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温度调制技术已被证明能够改善气体传感器的选择性。为了有效提取传感器对被测气体的响应特征,提出应用Hil-bert-Huang变换对温度调制下的气体传感器的动态信号进行分析,可获得传感器动态响应信号中的瞬时频谱和边际谱等有效的气体响应特征。通过对一个微热板式气体传感器在矩形波调制下对三种易燃易爆气体响应的动态信号进行测试和分析,说明提取的瞬时频谱和边际谱能较好的体现被测气体信息。进一步研究了调制周期对动态响应信号的影响和该方法在正弦波、三角波等温度调制模式下的传感器对三种易燃易爆气体的响应,结果说明使用瞬时频谱能够有效提取信号中的气体信息。 相似文献
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介绍了一种强度调制型光纤气体传感器,它采用光通信用多模光纤,利用IC工艺中的光刻和化学腐蚀等技术,在硅片上出传感器的整体结构,这种传感器的结构简单,测量方便,重复性好,成本低,有深入研究的价值。 相似文献
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半导体气体传感器存在漂移问题,温度变化对漂移的影响尤为明显.在气体传感器阵列中,可以加入温度、湿度等传感器,监测其工作环境.实验系统采用恒温箱设定一组温度,制备气体样本20例(两种浓度样本各10例),采集传感器对样本的响应;通过人工神经网络来识别样本;当有误判发生时,在原网络中引入温度传感器的响应值,消除了误判,在一定程度上抑制了漂移,改善了网络性能,验证了该温度漂移抑制方法的可行性. 相似文献
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多层薄膜结构气敏效应研究 总被引:4,自引:0,他引:4
在SnO2气敏薄膜层上覆盖一层或多层钝化材料(SiO2,Al2O3) 薄膜,制成的多层膜气敏元件,可很好地排除大分子气体如乙醇等对小分子H2检测的干扰,使其具有单独检测H2的功能。本文还通过测量元件的升温曲线,推导出敏感体表面的氧吸附活化能;找出活化能与灵敏度、选择性的关系。根据实验现象和物性分析结果,试着探讨了元件的敏感机理。 相似文献
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扭杆弹簧倾斜仪是应用领域广泛的小型化倾斜仪,可监测地面微小倾斜.电子元器件的参数会随环境温度波动而变化,从而引起电容传感电路的输出发生变化.本文对这种效应进行了理论分析与实验研究,结果表明温度的波动对电容传感电路的输出影响比较大,在实际使用中要对扭杆弹簧倾斜仪中的电容传感电路采取必要的温度补偿措施等.因此,电容传感电路温度响应特性的研究对于扭杆弹簧倾斜仪精确地测量地倾斜信号具有重要意义. 相似文献
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利用薄膜技术制作的半导体金属氧化物气体传感器阵列是由一个基底上的四个传感器单元组成的。基本结构是在4英寸的硅片上制作完成的。首先,沉积金属铂电极,加热棒和温度传感器。其次,沉积半导体金属氧化物SnO2。然后进行传感器阵列电极的焊接,封装。最后进行测量,测量结果显示了传感器阵列对不同气体甲烷(CH4),一氧化碳(CO),氢气(H2),二氧化氮(NO2)和氨气(NH3)的响应。 相似文献
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对取样电压法产生的温度漂移及一致性温度补偿法的优点进行了理论分析和实验比较,表明加热电压在0~6.3V范围内变化时,元件的温度漂移恒为零,输出电压信号只是被测气体浓度的单值函数。 相似文献
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