激光干涉仪在测长机不确定度评定中的应用

依据测长机校准规范中关于分米刻度尺的校准方法,为了尽可能消除测量过程中的各类误差,保证校准数据真实可靠,本文利用激光干涉仪对测长机分米刻度尺进行示值误差的不确定评定,评定结果小于测长机分米刻度尺误差的三分之一,满足精度要求,可供从事测长机校准工作人员参考。     

激光干涉仪在10米测长机导轨直线度检测中的应用

为检测10米光栅测长机导轨的直线度,采用双频激光干涉仪系统作为主要测量工具,以最佳平方逼近法计算10米光栅测长机导轨的直线度。根据双频激光干涉仪的测量直线度测量原理,结合直线度的评定方法,对10米光栅测长机导轨的直线度的测量方法进行了介绍。实验表明,采用双频激光干涉仪测量直线度的方法实用,较为准确、方便、直观。     

满足一等量块检定要求的接触式激光量块干涉仪

最新研制的接触式激光量块干涉仪主要用于测量一、二等量块的中心长度，其长度测量不确定度达到（0.02 0.2L)μm。文中介绍了其工作原理、测量不确定度分析，给出了量块测量的验证数据。     

激光干涉仪

激光干涉仪安田贤司１．原理和结构（ｌ）原理干涉仪是用某种方法使光束分为两路，它们行经不同的光路后再重合，观测由各光路长度决定亮暗的光强度（干涉条纹）的装置。光具有波的特性，上述重合将产生相互加强或减弱的现象，称为干涉。（图１略）（２）结构图２斐索干涉...     

校准测长机分米刻度尺示值时应注意的问题

分析测长机可能产生的误差及运用激光干涉仪对分米刻度尺示值误差进行校准时,存在的误差源及如何减小或消除该项误差。     

基于激光干涉仪的液位计检定装置设计研究

根据液位计的工作原理及JJG 971-2019《液位计》检定规程,本文利用连通管中液位保持等高的特性,以激光干涉仪为主标准器,研制了液位计专用检定装置。同时,提出相应的检定方法进行量值溯源,并对其示值误差进行不确定度评定。结果表明：该装置操作便捷、适用性强,能有效提升检定精度。     

工厂实用型激光干涉仪

本文介绍的仪器采用实物长度标准定标,不需要测定空气折射率,在标准温度(20℃)时可直接读数。且仪器成本低,适合工厂使用。     

激光干涉仪测量测长机示值误差时阿贝误差的影响

不符合阿贝原则的仪器,测量时导轨直线度将产生较大的阿贝误差。测长机按其结构是不符合阿贝原则的,但其具有特殊的光学系统可以补偿所产生的阿贝误差,使之不对测量结果产生影响。     

乌氏干涉仪示值误差检定及其方法误差分析

JJG101-81检定规程指出:检定示值误差应在分度值为0.2,0.1,0.05UM情况下以二等量块配对法进行.     

激光干涉仪在数控机床测量方面的应用

激光干涉仪作为数控机床的测量装置是集光学、精密机械、电控技术、数据处理、计算机技术于一体的高技术精密检测装置,采用完全非接触测量方式,实现数控车床在自动化方面的飞跃,在未来必将会有更为广阔的发展前景。当然面对不同的数控机床要采用不同的测量方式,并且对不同的测试结果进行科学的分析,要明确激光干涉仪在数控机床上的测量方式,把握双频激光干涉仪在数控车床检测中的应用,加强对激光干涉仪的使用快捷方式进行分析,最大限度地扩大激光干涉仪在数控机床测量方面的普及。     

激光干涉仪在气体微小流量测量中的应用

为了提升气体微小流量的校准能力,拓展流量校准范围下限,以被动活塞式玻璃体积管主标准器作为研究对象,提出一种使用激光干涉仪实时测量活塞移动位移从而计算得出标准流量的方法,将流量范围下限从1 mL/min扩展至0.01 mL/min.开展了流量重复性试验及标准流量不确定度分析,试验结果表明该标准器在扩展的微小流量范围内具有...     

激光干涉仪使用技巧

本文讨论了激光干涉仪在使用中的准直等技巧,用户在实际使用中增加配件以及维护中遇到的问题.     

GLI-100型量块激光干涉仪

本文所介绍的是最近研制成功的GLI—100型量块激光干涉仪,主要用激光波长直接测量高精度量块的长度,又可免去传统方法测量时必须把量块与辅助面相研合的麻烦,本仪器由光、机、电、电感、电子、激光和环境参数(温度、气压、湿度)测量系统等各部分组成,集当代一些高新技术于一体而设计研制成功的自动化、智能化、原理新颖的光波干涉仪。     

激光干涉仪在纳米测量中的典型应用

激光干涉仪具有测量分辨力高、测量结果可溯源等优点,在纳米测量中的应用日益广泛。介绍纳米测量机和低膨胀材料线膨胀系数测量装置中应用的迈克尔逊型激光干涉仪以及在高准确度位移测量装置中应用的法布里-珀罗型激光干涉仪,并结合这些实例对激光干涉仪光学系统设计、测量环境控制、迈克尔逊干涉仪非线性误差补偿以及法布里-珀罗干涉仪量程扩展等方面的关键问题进行分析和总结。所述原则和方法对实现纳米级测量准确度具有重要意义,可为高准确度激光干涉仪的研制及其在纳米测量中的更广泛应用提供技术参考。