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相似文献
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1.
新型离子束增强沉积技术   总被引:2,自引:0,他引:2  
李国卿  王洋 《真空》1998,(6):40-43
离子束增强沉积技术是近年在离子注入技术基础上发展的新型材料表面改性技术,本文简要介绍多功能离子束增强沉积设备和应用技术研究,设备具有金属离子注入、气体离子注入、离子束增强沉积、磁控溅射沉积功能,进行材料表面改性和制备各种材料薄膜科学研究。  相似文献   

2.
本文综述了近几十年才研制发展的一种新型的用于材料表面改性的离子注入新技术——等离子体浸没离子注入 (P ) ,待处理的材料直接浸泡在等离子体中进行处理。该技术保留了常规束线离子注入(CB )技术的主要特点 ,还具有需多独特的特点。将系统介绍该技术在现代材料表面改性中的各方面应用及发展。  相似文献   

3.
本文主要介绍最近发展起来的离子注入技术在半导体和金属材料中的应用。离子注入是将所要掺杂的元素电离加速而打入某种物质的物理过程,被加速的离子动能比任何一种向物质中热扩散原子的动能大100万倍。这种掺杂过程比热扩散掺杂(冶金)具有独特的优点:各种元素或元素化合物均可作为掺杂剂;各种固体物质均可作为基底材料;掺杂过程不受基底温度的影响;掺杂本身是属于原子或分子之间的掺杂,因此,掺杂的均一性好,且能精确控制元素的数量和掺杂深度等。目前,这种技术巳成为半导体器件和集成电路生产的基本工艺。离子注入金属,称之为离子注入冶金学。这种技术已成功地实现金属表面硬化处理,提高了金属表面的耐磨性及其使用寿命。离子注入金属(或其他材料),改善了材料表而的化学特性,则称之为离子注入表面化学。它可提高金属表面的耐腐蚀性、耐氧化性。将某些元素的离子注入到超导材料中,可提高材料的超导临界温度。离子注入光学材料,可有效地改变材料的光学特性(如折射率等);可制备光波导和其他光学元件。这种技术已成为研究集成光路的有效手段,并为光通讯的研制提供良好的技术基础。离子注入技术在磁性材料的研究中,也取得了很多成就。如在制备大容量磁芯存贮器和提高磁性材料的耐磨方面均取得了显著成效。离子注入模拟反应堆材料的试验工作中,已被许多国家所采纳。反应堆的选择,是把材料放入反应堆中经几年的辐照,研究材料的抗辐照特性;而采用离子注入技术则只需要几小时就能足以给出相应的试验数据。本文还介绍了我们几年来用离子注入所研究半导体材料改性问题,并着重介绍了采用离子注入制备微波场效应器件、红外探测器件、激光器件和发光器件的特点,以及离子注入的工艺过程。离子注入技术的研究已引起国际上的普遍重视。国际上离子注入金属材料改性方面所取得的成果,本文电予以报导。  相似文献   

4.
新材料领域未来发展方向   总被引:4,自引:0,他引:4  
日新月异的现代技术的发展需要很多新型材料的支持。自从第三次科技浪潮席卷全球以来,新型材料同信息、能源一起,被称为现代科技的三大支柱。新材料的诞生会带动相关产业和技术的迅速发展,甚至会催生新的产业和技术领域。材料科学现已发展成为一门跨学科的综合性学科。根据我国当前及未来发展的实际情况,新材料领域值得注意的新发展方向主要有半导体材料、结构材料、有机高分子材料、敏感与传感转换材料、纳米材料、生物材料及复合材料。1半导体材料随着高科技发展的需要,半导体及其应用研究的中心正向直接影响市场的微型或低维量子器件、改…  相似文献   

5.
<正> 进入八十年代后出现了称之为“材料革命”或“新材料”的新型材料技术。在电子工业中的微型器件开发及生物工艺学方面,对尖端技术中的新材料开发也寄予很大希望。这是因为在技术革新中,材料技术的进步是不可缺少的。  相似文献   

6.
本文介绍了 X 射线双晶衍射术的基本原理。描述了双晶衍射技术在半异体材料的离子注入、单层及多层异质结外延膜、应变超晶格等新型材料研究中的应用。给出了双晶衍射对 Si 中高能 B~+注入和 In_xGa_(1-x)As/GaAs 超晶格研究的实例。  相似文献   

