PMMA微流控芯片微通道尺寸的检测

研究了一种基于光电耦合器件(CCD)及图像处理技术的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微流控芯片微通道几何尺寸的测量系统,论述了该系统的关键技术及其实现方法,包括图像的预处理、二值化、轮廓提取以及微通道尺寸的测量等。利用该系统测量的微通道几何尺寸(1~1 000 μm)与轮廓仪和万能工具显微镜的测量结果吻合很好,最大测量误差为2 μm(半深宽度),分析了测量误差产生的原因。检测实验结果表明:该检测方法提供的微通道几何尺寸评定正确可行、通用性好、应用简便,还可以避免轮廓仪在深结构测量中的误差。     

CCD器件几何尺寸的一种高精度的测量方法

本文提出了一种CCD器件几何尺寸高精度测量的方法。并着重论述了CCD器件测量的目的、测量方案的选择、具体的测量方法及对测量数据进行了总结及分析。     

电荷耦合器件(CCD)在非接触尺寸测量中的应用

本文简要论述了线型电荷耦合器件在生产线上非接触动态测量几何尺寸中的应用。介绍了测最原理、装置及测试结果。在测量系统中,使用了Intel公司出品的MCS-48单片微型计算机。     

一种集成芯片引脚外观检测系统的研究

大尺寸集成芯片引脚外观检测一直是电子集成电路器件生产线上的一个重要环节,目前尚无较成熟的自动检测设备,在此介绍一种针对40脚以上集成芯片引脚外观的光电自动检测系统,其可以实现引脚的内外倾角、左右倾角和横向尺寸的检测,采用亚像素细分的方法,使长度测量分辨率达到四十分之一像素.     

微尺寸器件光电计数系统设计

介绍一种针对微小器件的光电感应计数系统。采用半导体激光发射器作为光源,经过光学系统形成的最小激光束照射器件,反射光由光电三极管进行光电转换,计数控制使用单片机系统。其电路简单、可靠,可以得出较为准确的测量数据。实验结果证明,该系统能达到较好的计数效果。     

常用光电器件的特性与选用技巧

在光电技术产业化的过程中,光电器件的重要性日益现显.光电器件的种类很多,功能各异.如何掌握各种光电器件的特性及正确选用光电器件是光电技术实际应用中的关键.在对一个光电系统的性能指标进行评价时,系统所选用的光电器件的性能参数指标已经成为最重要的影响因素之一.介绍了常用光电器件的特性,讨论了光电器件应用选择时的注意事项与技巧,并对选用光电器件的基本原则进行了总结.     

基于PSD的光电自准直仪角度测量系统研究

PSD是一种新型半导体光电位置敏感探测器件,利用PSD作为光电接收器件的自准直仪,实现对角度形变的测量.系统处理电路采用C8051F005单片机为核心器件对传感器输出信号进行处理,利用CPL-D完成多路数据的采样和传输的控制.系统实现了实时处理、动态显示,降低了PSD信号处理电路噪声干扰、简化了信号处理电路,提高了测量准确度.     

基于MATLAB与ADAMS的贝克曼梁五杆机构优化设计及仿真

在路面弯沉检测中为了使光电贝克曼梁机构能够达到快速水平下降的需求,设计了多连杆机构。为了满足工作需要,必须对其中的五杆机构进行优化。为了获得理想的运动轨迹,建立了数学模型,并进行杆件之间的几何关系进行计算,找到目标函数表达式,采用MATLAB遗传算法工具箱进行优化得到各杆件的尺寸参数,在ADAMS建立模型并对五杆机构进行运动仿真,测量关键点的运动轨迹,通过分析仿真轨迹符合设计要求。     

探测器光谱灵敏度的自动检测系统

一、引言随着科学技术的纵深发展,光辐射测量已经从过去狭小的应用范围扩展到科研、军事以及社会生产和生活的各个方面。欲研制高精度的光辐射测量仪器,首先牵涉到光电探测器的相对光谱灵敏度测量和匹配技术。在光度、色度以及另外的一些辐射测量中,光电探测器件是一个极为重要的传感器;而光电器件光谱特性的匹配,则是提高光度色度辐射度仪器测度精度的重要手段之一。我们实验室研制的一套由计算机控制并处理数据的探测器光谱灵敏度的测量装置,采用替代法原理消除光源的波动等误差,并充分发挥微型计算机的潜力,采用先进的电     

基于后验误差拟合的角位移测量误差补偿

在航天、军事、工业这些对器件的体积有着严格要求的领域,光电编码器不仅要求减小外径尺寸和重量,更要提高其测量精度。本文以光电编码器误差补偿方法为研究对象,基于后验误差拟合方法确定误差模型参数,从而实现对小型光电编码器的深度误差补偿。分析了影响光电编码器测角误差的主要因素,建立了长周期误差和短周期误差模型。然后,采用后验误差拟合算法实现了对误差模型参数的确定,提出误差补偿算法;最后,对某一小型光电编码器进行实验,验证了所提出误差补偿算法的性能。某型号光电编码器补偿前的精度为22.48″,补偿后的精度为5.82″。实验表明,采用后验误差补偿方法可以不考虑误差影响因素的大小,直接对编码器进行误差补偿,具有效率高、补偿准确等优点,极大地提高了批量生产时光电编码器产品的精度。     

