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相似文献
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1.
采用溶胶-凝胶法制备了ZnO:Al(AZO)透明导电薄膜.通过X射线衍射(XRD)、紫外-可见分光光度计 (UV-Vis)、扫描电镜(SEM)和电阻测量装置,考察了Al掺杂量、退火温度及镀膜层数等工艺参数对薄膜的微观结构和光电性能的影响.结果表明,退火温度越高,多晶AZO薄膜的(001)晶面择优取向生长的趋势越强,并且随退火温度升高,薄膜的晶粒尺寸增大,透光率增加.薄膜晶体结构为纯ZnO的六角纤锌矿结构.在掺杂浓度1%(摩尔分数)、退火温度500℃及镀膜层数10的条件下,得到了电阻率为3.2×10-3Ω·cm、可见光区的平均透射率超过90%的AZO薄膜.  相似文献   

2.
目的 选取影响氧化铟锡(ITO)薄膜生长关键的3种参数,即薄膜生长的氧气流量、薄膜厚度和热处理退火,系统研究其对ITO薄膜光学和电学性能的影响规律。方法 采用直流溅射法,在氩气和氧气混合气氛中溅射陶瓷靶材制备ITO薄膜样品。利用真空热处理技术对所制备的ITO薄膜进行真空退火处理。通过表面轮廓仪测试厚度、X-射线衍射仪(XRD)表征结构、X-射线光电子能谱仪(XPS)分析元素含量、分光光度计测试透过率和四探针测试薄膜方块电阻,分别评价薄膜厚度、光学性能和电学性能,并对比研究热处理对薄膜结构和光电性能的影响规律。结果 电阻率随氧气流量的增加呈现出先缓慢后急剧升高的规律,在氩气和氧气流量比为150∶8时,可得到400 nm厚、电阻率为8.0×10?4 ?.cm的ITO薄膜。厚度增加可降低薄膜电阻率,氧气流量的增加可明显改善薄膜透光性。通过真空热处理可提高室温沉积ITO薄膜的结晶性能,较大程度地降低电阻率。在真空热处理条件下增大薄膜厚度可降低薄膜电阻率,氧气流量增加不利于ITO薄膜电阻率的降低。在氩气和氧气流量为150∶6条件下制备的ITO薄膜,经500 ℃真空热处理后电阻率可达到最低值(2.7×10?4 ?.cm)。结论 通过调控氧气流量和厚度来优化ITO薄膜的结构和氧空位含量,低温下利用磁控溅射法可制备光电性能优异的ITO薄膜;真空热处理可提高薄膜结晶性能,通过氧气流量、厚度和热处理温度3种参数调控可获得最低电阻率的晶态ITO薄膜(2.7×10?4 ?.cm),满足科技和工程领域的需求。  相似文献   

3.
ZnO:Al(ZAO)薄膜的制备与特性研究   总被引:10,自引:0,他引:10  
采用磁控溅射技术制备了ZnO:Al(ZAO)薄膜.研究了不同的工艺参数对薄膜的组织结构和光电特性的影响.实验结果表明,多晶ZAO薄膜具有(001)择优取向且呈柱状生长,能量机制决定其微观生长状态.讨论了薄膜的内应力,高的沉积温度和低的溅射功率可有效减小薄膜的内应力.优化的ZAO薄膜电阻率和在可见光区的平均透射率可分别达到3×10-4-4×10-4Ω·cm和80%以上.  相似文献   

4.
采用真空热蒸发方法,以高纯CdTe粉末为蒸发源,在石英和AZO玻璃上沉积了厚度约为485 nm的CdTe薄膜,随后在N2氛围中于250~400℃条件下进行后退火处理。利用X射线衍射仪、拉曼光谱仪、分光光度计和数字源表测量了不同退火温度条件下样品的结构、光学和电学特性。结果表明,所制备的薄膜为立方闪锌矿结构,择优取向为<111>晶向,提高退火温度可以促进薄膜结晶;光学测量结果证实,随退火温度升高,薄膜样品的光学带隙由1.527 e V减小到1.496 e V;电流-电压测试表明,薄膜电导率随退火温度的增加,由0.97μS/cm增大至87.3μS/cm。  相似文献   

5.
利用反应磁控溅射和常规磁控溅射方法交替沉积了NiO/Ni纳米多层膜,研究了不同退火环境下多层膜的相结构、微观结构演化及光电性能。XRD和TEM结果表明,沉积态薄膜呈现明显的NiO和Ni交替多层结构;大气退火的NiO/Ni多层膜被氧化成沿(111)晶面择优生长的NiO薄膜;而真空退火的NiO/Ni薄膜仍然保持着明显的多层结构,各层膜的结晶程度提高。沉积态和真空退火态的NiO/Ni多层膜呈现低可见光透过率和低电阻率的特点,电阻率达到10-5?·cm数量级;大气退火的NiO/Ni多层膜呈现49.3%可见光平均透过率和高的电阻特性。  相似文献   

6.
氢化锂(LiH)是重要的热核材料,其状态方程参数是惯性约束聚变研究的重要内容。本工作采用真空热压技术制备氢化锂薄膜,在真空度小于5.0×10-4 Pa,温度450 ℃,升温速率10 ℃/min,采取分段加压、退火,获得了厚度小于100 μm、厚度一致性约98%的氢化锂薄膜,表面粗糙度小于100 nm,热压后密度增加,达到0.780 g/cm3。X射线衍射分析结果表明:薄膜的主要成分为氢化锂,薄膜存在择优取向、内应力、晶粒细化等特征。  相似文献   

