共查询到20条相似文献,搜索用时 0 毫秒
1.
2.
3.
最高性能的金属氧化物半导体场效电晶体(MOSFET)将不再由单晶硅制成。根据近日在美国夏威夷檀香山举行的2014 VLSI技术研讨会上的研究人员们表示,未来,这种MOSFET将改用Ⅲ-Ⅴ族材料在硅基板上生长而成。 相似文献
4.
90年代初Ⅲ-Ⅴ族氮化物材料的实和化似乎还很遥远,但是自从蓝光GaN/GaInNLED研制成功之后这个领域发巨变。目前,GaN成为化合物半导体领域中最热门的课题。在下个十年中,基于GaN材料的激光器,HV探测器和大功率高温半导体器件将成为实用产品。 相似文献
5.
6.
7.
8.
本文概述了Ⅲ-Ⅴ族化合物原子层外延(ALE),重点介绍了脉冲喷射(PJ)-ALF、氯化物-ALE和增强迁移外延(MEE)。ALE生长层厚度对生长参数,如源气体分压、生长温度和生长时间都不敏感,主要取决于ALE周期数目,因此ALE又称“数字外延”。与传统的MBE和MOCVD相比,ALE具有生长层厚度更均匀、缺陷密度更低、选择外廷中无边缘生长以及侧壁外延可控制到单原子层等优点。文中还讨论了ALEⅢ-Ⅴ族化合物电学性能和应用。 相似文献
9.
10.
11.
本文概述了常规耗尽层 C-V 分布中,可达深度和深度分辨率的基本限制。特别讨论了电化学 C-V 分布的实际技术和应用。列举了 PN4200自动描绘的Ⅲ-Ⅴ族化合物 GaAlAs/GaAs、InGaAsP/InP 多层异质结构的载流子浓度分布曲线,并分析了液相外延生长中 Zn 掺杂的特性。同时,还分析了测量精确度和深度分辨之间的关系,并考虑了电解液、接触面积、串联电阻和深态的影响。最后,叙述了电化学 C-V 技术在测量光电压谱和量子阱结构方面的应用。 相似文献
12.
Ⅲ-Ⅴ族化合物HBT微波特性的精确建模对该类器件的微波功率应用极为重要.本文开发了一个可精确用于表征Ⅲ-Ⅴ族化合物HBT直流、大、小信号特性的新模型,并可用于对HBT器件极为重要的自热效应的仿真.模型开发过程中对UCSD HBT模型和VBIC BJT模型进行了借鉴,但新模型不同于以上两个模型.模型通过对比直流、S参数和功率测量结果进行验证. 相似文献
13.
14.
15.
离子注入在Ⅲ—Ⅴ族化合物半导体中的应用 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍了离子注入Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体特点,论述了离子注入Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体获得n、p型衣深补偿能菜的研究现状,讨论了离子注入Ⅲ-Ⅴ族化合物后的退火及其保护问题。 相似文献
16.
17.
硫钝化Ⅲ-Ⅴ族半导体生长高质量薄膜 总被引:3,自引:0,他引:3
表面钝化是Ⅲ-Ⅴ旅半导体工艺的难题之一,硫钝化技术是目前解决这一难题最有效的方法,文中综述了硫钝化技术在钝化Ⅲ-Ⅴ族半导体生长高质量薄膜所取得的成就。 相似文献
18.
半导体光电子学是当前科技发展最快的一个领域,光电子器件的增长需要加强新材料技术的研究与开发,Ⅲ -Ⅴ族和Ⅱ-Ⅳ族纳米结构生长的双腔室分子束外延复合体是目前工艺设备一个最好的例子,可以解决长期以来纳米光子学和纳米电子学的问题。 相似文献
19.
本文以一些实例和所得到的结果来说明Ar~+离子在抑制晶向腐蚀作用、调节钝化阻挡层,以及清除微粒淀积物等方面的作用。 相似文献
20.