基于计算机视觉的轴套零件尺寸测量北大核心

针对轴套零件的几何尺寸测量提出了一种基于机器视觉的检测方法。阐述了在Visual C++平台下,采用数字图像处理技术非接触测量轴套几何参数的方法,包括图像的预处理、边缘检测、轮廓提取以及圆度误差检测技术等。通过实验得到测量数据,分析了测量误差的原因。分析及试验表明,用该方法对轴套的几何尺寸及圆度误差进行测量及分析评定在实际应用中是可行的,并具有高效性和实用性。     

基于CPLD的光电编码器测量系统

为了提高光电编码器的反馈精度和消除正交波形中的抖动,提出了一种基于复杂可编程逻辑器件且具有倍频鉴相和滤波功能的光电编码器测量系统。介绍了光电编码器测量原理,将系统划分为滤波鉴相、倍频、计数3个模块,并对这3个模块进行了电路设计和仿真。仿真结果表明,该设计方法能够满足高精度伺服电机正交编码的信号处理要求。     

一种大量程端度孔径测量瞄准装置的设计

端度和孔径的测量采用光电显微瞄准装置进行瞄准,光栅尺或激光干涉仪作为测长系统,从而实现端度测量和二等及以下环规尺寸的测量要求,而对较大面宽度的端度件及较大尺寸的孔径类被测件缺乏有效方法.文中通过对光电显微瞄准装置的光路仿真设计及机械配件设计,采用增大显微物镜焦距的设计方法,实现测量范围达到3～300 mm的大量程端度孔...     

隧道磁阻电流传感器的设计研究

隧道磁阻(TMR)器件具有灵敏度高、温度漂移小、线性误差小、动态范围宽的优良特性,采用隧道磁阻器件替代传统的霍尔器件、各向异性磁阻(AMR)器件和巨磁阻(GMR)器件可以显著地改善电流测量能力。以提高测量精度、系统小型化为目的,通过综合调整TMR元件尺寸以及聚磁结构位置,设计一种新型Z轴TMR电流传感器,实现采用隧道磁阻(TMR)器件的电流测量。根据初始测量数据进行温度补偿和线性补偿,该电流传感器在0.1～60 A范围内达到了1%的测量精度,在电流测量领域内具有较好的应用前景。     

基于面阵CCD的二维几何尺寸非接触测量及其在CNC轮对车床中的应用

针对CNC轮对车床加工磨损轮对时，磨损轮形二维尺寸测量中普遍存在的人工测量或接触式测量存在测量误差大、费时费力的情况，提出了采用CCD二维几何尺寸非接触测量技术，实现磨损轮形二维几何尺寸的在线自动测量，计算出所需要的最小切削深度，大大提高了生产率。     

PSD抗杂光干扰措施的研究

光电位置敏感器件(PSD)是一种可直接对其光敏面上光斑位置进行检测的光电器件,基于光电位置敏感器件可以构成多种非接触的高精度动态位移监测仪器.介绍了位置敏感探测器(PSD)的工作原理及其性能,分析了PSD工作时杂散光对其测量的影响,提出其相应解决方案.     

MOS器件沟道迁移率的测量

一、前言MOS器件的许多特性不但与它的几何尺寸和工艺参数有关,还与反型沟道中载流子的迁移率有关,例如跨导g_m、最高工作频率f_r等。因此测量和研究沟道迁移率对提高器件性能是非常有益的。本文根据沟道迁移率与电导的熟知关系,研制成一种沟道迁移率的模拟测量系统,用它能直接描绘出μ～V_G,μ～I_D关系曲线,因而为MOS器件沟道迁移率的测量与研究提供了一种得力工具。     

直线度自动检查仪的研制

研制了采用准直激光束作为测量基准轴线、线阵CCD光电器件作为位置传感器、由单片机进行数据采集、处理与测量结果显示的直线度自动检查仪。介绍了系统结构原理以及空间直线度误差的最小二乘评定法数学模型。     

数字图像处理技术的应用

文中介绍了数字图像处理技术应用与测量中的原理,对比传统光学测量方法,以在几何尺寸测量中的应用为例,介绍了数字图像处理技术的应用。     

机械零件二维几何尺寸和形状检测系统研究与开发

针对传统接触式尺寸测量方法的缺点,探讨利用单目视觉测量系统对被测工件进行尺寸测量,为产品的尺寸测量提供实时、快速、有效、经济的测量途径.首先,视觉系统获取零件图像,并对图像进行滤波处理;然后,提出采用Canny六阈值法进行边缘提取,得到完整的边缘图像;最终,利用最小二乘法拟合出机械零件的边缘形状,并通过计算获得零件的几何尺寸.实验表明该系统所得到的零件边缘图像清晰,多个几何尺寸的测量精度符合要求.与传统测量方法相比提高了检测零件的效率和精度,大大扩展了测量范围,从而充分体现了机器视觉测量的优点.