7.
Al掺杂ZnO薄膜的热处理工艺与性能研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
采用陶瓷烧结靶材、射频磁控溅射法制备了(002)择优取向的Al掺杂ZnO薄膜,着重研究了不同的热处理工艺对显微结构、光电性能的影响。结果表明,真空400℃退火能大幅提高ZAO薄膜的导电性能,并保持其平均透光率在85%以上,而非真空退火(大气环境)将使ZAO薄膜材料绝缘化,400℃真空退火时间或退火次数对导电性能无明显影响,但随退火时间和退火次数的增加薄膜组织恶化,在真空循环退火条件下尤为严重;经400℃真空退火的薄膜样品,其最低电阻率达8.4×10-4Ω.cm。  相似文献   

8.
采用真空热蒸发方法,以高纯CdTe粉末为蒸发源,在石英和AZO玻璃上沉积了厚度约为485 nm的CdTe薄膜,随后在N2氛围中于250~400℃条件下进行后退火处理。利用X射线衍射仪、拉曼光谱仪、分光光度计和数字源表测量了不同退火温度条件下样品的结构、光学和电学特性。结果表明,所制备的薄膜为立方闪锌矿结构,择优取向为111晶向,提高退火温度可以促进薄膜结晶;光学测量结果证实,随退火温度升高,薄膜样品的光学带隙由1.527 e V减小到1.496 e V;电流-电压测试表明,薄膜电导率随退火温度的增加,由0.97μS/cm增大至87.3μS/cm。  相似文献   

9.
热处理方法改善CdZnTe晶体性能研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
对电阻率为10^3-6Ω·cm的In掺杂Cd0.9Zn0.1Te晶片在Te气氛和Cd/Zn平衡蒸汽压下进行了热处理,对电阻率为10^8-9Q·cm的非掺杂晶片则在In气氛和Cd/Zn平衡蒸汽压下进行了热处理。结果表明,In掺杂Cd0.9Zn0.1Te晶片经处理后电阻率可提高3个数量级。非掺杂晶片在In气氛中热处理可很容易地改变导电类型,在热处理温度700℃,In分压6.1×10^-4Pa,退火时间达48h后,电阻率可以提高到2.6×10^9Ω·cm。  相似文献   

10.
含稀土硅化铁热电材料的电学性能初探   总被引:1,自引:0,他引:1  
采用悬浮真空熔炼和800℃,168h真空退火方法制备了含稀土Sm的FeSi2基金属硅化物,并对其晶体结构、See-beck系数、电阻率进行了初步研究。实验发现,名义组成为Fe0.6Sm0.4Si2的试样的热电功率因子从室温时的0.26×10-4W·m-1K-2随温度上升到500℃时的1.6×10-4W·m-1K-2,比不含Sm或含Sm量很少的对比试样高一个数量级左右。其原因被认为是由于Sm的外层4f电子的贡献。  相似文献   

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<正> 王仲仁教授1934年5月出生于江苏省阜宁县,1947年到1951年曾在扬州中学、泰州中学及无锡市一中学习,1951年考入华北大学工学院(北京理工大学前身),1952年开始到新创建的北京钢铁学院(现北京科技大学)学习直至毕业。1955年到1957年在哈尔滨工业大学压力加工系研究生班学习,毕业后留校任教至今。  相似文献   

13.
《Synthetic Metals》1988,24(4):379-389
Graphite fluorosulfates, CnSO3F, with n = 7 for stage-one materials, are ideally suited for 19F n.m.r. studies due to the unambiguous identity of the intercalate and its axially symmetric nature. The intensity of the signal shows a clear dependence on the orientation of the c axis with respect to the oscillating radio-frequency field H1. The chemical shift value, however, is affected by the orientation of the c axis with respect to H0. The powder spectrum of the stage-one material C7SO3F extends from 10 to 100 ppm at low temperatures, while motional narrowing at room temperature contributes to a sharp signal at the lower field end of the powder spectrum, corresponding to an axially symmetric chemical shift tensor. Angular dependence studies on C7SO3F samples made from HOPG indicate that the majority of the intercalated SO3F ions are oriented with their molecular C3 symmetry axes parallel to the c axis of graphite, or normal to H0. Multi-staged samples made from HOPG demonstrate the stage dependence of the chemical shift of intercalated SO3F ions. The chemical shift of the stage-one material is observed in the region of 10 – 12 ppm, while higher-staged materials show resonances at less shielded regions.  相似文献   

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周莉  方颖  吴玉春 《轻金属》2002,(10):28-30
本文研究了在一定溴存在的条件下 ,试样以盐酸与硝酸溶解 ,用ICP—AES同时测定金属镁中Fe、Si、Cu、Al、Ni、Mn六种元素。为消除大量镁基体的干扰 ,本方法采用镁基做工作曲线 ,测定结果令人满意 ,完全可满足产品分析要求 ,方法简便可靠。  相似文献   

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孔令铭  杨宗伟 《钢管》2003,32(1):46-50
通过对我国石油专用管业所面临的国际国内市场形势以及国际钢管企业重组的情况进展及特点的分析,认为重组已成为国际国内市场发展的必然趋势,企业重组不只出现在强势企业对弱势企业,强强联合也逐渐增多。对中国石油专用管生产企业的重组以及建议重组的原则、范围、方式及举措提出了见解。  相似文献   

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