射机的研制

根据淀积高科技术课题所需的铂薄膜及淀积各种其它金属、合金和绝缘体薄膜的需要，提出了研制有良好均匀性、低沾污及有较好通用性的研究型磁控溅射设备的具体设计要求。在考虑了整个真空机组适当配置的基础上，对真空获得的抽速要求进行了设计计算。所研制设备的真空性能很好地达到了设计指标（最近国内有单位欲引进国外同类产品，所以将当年的研究情况作简单介绍）。     

坚持“三个整顿”提高产品质量

我厂是一九六九年建成投产,生产真空泵的小厂。建厂初期,只能生产三种规格的旋片式真空泵。几年来,我们在“工业学大庆”的群众运动中,坚持大搞群众性的科学实验和技术革新,在提高产品质量的同时,年年有所创新。目前已发展到有整个系列的2X型旋片式真空泵,高真空油扩散泵。高真空机组、高真空镀膜机和高真空干燥箱等五个品种、十三种规格的产品。 上级党委规划我们厂在今年内建成大庆式企业,我们在驻厂工作队的帮助下,狠抓揭批 “四人帮”深入开展“三大讲”、“三对比”、“两本帐”运动,在提高群众觉悟划清界限的基础上,围绕着提高产品质…     

滑阀式机械真空泵的设计与计算

一、前言 滑阀式机械真空泵(以下简称滑阀泵)是油封式机械真空泵中的一种,这种泵在油封式机械泵中多半是属中型以上的泵,是真空技术中的获得设备之一。它可单独使用获得真空,也可以作为机械增压泵、油增压泵和油扩散泵等真空泵的前级泵,适用于真空冶炼、真空浸渍、真空冷冻干燥、高空模拟、电子工业、化工、轻工及医药等部门。 几年来,我厂广大革命职工在毛主席的无产阶级革命路线指引下,特别是通过无产阶级文化大革命运动后,随着祖国真空事业的迅速发展,我厂基本上发展生产了滑阀泵的整个系列。 滑阀泵的工作原理(见图1),它是有一个滑阀套…     

CD-J50型超高真空阀门

前言 随着电子工业的迅速发展,对清洁超高真空等基础工艺提出了新的更高要求。自一九七三年以来,我厂研制了一些长寿命、高可靠、低噪音的电子管。因而逐步对原有的油扩散泵抽气系统进行了技术改造。用冷阴极钛溅射离子泵和钛球升华离子泵抽气系统更换了油扩散泵抽气系统。经过几年来的生产实践和不断改进,已能适应和满足生产的工艺要求,收到了初步的效果。在制造钛泵抽气系统的过程中,由十一车间,技术科、八车间等单位三结合设计,制造了CD──J50型超高真空阀门(见图 1)。用作为联结主泵,被抽容器和子抽系统的控制阀。 一、 CD──J50超…     

新产品可行性立项报告——无油密封润滑无水循环冷却的全干式特种真空泵

(一)产品研制意义 　　真空泵是用于抽除特定密封容器内的气体,使该容器获得一定真空度的基本设备.由于现代科学技术的高度发展,真空泵的应用已遍及各个科学领域和各种企事业单位,包括冶金、化工、轻工、石油、医疗、制药、印染、电器、电真空、半导体、食品、原子能、纺织、粮油、蔬菜、水果、肉食、渔业等各行各业及科研机关、大专院校、工矿企业作科研和生产、教学之用.……     

玻璃破碎新鲜表面吸气特性及其诱导下快速抽气新方法研究

高真空获得及维持技术对微纳材料制备、微电子设备制造、真空电子器件工艺优化等领域的科学研究及工业应用至关重要。文章面向高真空获得及维持过程中吸气材料吸气机理解析及寻优材料替代之关键科学问题,致力于克服传统高真空技术维持高真空状态能耗高、传统高真空获得方法依赖于昂贵设备和复杂操作等缺陷,提出了一种基于玻璃破碎新鲜表面诱发高真空获得及压力下限突破的新方法;文章首先开展了吸气成分及分压力测试实验及最大有效抽速实验研究。实验结果表明新鲜玻璃破碎表面具备吸气效应;解析玻璃新鲜表面吸附的主要气体成分及分压力变化,剖析出主要吸附气体组分为氢气和氮气;定量评估了新方法的抽气能力,利用蒙特卡洛方法仿真分析了泵出口管道的传输概率,获得新方法的最大有效抽速。相比现有真空获得和维持技术,文章所提出的新方法具有易激活、材料性价比高、抽速可观等优势,有助于为狭小空间高真空获得及维持提供新型技术途径及应用有效性参考。     

中国真空获得设备的进展

扼要介绍了中国真空获得设备的发展情况。对低中真空获得设备、高真空获得设备、无油抽气手段等三方面的内容作了介绍与分析。