7.
纤维状活性炭材料的进展   总被引:1,自引:0,他引:1  
一引言新型材料是发展当代高技术的物质基础和先导.随着国民经济和国防尖端技术的日益发展,人们对材料性能要求越来越高.各种新型材料的开发研究越来越引起人们的重视,活性碳纤维(ACF)或纤维状活性碳(FAC)是近几十年迅速发展起来的一种新颖的高效吸附材料.碳作为一种材料而使自己有悠久的历史,碳纤维的发明也可追溯到爱迪生发明电灯丝的时代,而活性碳纤维则是90年代初才研制成功的一种新型碳材料.这种新型碳材料是生产和科学技术发展的产物.为了满  相似文献   

8.
生物医用有色金属材料发展迅速,形成了适应不同体内环境、不同组织的医用有色金属材料及器件体系;着眼未来开展领域研究规划,提升新型医用有色金属材料及器件的临床应用水平,兼具理论研究与实践应用价值。本文论述了生物医用有色金属材料在耐蚀性、耐磨性、疲劳强度及韧性、生物适配性等方面的关键性能要求,系统梳理了永久性植入有色金属材料、生物可降解有色金属材料、多孔医用有色金属材料、医用有色金属表面改性等细分领域的研究进展、发展趋势与科学问题。在凝练各类生物医用有色金属材料未来研究方向的基础上,提出了加强基础与关键核心技术研究、组建“产学研医监”协同创新体、建立相关标准及规范、培育高精尖人才体系等发展建议,以期为新型材料发展布局与前沿技术研发提供先导性参考。  相似文献   

9.
赵青 《真空》2000,(1):40-43
本文综述了近几十年才研制发展的一种新型的用于材料表面改性的离子注入新技术-等离子体浸没离子注入,待处理的材料直接浸泡在等离子体中进行处理。  相似文献   

10.
一、前言 硅烷是发展电子工业所必需的特种气体之一,它广泛应用于集成电路和半导体器件中的掩膜工艺(沉积二氧化硅薄膜,氮化硅薄膜、磷硅玻璃等)、钝化工艺(淀积氮化硅薄膜)和介质隔离工艺(生长多晶硅栅等)。在微波器件中,进一步结合外延技术,用硅烷热分解制得同质外延片和异质外延片,为微波器件提供了新型的基片。最近又发展了把硅烷作为砷化镓微波器件的离子注入源和激光器的介质,以及光纤通讯纤维的原料。  相似文献   

11.
离子注入制备纳米晶研究进展   总被引:1,自引:0,他引:1  
离子注入技术是一种在材料近表面形成埋层纳米晶的一种非常有效的方法,纳米晶的出现使得基体材料具有特殊的物理性质,综述了近几年来利用离子注入技术的金属,半导体、磁性材料纳米晶的发展情况及其潜在的应用,并提出了现存的问题。  相似文献   

12.
伴随着我国经济的发展,我国的土木工程施工正在不断地增长过程中。同时伴随着我国科学技术的发展,在土木工程施工过程中开始不断地应用新的施工技术以及新型的施工材料。新的施工技术以及施工材料的应用能够有效地提升整个土木工程的施工质量以及提升工程的施工周期,有利于提升整个工程的施工。在现阶段我国的土木工程施工中应用的新型施工材料已经在很多方面发生了改变,在这些新型材料中科技含金量正在不断地提升过程中。因此在我国土木工程施工过程中相关的工作人员一定要认真地分析应用在施工过程中的新型施工材料,只有这样才能够将新型材料的作用发挥到最大。本文主要针对土木工程施工过程中应用的新型施工材料进行详细地分析以及阐述,希望通过本文的阐述以及分析能够有效地提升我国土木工程施工过程中新型材料的施工作用,同时也为我国土木工程的进一步发展以及创新贡献力量。  相似文献   

13.
近年来,随着国内新型材料及粉体产业的高速发展,新型粉体材料的深加工在各行业当中都有了更多更高的要求。在原有的粉体静态煅烧技术上,开发新型的动态加热煅烧技术及装备,对粉体材料的煅烧品质,产品反应均匀性,产品的煅烧周期,能耗等,都起着现实而深远的意义。回转式粉体加热技术就是基于这样的基础上推出而运用于目前新型粉体材料煅烧的一项应用技术,其有效的节能、煅烧均匀等特点已被国内诸多企业认可和接受。  相似文献   

14.
定向凝固技术是制备具有单一取向要求的凝固组织和高性能材料的重要方法,是研究凝固理论和新型材料的重要手段。在介绍定向凝固技术原理的基础上,评述了传统定向凝固技术的发展及存在的弊端,简述了几种新型定向凝固技术,以及它们在制备新材料中的应用。  相似文献   

