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分析了激光直线度干涉仪的原理,阐述了在激光直线度干涉仪中用Wollaston棱镜作为感知元件的合理性,证明了系统对光束漂移有自适应性,能够实时消除漂移误差,有较强的抗干扰性。 相似文献
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基于激光干涉的长导轨直线度误差测量 总被引:5,自引:4,他引:1
介绍了一种基于激光干涉的长导轨直线度误差测量系统。由氦氖激光器产生激光光束,经准直后投射到被置于被测导轨上作为接收靶的楔形光学玻璃板上,产生干涉。将接收靶沿被测导轨移动,如果导轨有直线度误差,则接收靶过桥与导轨的接触点所形成的直线角度发生变化,导致干涉条纹发生移动,通过检测干涉条纹变化量就可以得到导轨的直线度误差。将光电传感器检测得到的干涉条纹移动量送入单片机系统处理,得到被测点相对于准直光束的偏移量。最后对系统进行了实测实验。实验表明:用该装置检测长度为50m的长导轨,直线度误差仅为623.103μm。 相似文献
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线性位移台直线度高精密外差干涉测量装置 总被引:1,自引:0,他引:1
直线度测量中往往存在有限的测量范围、精度低和阿贝误差等问题。本文提出了一种高精密直线度外差干涉测量装置,该装置由Koester棱镜、角锥棱镜、1/4波片、楔面棱镜和楔面反射镜构成。楔面棱镜为直线度传感元件,角隅棱镜和楔面反射镜是测量信号的回光元件。双频激光信号进入直线度干涉仪后组成几何空间对称四光路测量信号。四路测量光走过几乎完全相同的路径有效地提高了干涉仪的稳定性,并且使空程误差最小化。使用楔角为1°的楔角棱镜和2π/512细分的相位计,直线度测量分辨力为17.71nm。该方法不需要与行程同长的大反射参考镜,但同样能实现高分辨率,理论和实验证明空间对称测量结构避免了由俯仰,偏转和滚转角引起的阿贝误差的串扰,而且光学元件少,结构简单,方便易用,结果可以直接溯源到米的定义。 相似文献
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介绍了一种基于激光位移传感器作为测量元件的铁路无缝钢轨直线度误差在线测量方法.重点阐述了激光位移传感器在这一测量系统中的应用. 相似文献
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设计了一款经济型五轴数控机床,进行了五轴数控机床的结构与电路硬件系统设计,以计算机操作系统为平台,应用开放式CNC软件MACH3进行控制,降低了机床的成本。经实际加工使用证明,该机床经济实用,可以满足培训和一般精度加工使用要求。 相似文献
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结合激光刻蚀手段与数控加工技术,提出了一种基于数控激光铣削的工程塑料表面金属覆层定域精细去除方法。考虑不同位置的零件对加工质量的要求不同,通过激光烧蚀实验结果得到了保证图形边缘质量的精密切边加工工艺并确定了相应的工艺参数。开发了基于实际进给速度自适应调整激光能量的覆层金属定厚度高效去除技术,完成了图形内部余量的去除,解决了机床实际进给速度受动态性能限制无法达到预设值而导致的目标材料过烧蚀问题。最后,以典型零件复合式三维信号发送/接收器为例,通过对工件图形分区域变参数加工验证了所提出的方法的可行性。实验结果表明:采用基于数控激光铣削的金属覆层定域精细去除技术能够完成典型样件的精密加工,加工的三维金属图形衔接精准,边缘光顺整齐,热影响区范围小,能够满足该类零件高质高效的制造要求。 相似文献
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