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文章综述了异质结双极晶体管和扬效应晶体管的发展概况,介绍了异质结器件的主要设计原理以及双极、单极器件的优点,也叙述了异质结器件工艺实现的可能性。 相似文献
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<正> 一、引言六十年代初硅双极功率晶体管的研制开始进入微波领域,从那时起功率晶体管开始闯进长期以来为电子管牢固独占的微波电子管阵地。整个六十年代尤其到七十年代头几年硅微波双极功率晶体管雨后春笋般地向频率更高、功率更大的方向飞速发展。1965年E.O.Johnson 发表了晶体管的功率频率极限问题的研究。梳状图形的结构出现较早,接着出现了复盖图形结构,1967年出现了网状发射极结构,70年又出现了菱形结构。由于微波波段同低频、高频和超高频相比有频率高、频带宽的优点,因此微波功率晶体管很 相似文献
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一、引言目前,半导体微波技术,正在电子对抗、卫星通信、遥控、遥测、相控阵雷达以及民用微波通信等现代化整机方面广泛地得到应用。半导体微波器件的发展,业已促进了整机的固体化和小型化的实现。而现代化的整机,又对半导体微波器件提出了更高的要求。比如在微波波段要有大功率信号源以作固体发射源,又如在微波领域要有低噪声器件以作固体接收部件。目前,在半导体微波器件中进展最快的是微波晶体管。双极晶体管和场效应晶体管 相似文献
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1.引言近年来,由于微波双极晶体管和微波场效应晶体管在制造工艺上所取得的成就,使得使用电真空器件的一些无线电设备单元完全可以用半导体器件代替。用线性放大器作为无线电发射设备的输入,输出极和中放、以及作为无线电测量仪器的某些单元是 相似文献
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微波的波束竟,虽然分辨率不如激光,但适于搜索目标。微波的大气衰减小,可以全天候工作,微波管的研制水平较高较成熟,可以提供大功率、高效率、宽频带、长寿命的功率源,因此微波管是有重要地位和生命力的。虽然微波固体器件有不少优点,有取代微波管的趋势,但在要求较大功率的场合微波管具有独特的优点。美国60年代末70年代初忽视微波管的发展,使美国的军用系统受到严重损害,这是一个深刻的教训。目前国际上既注意毫米 相似文献
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研究和改进微波晶体管的关键是设计理论、制造技术以及在电路上的应用。就制造技术来讲,至今,围绕着杂质和图形尺寸的控制极限,已经制造出微波晶体管。因此,为获得较好的特性,必须改进某些制造技术。研制如上所述的性能优良的晶体管取决于多方面的进展:包括考虑片子处理的技术规范和研究对于外电路适用性的最佳设计。尤其是在片子处理方面,以杂质扩散为中心的技术改革,收效最大。本文描述了实现具有必要的杂质浓度的浅扩散层技术。达到上述目的的首要一条是采用砷发射极扩散,砷发射极扩散实际上消除了所谓的陷落效应。其次是表面处理,即去除作为基区的硼扩散层的表面异常层的一个方法,从而使浅结的稳定扩散成为可能。由于光刻技术的改进,已经实现了1微米的最小图形尺寸。使用钴-金制作电极。利用上述技术制造的晶体管可作6千兆赫下的低噪声放大(在6千兆赫下最小噪声系数NF_(min)=3.3分贝),其性能是如此的优良,以致在8千兆赫下晶体管仍能给出可用增益。另外,已经得到了表明其有良好可靠性的数据。 相似文献
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