扫描电镜用于微米、纳米尺度的测量及其标准化探讨

纳米长度的计量和检测是纳米技术研究中的一个关键性的基础测试问题。目前，纳米计量和检测技术主要向两个方向发展，一是发展建立在新概念基础上的一些测量技术，如以原子力显微镜为代表的扫描探针显微镜技术；二是采用传统的测量方法，通过提高其功能而达到纳米计量和测量的要求，这包括扫描电子显微镜、透射电子显微镜、软X射线显微镜、轮廓仪、激光共聚焦显微镜、激光干涉仪、电容测微仪等。本文将对扫描电镜用于微米、纳米尺度的测量及其标准化进行探讨。     

纳米测量技术研究现状与发展趋势

详细介绍了纳米测量系统的组成 :纳米传感技术、纳米扫描测试系统、信息处理与图像分析技术 ;综述了纳米测量技术国内外现状 ;在此基础上 ,提出了纳米测量需解决的关键技术及今后的发展方向。     

基于灵敏度分析的一维纳米结构光学散射

在光学散射测量中,除了实际测量光谱的质量外,模型的输出光谱对待测纳米结构参数的灵敏度也对最终测量结果的精度具有重大影响.由于不同的测量配置(入射波长、入射角和方位角的组合)下,纳米结构参数的灵敏度会不同,因此提出了一种基于灵敏度分析的测量条件优化配置方法来改善待测参数的灵敏度,以实现更高精度的纳米结构测量.实验表明,在理论预估的最优测量配置下,一维纳米结构所有待测参数的测量精确最优,验证了其有效性.     

用于纳米技术研究的免费测量软件

纳米技术工具包专门设计用于纳米技术研究常见测试的测量软件工具,兼容吉时利的4200-SCS型半导体特性系统,可以帮助究人员进行与纳米技术相关的精确而且通常十分复杂的电气测量。该纳米技术工具包通过提供在纳米器件测试中用经常使用的常见程序以简化众多测量任务。该纳米技术工具包包括了多个图标,它们分别代表4200-SCS型测试基于纳米碳管的晶体管、生物元件、分子晶体管、分子导线、纳米线以及纳米细胞的测量程序。例如,一些测试将测定纳米碳管和分子晶体管的I-V(电流-电压)曲线,而另外一些测试则在纳米线上进行高阻抗/低阻抗测量的电…     

多媒体视频质量测量的研究和标准化

多媒体视频是电信运营商的重要业务,如何准确地测量多媒体视频质量,反馈给运营商,更好的监测管理,提升客户体验,至关重要.本文将从多媒体视频质量测量的应用需求、主观评价方法、客观测量方法、标准化等几个方面展开研究,重点分析视频视觉质量(PVQ)测量技术,其中无参考测量技术是目前国际研究和标准化的重点.在PVQ测量的基础上,...     

新型纳米测量技术的模拟研究

文中介绍Ｘ射线干涉仪在当前纳米测量技术中的重要意义，阐述了Ｘ射线干涉仪的基本原理，全面介绍了国外在该领域的研究现状，并利用Ｈｅ－Ｎｅ激光及三光栅系统对Ｘ射线干涉技术实现纳米测量进行了模拟实验研究，进一步论证了Ｘ射线干涉纳米测量技术的可行性。     

基于标准化段测量技术的语音客观评价方法

简要介绍了一种基于标准化段测量技术的感知语音客观评价方法;描述了标准化段测量的结构和使用．     

纳米颗粒物化学成分测量技术及其应用 #br#

纳米颗粒物是大气颗粒物的重要组成部分, 对大气环境、气候变化以及人群健康有着重要的影响。纳米颗粒 物物理化学特性, 特别是化学组成, 在其中起着重要的作用。总结了国内外主要的纳米颗粒物化学成分测量技术, 重 点介绍了不同测量技术的工作原理和相关仪器的典型结构, 并结合大气环境研究中的应用实例, 分析了不同测量技术 的应用范围及优缺点, 最后展望了纳米颗粒物测量技术及应用的发展方向。     

激光合成波长纳米测量干涉仪的非线性误差分析

描述了激光合成波长纳米测量干涉仪的测量原理,分析了非线性误差对该干涉仪的影响,得出了由偏振光非正交、椭偏化和光学元件偏振非正交及椭偏化等对该干涉仪造成的非线性误差为偏振态误差的二阶或高阶小量。进行了激光合成波长纳米测量干涉仪和激光外差干涉仪的对比实验,结果表明激光合成波长纳米测量干涉仪的最大误差为2.1nm,优于激光外差干涉仪的最大误差7.5nm,验证了激光合成波长纳米测量干涉仪的优越性。     

基于平面反射式全息光栅的激光自混合纳米位移测量研究

纳米位移测量技术是实现高精度纳米制造的基础。激光自混合干涉为精密纳米位移测量提供了一种结构简便、成本低廉,同时测量精度可达纳米量级的精密位移测量方法。区别于传统基于反射镜或散射面为反馈元件的激光自混合干涉测量方案,研究了一种基于平面反射式全息光栅的激光自混合纳米位移测量方法,该方法的位移测量结果以光栅的周期为基准。实验测得了在弱反馈强度条件下的光栅自混合干涉信号,通过阈值设定的方法确定位移方向的反转点,结合反余弦的相位解包裹算法处理光栅自混合信号,获得了对应的位移测量值。最终采用商用激光干涉仪与自组装的光栅自混合干涉仪进行位移测量数据的比对测量,实验结果表明,经过线性修正后,其位移误差不超过0.241%。     

