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白光 《激光与光电子学进展》2001,(7):19-22
引言波长 2 48nm的 Kr F准分子激光器广泛用于不同技术领域 ,例如不同材料的微加工、紫外光刻和打标等。提高激光器的平均功率或脉冲重复率显然可提高工艺过程的效率。目前商品 Kr F激光器的最大平均功率不超过~ 30 0 W。Lambda Physik,Komatsu,Cymer等主要公司实验室最近研制紫外光刻激光源的工作表明 ,Kr F激光器的脉冲重复率可达 2k Hz。Kr F激光器的平均振荡功率为~ 2 0 W,谱宽~ 0 .6 pm,对紫外光刻应用完全可以接受。脉冲重复率达到 f~ 2 k Hz主要是由于放电宽度较窄 ,b =3mm。在中等气流速度下 ,较小的放电宽度原则上能够… 相似文献
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钕玻璃激光器热容方式运行的热负透镜效应实验研究 总被引:1,自引:1,他引:0
钕玻璃激光器采用双灯对称紧耦合非聚焦泵浦腔,激光棒的冷却通道与闪光灯的水冷却通道分开且相互独立.用重复频率10Hz、脉冲宽度250μs的两盏闪光灯同时进行侧面对称抽运,抽运功率900W.激光器先后以热容方式及常规水冷方式运行10s,分别完整采集100个光脉冲的光斑图像,并在其中分别依次等间隔取样16个光斑.通过对比分析光斑变化趋势,热容方式运行的钕玻璃激光器的热透镜效应是负透镜效应,明显有别于常规方式运行的正透镜效应.实验结果对进一步了解钕玻璃激光器热容工作方式运行的输出特性具有一定的参考价值. 相似文献
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管状激光介质的热透镜效应 总被引:4,自引:1,他引:3
从理论上详细分析了管状激光介质的热透镜效应,提出了“热感应光线轴”的观点,推导出确定管状激光介质光学性质的折射率分布、二维光线矩阵和热透镜焦距。 相似文献
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大功率连续Nd:YAG激光器热透镜焦距测量 总被引:7,自引:2,他引:5
阐明了一种利用腔的临界稳定条件来测量灯抽运大功率连续 Nd:YAG激光器有效热透镜焦距的简单方法。通过测量特殊临界稳定点的输出功率 ,可计算出激光棒的有效平均热焦距 ,以及径向和切向的热透镜焦距 fr和fθ。此方法简单可行 ,特别适用于高功率激光器热焦距的测量。此方法利用腔的临界稳定点 ,是在有激光输出时测量的 ,比无激光输出时更接近实际情况 ,与探测光束法比较测量偏差为± 10 % ,小于非稳腔法± 2 0 %的测量偏差 ,测量值更准确。为优化设计大功率激光器提供了准确的设计参数 相似文献
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测量Nd:YAG激光器热透镜焦距的新方法 总被引:3,自引:3,他引:0
提出一种测量大功率连续Nd:YAG激光器有效热透镜焦距的新方法。利用腔的临界稳定条件,通过测量临界稳定点的输出功率,计算出激光棒的径向和切向的热透镜焦距,以及有效平均热焦距。这种方法不需要特别的仪器,且操作简单;与探测光束法测量的偏差为士10%,要小于非稳腔法的士20%。 相似文献
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高峰值功率自准直脉冲Nd:YAG激光加工无锥度直孔研究 总被引:1,自引:1,他引:1
