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在对半导体硅片制造生产线进行建模和仿真的过程中,提出了非动态加工区和动态加工区的分类思想,给出了各自基于Simu18的实现方法。对于高度复杂的动态加工区,给出了3种解决方法,从仿真速度上比较其优劣。仿真应用表明,提出的半导体生产线分类方法有效改进了仿真的性能,使仿真指导生产具有可行性。 相似文献
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为满足半导体生产线建模与仿真在仿真性能、仿真真实性等方面的要求,本文采用Simul8复杂系统仿真软件作为仿真工具,并对Simul8进行二次开发,利用其提供的COM接口,选择C#作为二次编程工具,通过Simul8模型的XML文件控制模型,实现了C#和Simul8之间的相互通讯和相互控制。 相似文献
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详细阐述了离散事件仿真技术的原理及其关键技术,并将其应用于半导体生产线建模。在分析半导体生产线系统的仿真需求的基础上,以单进程为离散事件处理机制,对12个加工中心、40台机器组成的半导体生产线进行了建模研究,验证了半导体生产线仿真的正确性。 相似文献
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基于Petri网与SimEvents的半导体晶圆生产线建模与仿真 总被引:1,自引:0,他引:1
SimEvents与Petri网相结合是一种很好的复杂生产线建模仿真方法,应用这一方法建立了一条300mm晶圆生产线的仿真模型.描述了其Petri网模型建立的总体流程和各个详细步骤,以及在SimEvents环境下实现Petri网模型并进行仿真的关键技术.在此基础上,对晶圆生产的不同调度方案分别进行了仿真,并把仿真结果进行了比较,从而验证了仿真建模方法的正确性. 相似文献
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为解决装甲装备体系保障能力生成的关键技术难题,针对现有需求和装备保障体系仿真中心建设的实际情况,以装甲机械化部队为主要研究对象,论文主要研究内容包括:描述了装备保障体系概念,构建了装备保障体系结构框架;总结了适合装备保障体系的建模与仿真方法,采用分层建模、基于多Agent和基于UML的体系建模方法,建立了装备保障体系模型,并对模型进行了仿真;借鉴霍尔三维结构,建立了装备保障体系评估对象维、评估指标维和评估目标维,进行装备保障体系效能评估;通过研究,初步明确了装备保障体系的内涵,明确了适合装备保障体系的建模与仿真方法,具备一定的实用性和可操作性,能够为进一步推进装备保障体制改革、完善综合保障体系、创新保障模式、增强综合保障能力提供有力的理论支撑。 相似文献
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文章分析了生产线制造过程的数字化制造环境,提出了基于扩展事件过程链的生产线制造过程建模仿真方法。在此基础上,采用面向对象软件方法,详细设计和实现了生产线制造过程建模仿真系统的各个组成模块。该软件系统应用于实际生产线的规划设计,对生产线进行仿真分析和性能优化,与CIMS其它子系统集成运行,提高了生产线制造过程的整体性能和经济效益。 相似文献
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提出在高层体系结构(HLA)下集成多Agent的方法对半导体生产线进行建模与仿真。多Agent系统可以提供仿真的智能支持,而HLA则可以提供一致的基础框架,解决多Agent仿真带来的互操作和一致性问题。针对半导体生产调度的特点,构建了仿真系统框架。仿真联邦由Agent联邦成员和非Agent联邦成员组成,各联邦成员之间通过对象类、交互类、Agent消息实现互相访问,Agent联邦成员通过协商算法生成优化的调度方案。最后,基于JADE实现了一个多Agent的半导体生产线调度仿真系统,并进行了仿真实验。 相似文献
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在烧结生产中,风机的振动是一个严蕈的问题,利用仿真方法分析烧结生产线上主要振动部位,是一个重要且可行的方法.建立了烧结生产中气体流动的动力学模型,探讨了有限元分析方法在求解模型中应用.在ANSYS软件里建立了烧结主抽风系统的二维分析模型,在仿真过程中,根据料层透气性的不同,综合考虑流量、负压和温度等因素的影响,探讨烧结过程中主抽风系统的气动特性,给出了不同透气性条件下的烧结管道内的流速分布图和压力分布图.分析了烧结生产中发生喘振的原因,给出了烧结主抽风系统中最容易发生故障的区域.仿真结果表明:为保证烧结过程正常运作,料层透气性应保持在一合理范围内.研究成果可为优化烧结生产过程及提高烧结产量提供理论参考. 相似文献