微细台阶测量技术的发展现状

微细台阶参数是大规模集成电路和微机械结构制作过程的重要技术指标 ,直接影响器件和构件的特性 ,目前要求台阶测量应具有纳米级精度。概要介绍了台阶测量技术的发展情况 ,阐述了非接触台阶测量和接触式台阶测量技术 ,从测量原理、测量精度与分辨率、适用范围、对被测对象的要求与影响等几方面分析了各种测量方法的特点 ,并得出了结论。     

一种应用于纳米测量机的高精度干涉仪

为实现纳米三坐标测量机(NMM)中大范围高精度位移的测量(测量范围小于40mm,分辨率小于0.1nm),研制了一种大量程纳米级测量精度的实用化外差干涉仪,并对该干涉仪的光学结构进行分析研究。该系统不但克服了双频激光干涉仪混频的固有缺点,而且在结构上利用光学器件的偏振特性,使系统具有共光路、等光程、光学倍程和相位差成90°正交信号等特点,提高了系统分辨率、抗干扰性能和精度。该系统在40mm的测量范围内,具有λ/4 096的分辨率和纳米级的测量精度。实验结果表明,纳米三坐标测量机对样板1次安装10次测量的实验标准差为4.9nm,10次安装10次测量的实验标准差为8.4nm,具有较好的测量重复性。干涉仪结构符合三坐标的测量要求,可安装在纳米三坐标测量机等仪器中,也可用于高精度的位移测量。     

纳米精度双频激光干涉仪非线性误差的确定方法

介绍了确定纳米精度双频激光干涉仪非线性误差的两种方法：纳米比对方法和幅值估算方法,前者通过将双频激光干涉仪和计量院纳米精度F-P干涉仪进行纳米比对确定非线性误差,具有测量结果直接和米定义溯源的优点;后者通过测定偏振干涉仪测量信号的幅值调制度估算非线性误差,具有简单易行、受外界因素干扰小等优点。实验结果表明,对于此干涉仪系统,非线性误差的测量结果小于2．5nm,估算结果为1．4nm,两者在误差允许的范围内一致。     

光栅干涉位移测量技术发展综述

介绍了经典双光栅测量系统、非对称双级闪耀光栅测量系统、单光栅测量系统、基于2次莫尔条纹的光栅测量系统、同心圆光栅2维位移测量系统、2维光栅位移测量系统的测量原理,阐述了各系统的关键问题及不足之处。同时结合双频激光干涉仪外差干涉思想,在单光栅测量系统的基础上,提出了双波长单光栅式纳米级位移测量方法,并通过分析系统特点指出该方法能实现大量程测量、获得纳米级的精度和分辨力。在对各种测量方法进行综合比较之后,总结了光栅测量的关键问题,并展望了光栅干涉位移测量的未来发展方向。     

1维微纳米周期结构的散射测量建模

为了研究散射测量的正向测量依据,采用严格耦合波分析理论,对1维矩形面型周期性结构衍射建模,在MATLAB环境下实现严格耦合波分析算法,并讨论了1维周期结构高度、线宽和占空比的测量特性,理论上线宽的测量可以达到纳米级分辨率。结果表明,严格耦合波分析理论精确和高效,对1维微纳米周期结构表现出了良好的测量特性。这为散射测量提供了科学性和可行性依据。     

纳米金属薄膜材料电磁参数测量方法

提出了一种基于波导法的纳米薄膜材料电磁参数测量的新方法,给出了该方法的基本原理.与常规波导测量方法相比,该方法根据纳米金属薄膜材料的特点,简化了求解算法,只需测出加载薄膜波导开路与短路时的复反射系数,即可求出薄膜的介电常数与导磁率,使测量过程简单高效并具有较高的精度.     

微型激光干涉仪

在米范围移动距离中,纳米级的高分辨测量系统,获得越来越重要的意义.然而,至今这类测量系统大多数不轻便且价格昂贵.本文介绍的是一种半导体激光干涉仪全新的设计方案,其结构简单,传感器十分轻便(直径17mm),具有至今未达到的效率,是距离、力、硬度或折射率理想的测量工具.     

双折射双频HeNe激光器功率调谐纳米测量研究

提出了一种基于双折射双频HeNe激光器功能率调谐特性的纳米测量原理,当双折射双频HeNe激光器谐振腔长变化时,利用分裂的两个频率的寻常光（o光）和非寻常光(e光）功率调谐特性实现大范围里λ／2（约为0．3μm)低分辨率的测量,在λ/2范围里用o光和e光的等光强点实现纳米级分辨率的测量,将大范围的粗测和小范围的精测结合起来实现较大范围的纳米测量。     

单模光纤测量和标准化的现状及发展趋势

评论单模光纤的测量和标准化的现状及其发展趋势。研究该领域内最新进展所要求的新技术和技术改进。     

消除探针影响和其它测量问题

英特尔公司技术战略部门，材料研究组经理Michael Garner，在2007年国际纳电子表征与测量前沿会议（2007 International Conference on Frontiers of Characterization and Metrology for Nanoelectronics）上列举了在纳米科技时代测量技术需要克服的几个障碍。