利用改进的脉冲Nd:YAG激光器,对激光冲击打孔加工无锥度直孔进行了实验研究。在优化激光脉冲峰值功率和脉冲能量、辅助气压参数的基础上,通过比较实验证明,能量递增组合脉冲是实现无锥度直孔加工的有效方式,增加脉冲组合中脉冲的个数可加工出负锥度的孔;激光焦点位置是影响孔锥度的重要因素,焦点位于材料表面上方1.1~1.7 mm有利于减小锥度。在厚度为1.5,3.0 mm的镍基高温合金材料上,获得孔径分别为480,510μm的直孔,重复打孔孔径误差约30μm,孔锥度<1%。给出了可实用于激光冲击打孔的直孔加工方法和脉冲激光器,并可用于其他材料的加工。 相似文献
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使用菲涅耳透镜的太阳光抽运Nd:YAG激光器 总被引:4,自引:1,他引:3
太阳能是规模最大的可再生能源,为充分利用这一资源,太阳光直接抽运激光器是一种明智的选择。提出并搭建了采用两级会聚系统的太阳光抽运激光器系统。使用菲涅耳透镜作为大口径成像型第一级会聚系统,漫反射锥形聚光腔作为非成像型第二级会聚系统提高入射太阳光到工作物质的耦合效率。采用Nd:YAG晶体作为工作物质,获得了2.85 W的激光输出,从太阳光到激光的转换效率为0.43%。从菲涅耳透镜会聚效率、聚光腔内激光棒轴线上的功率分布等会聚系统方面和激光输出特性方面分析了该太阳光抽运激光器的性能;探讨了转换效率低的原因,并提出了相应的改进措施。 相似文献
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激光二极管(LD)抽运的固体激光器(DPSSL)的调Q器件是获得高重复频率、高峰值功率的有效手段之一,随着激光雷达、激光加工业的发展,要求调Q器件向着更高重复频率的方向发展。Nd∶GdVO4以其优异的物理和激光特性,使得它在激光二极管端面抽运固体激光器的声-光(A-O)调Q器件中,即使在很高的调制重复频率下,仍可获得窄脉宽、高峰值功率的脉冲激光输出。理论分析了影响脉冲激光的输出能量和脉宽大小的决定因素,研究了脉宽、平均输出功率及峰值功率随调Q重复频率的变化关系。利用双激光二极管双端抽运Nd∶GdVO4晶体棒,实现了声-光调Q高重复频率窄脉宽1063 nm激光输出。在晶体入射端面总抽运功率约43 W条件下,当重复频率f=10 kHz时,获得脉宽Δt=10.2 ns,单脉冲能量E=0.95 mJ,峰值功率PM=93.1 kW的输出;在重复频率f=100 kHz时,获得Δt=28.1 ns,E=0.10 mJ,PM=3.6 kW的结果。 相似文献
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目的:评价Nd:YAG激光治疗人工晶体(IOL)前膜的临床疗效。方法:回顾性分析Nd:YAG激光清除IOL前膜共68例80眼,激光参数:单次脉冲能量0.6~2.8m J,击发次数15~124次。结果:74眼(92.50%)一次性击射、清除成功。经过3月~3年的随访,激光术后最佳矫正视力提高至0.6~1.5,患者术前、术后视力统计学差异显著(P<0.001)。术后并发症有虹膜出血、IOL表面细小击痕和玻璃体前界膜破裂,均对视力无影响。结论:Nd:YAG激光是治疗IOL前膜安全而有效的方法,适应证选择和准确操作是保证疗效的关键。 相似文献
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高重复率窄脉宽Nd:YVO4板条激光器 总被引:4,自引:1,他引:3
部分端面抽运的混合腔板条激光器是一种新型的全固态激光器,采用这种结构,实现了高重复率调Q运转.在脉冲抽运情况下,1 kHz运转时,得到脉宽4.6 ns,单脉冲能量4.5 mJ的激光输出.在连续抽运调Q输出情况下,5 kHz高重复率运转时,获得了脉宽6 ns,单脉冲能量3.1 mJ的脉冲序列输出,平均功率超过15 W;当重复率高达25 kHz时,得到脉宽9.5 ns,单脉冲能量1.2 mJ的激光输出,平均功率达30 W.实验结果表明,输出水平还有很大的提升空间. 相似文献