光波干涉测量结深

在半导体芯片制造过程中,结深是重要的工艺参数之一.本文介绍用光波干涉法测量结深,操作简便,精度高,特别对10μm以下的结深测量,有其独到的优越性.     

一等量块光波干涉测量要件

以高精度干涉条纹小数测量、研合膜厚度的量化控制与量块内部温度测量为重点,对进行一等量块光波干涉测量的各要件进行了分析,并引用国际比对结果予以了验证。     

化学染色法测量B,Al及P扩散结深

采取化学染色法对B,Al和P杂质扩散形成的结深进行检测,通过实验不同浓度染色液的腐蚀特性,选择易于控制和重复性好的染色腐蚀液.同时采用扩展电阻法对同一个样品的结深进行测试,以扩展电阻法所得结果为标准,与染色法的测量结果进行对比,根据测试结果与理论分析,对染色法的测试结果进行修正,确定P扩散结深的测试系数.     

扩展电阻法测量亚微米器件的结深和杂质分布

本文介绍了亚微米器件结深和杂质分布的测量方法，叙述了扩展电阻法测量结深的原理，并对其测量结果进行了分析和讨论。     

颜色传感器用于光波波长测量的研究

利用颜色传感器及相应的特殊电路处理输入光信号，从输出量中获得波长信息，经计算、标定后测出入射光的波长值，测量精度优于3.2％。     

湍流大气中光波闪烁的计算及实验测量比较

采用修正Rytov方法和近似理论计算了球面波在湍流大气中传播的闪烁指数，并与实验结果进行了比较，发现在弱起伏和中等湍流起伏区修正Rytov解与实验结果符合得良好，而在饱和区采用考虑内尺度效应下的近似理论结果更符合实验结果。     

莫尔条纹同向法测量透镜焦距

本文利用干涉条纹和Rochi光栅形成的莫尔条纹在离透镜2倍焦距方向不变的原理测量凸透镜焦距。该法精度高,操作极其简单。     

光波元件分析仪测量原理及其选购注意事项

1.概述当前世界已进入信息时代,现代通信和计算机网络技术都在飞速发展,可谓日新月异。在信息传输中,光纤通信可称得上是“主力军”,并占据着绝对的优势。表明光纤通信系统性能的最重要的技术指标是系统的传输损耗和信息传输速度(亦称调制带宽)。实现系统低损耗和远距离无中继传输的主要方法是采用低损耗光纤、光纤放大器、相干传输技术等。实现高速传输则除了采     

采用调幅光波测量无源谐振腔的损耗

讨论了一种在“小抖动”稳频条件下采用调幅光波测量无源谐振腔损耗的方法 ,并进行了深入的理论分析     

激光自混合干涉式位移测量数值模拟及实验研究

对激光自混合干涉式位移测量原理进行了数值模拟和实验研究。首先，从三镜法布里珀罗腔理论出发，得到了基于半导体激光自混合干涉原理的位移测量模型，在此基础上对多种波形调制外反射体位移情况下激光自混合干涉信号进行了理论分析，证实信号倾斜方向发生反转的间隔条纹数目对应反射体位移的幅值范围；反射体有半个波长的位移，信号即输出一个完整的条纹；反馈强度的增加将增大输出条纹的倾斜。对信号倾斜现象进一步分析发现，当反射体位移减小时，信号向左倾斜，反之向右。造成信号倾斜的原因是由于高反馈强度下引起的非线性相位调制了输出信号强度。这些结论同样适用于任意波形调制的反射体位移。实验测试结果同理论分析吻合较好。     

从杨氏双缝干涉实验解释交叉眼干扰原理

对单脉冲雷达实施的交叉眼干扰是一种重要的雷达角度欺骗手段,但是对这一干扰样式的传统理论分析与数学公式表达不仅繁杂,而且也没有揭示出其所具有的本质物理意义。针对这一问题,借鉴历史上物理光学中经典的杨氏双缝干涉实验,通过类比分析展示了雷达对抗中的交叉眼干扰与双缝相干光干涉成像的众多相似之处,详细分析了交叉眼干扰中两个相干干扰信号在单脉冲雷达天线处形成的干涉条纹对雷达测角处理的和差信号所造成的影响,形象地揭示了交叉眼干扰起效的原因与相关影响因素,并通过仿真对上述类比与理论分析结果进行了有效验证。从而为后续的干扰样式优化和工程实现因素控制的进一步研究提供了新的方法与手段,具有重要的理论意义和实用价值。     

用投影全息干涉条纹测量物体三维面形

在以往投影测量三维面形的装置中,其产生激光干涉投影条纹的装置较大,且干涉条纹较容易受外界的影响而漂移和抖动,影响测量结果精度的提高,本文提出用离轴全息干涉条纹替代投影法的激光干涉仪投影条纹,并将其用于实际测量中,实验结果表明：该方法产生干涉条纹的装置简单,且不受外界振动的影响,光能利用率高,易于移相和解调,这使得三维形貌检测精度高、速度快、实用性更强。     

利用点光源干涉测量平板的楔角

运用光的干涉理论 ,分别讨论了点光源在楔形平板情况下的干涉条纹及光强分布 ,并推导出测量平板楔角的一种新方法。运用该方法时平板楔角进行了测量 ,获得了精确的结果 (不确定度 <10 - 5)。     

自动相位步进技术在电子条纹干涉测量中的应用

采用闭环增益转换技术，通过一个同步信号或选择一个恰当的反馈环路参数，可得到一个连续的相位步进，实现自动相位步进在光纤光学中电子条纹干涉。这种技术既可用于单点也可用于图像结构的测量。     

美设计出太赫兹多像素光波调制器

据《每日科学》网站报道，美国科学家首次设计出一款多像素太赫兹频率（THz）光波调制器。将来有望广泛应用于生物光谱学和半导体结构成像研究。     

基于双频横向剪切干涉系统的三维形貌测量

近年来,结构光投影三维成像技术被广泛地应用至各个领域。该技术通常采用投影仪投影条纹,导致投影条纹的空间周期和精度有限,且在测量微小视场时会存在条纹强度不均匀、条纹焦面景深不够等问题。为解决该类问题,基于剪切干涉条纹的高空间分辨率优势,提出了一种利用横向剪切干涉条纹测量物体三维形貌的系统和方法。该系统利用激光波前以不同角度入射平行平板会产生不同频率干涉条纹这一性质,旋转平行平板改变剪切干涉条纹频率,利用低频条纹指导展开高频条纹相位。同时利用干涉条纹的入射角度与形变量内在联系,通过几何关系获得相位与高度的映射关系,以达到重建物体三维形貌信息的目的。实验验证了该系统及方法的可行性,证明了其对测量微小物体或视场有着明显的应用价值。     

一种压电陶瓷微位移测量的新方法

提出了一种简单、有效的基于光纤Fabry-Perot干涉的压电陶瓷(PZT)微位移测量的新装置,为提高干涉现象,在Fabry-Perot干涉腔两端面上分别镀不同反射率的薄膜.通过软件编程快速实现对干涉条纹的计数进而确定PZT的微位移,得到的位移电压斜率误差小,实现了对PZT微位移的实时快速测量.测试了同频率不同腔长和同腔长不同频率的压电特性,结果表明变化很小,说明该方法可操作性强,可靠性高.分析了光纤耦合效率和光源的相干性等对实验的影响.