15.
随着便携式、可穿戴电子器件的迅速发展,柔性储能器件的研究逐渐转向微型化、轻柔化和智能化等方向。同时人们对器件的能量密度、功率密度和力学性能有了更高的要求。电极材料作为柔性储能器件的核心部分,是决定器件性能的关键。柔性储能电子器件的发展,又迫切需要新型电池技术和快速、低成本且可精准控制其微结构的制备方法。因此,柔性锂/钠离子电池、柔性锂硫电池、柔性锌空电池等新型储能器件的研发成为目前学术界研究的热点。本文论述了近年来柔性储能电池电极的研究现状,着重对柔性电极材料的设计(独立柔性电极和柔性基底电极)、不同维度柔性电极材料的制备工艺(一维材料、二维材料和三维材料)和柔性储能电极的应用(柔性锂/钠离子电池、柔性锂硫电池、柔性锌空电池)进行对比分析,并对电极材料的结构特性和电化学性能进行了讨论。最后,指出了柔性储能器件目前所面临的问题,并针对此类问题展望了柔性储能器件未来的重点在于新型固态电解质的研发、器件结构的合理设计及封装技术的不断优化。  相似文献   

16.
界面聚合技术在材料制备中的应用   总被引:2,自引:0,他引:2  
界面聚合技术作为一种新型的聚合反应已广泛应用于各个领域.界面聚合技术在材料制备中的应用显示出重要作用,采用界面聚合技术可以制备膜材料、微胶囊材料、纤维粒子及新型材料等.介绍并分析了近几年来界面聚合技术在材料制备中的应用,指出了今后的研究方向.  相似文献   

17.
自从1987年邓青云博士发明有机发光二极管(OLED)以来,相关领域的研究蓬勃兴起。近年来,OLED已在中小尺寸显示领域得到广泛的应用,并逐步进入大面积显示和照明等领域。有机发光技术的不断发展,对有机发光材料与器件的研究提出了更高的要求。本报告综述了近年来国内外有机发光材料与器件研究领域关注的重要问题和其中的主要进展。随着OLED技术的深入发展,该领域的研究体现出基础理论与技术创新并重的特点,在材料与器件技术和有机半导体传输理论方面都取得了丰硕成果。在材料与器件技术方面,本文主要综述了新型磷光材料分子设计,新型荧光材料及其发光机理研究,白光器件技术,湿法制备技术及柔性制备技术等几个方面的最重要进展。在有机半导体传输理论方面,本文主要综述了从分子堆积、薄膜无序度及掺杂等角度对有机半导体传输理论进行的研究工作。最后,报告对国际有机显示技术和有机照明技术的产业现状及发展方向进行了概述。  相似文献   

18.
发刊词     
发刊词经国家科委批准,“功能材料与器件学报”’创刊号终于在1995年金秋时节和大家见面了。功能材料与器件是指具有特殊物理,化学或生物等性质,可以用来实现除结构以外某种功能的材料,和由这类材料制成的器件。它包括了近期涌现出来的大部分新型材料,是材料体系...  相似文献   

19.
高诚辉  林有希  刘映球 《材料保护》2004,37(Z1):105-108,127
离子注入可以改善材料表面的各种性质,而常温离子注入改性层太薄,工件表面的耐磨性及承载能力均较差,随着各种新的离子注入工艺的出现,摩擦学性能有较大的改善.本文从分析离子注入技术的特点着手,综述了离子注入对材料表面硬度、摩擦系数和耐磨性的影响及其作为表面摩擦学改性手段在航空航天、军事和机械等领域中的应用.  相似文献   

20.
SiC是一种重要的宽禁带半导体材料,在高温、高压、高功率及高频器件方面有重要的应用前景。SiC中的离子注入无论在基础研究还是在器件工艺中都具有重要的意义。本文研究了SiC 的注入(70keV,剂量5 ×1013 至5 ×1015cm - 2) 损伤及其对SiC光学性质的影响。研究表明,SiC的表面形貌对离子注入极其敏感。剂量较低时,主要影响晶格缺陷吸收及杂质吸收(< 2.9eV),而在剂量较高时,对带间跃迁产生影响。SiC是一种重要的宽禁带半导体材料,在高温、高压、高功率及高频器件方面有重要的应用前景。SiC中的离子注入无论在基础研究还是在器件工艺中都具有重要的意义。本文研究了SiC 的注入(70keV,剂量5 ×1013 至5 ×1015cm - 2) 损伤及其对SiC光学性质的影响。研究表明,SiC的表面形貌对离子注入极其敏感。剂量较低时,主要影响晶格缺陷吸收及杂质吸收(< 2.9eV),而在剂量较高时,对带间跃迁产生影响。  相似文献   

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