双光束激光散斑干涉技术在振动分析中的应用

本文分析了散斑干涉的原理,采用双光束激光散斑干涉法,设计了一种数字散斑干涉的振动测量系统给出了实验结果并对实验结果进行了讨论。     

双光束双曝光与四光束单曝光干涉光刻方法的比较

双光束双曝光和四光束单曝光是无掩模激光干涉光刻的两种典型方法,都容易利用现有光刻工艺,在不需掩模和高精度光刻物镜的情况下,用简单廉价光学系统在大视场和深曝光场内形成孔阵、点阵或锥阵等周期性图形。双光束双曝光法得到的阵列图形周期极限为λ/2;四光束单曝光的周期略大,为前者的2倍。模拟和实验结果表明,通过控制曝光和显影工艺,双光束双曝光较四光束单曝光能更灵活地得到孔阵或点阵,而四光束单曝光得到的图形孔与孔之间没有鞍点,较双光束双曝光形成的孔侧壁更陡。这两种方法在需要在大面积范围内形成孔或点这类周期阵列图形的微电子和光电子器件的制造领域有很好的应用前景。     

双光束激光热膨胀测量设备的研制

介绍一种双光束激光干涉法高精度测量金属热膨胀性设备。利用高真空加热炉对被测样品进行加热、SIOS-SP120D激光干涉仪测量被测样品加热过程中的膨胀量,rbhS104调理板、A＼D转换器放大采集高真空炉内温度信号。编写软件,在计算机上实时显示被测样品热膨胀量随温度的变化规律,实现实时精确测量。膨胀量测量精度达到1．24nm。制作纯铜样品对设备进行检验,检验结果与国家标准值相吻合。     

激光干涉测速用光电开关

介绍激光干涉仪应用特点及对光电开关的要求。研制了一种普克尔开关和相应的控制系统。开关上升时间 4μs,效率 2 0 0∶ 1,全开时间可按实验要求调整     

双光束补偿准直系统

本文提出一种新的双光束补偿准直系统。该补偿系统利用特殊的光路,当激光经过此光路后,产生两束对黎输出光,当入射光发生角漂时,输出的两束光对称的上下漂移,其对称中心线保持不变,从而起到补偿作用,大大提高了准直准确度,其准直误差可≤２×１０＾－６量级。     

四自由度测量系统光束漂移抑制方法与系统

在机床导轨几何误差测量中,空气折射率不均匀造成的光束漂移会降低激光测量系统的检测精度,测量距离越远,影响越大.基于此,该文提出一种波纹管和气泵均匀化空气折射率的方法,抑制光漂的发生.以四自由度激光测量系统为对象,首先分析光束漂移机理,确定影响空气折射率的主要因素为温度与压强,给出轴向最大允许温度与压强梯度;其次通过流体...     

物体表面色的双光束平行检测

介绍了一种用于物体表面色检测的双光束多通道系统,采用脉冲光源模拟标准Ｄ６５有,由ＳＰＤ对颜色进行光谱的平探测,经过精密的光谱定标和光度定标,并结合软件功能,实现了物体色的快速精测量。     

双光束激光多普勒测速实验系统的不确定度分析

激光多普勒测速技术被广泛应用于流体速度的测量。为减小双光束激光多普勒测速实验系统的测量误差,依据计量技术规范JJF 1059—1999 中规定测量不确定度的分析步骤和方法,针对系统的测量结果,从数学模型和测量方法2个方面,分析了流速测量中不确定度的主要来源。采用不确定度的A类评定和B类评定,对测量结果的各不确定度分量进行评定,得到了测量结果的合成标准不确定度和扩展不确定度。     

检测薄膜压电形变的双光束探测干涉仪的设计

为了检测压电薄膜的在电场作用下的微小形变，同时避免基底弯典效应的影响，设计了一种双光束探测干涉仪，通过反馈控制和锁相检测技术，实现了高稳定度、高分辨力的目标，最小可探测形变可达到0.001nm。系统采用计算机控制测量和数据处理，使测量更加佰、准确。     

激光偏角测量技术研究

介绍一种采用激光测量反射镜偏角的方法 ,它适合于光学系统装配时的测量。采用 CCD细分技术对成象光斑质心进行提取 ,提高了偏角测量精度 ,在 1 .2 5°的测量范围内 ,可以达到± 3″的测量精度     

用圆度仪测量球度的赤道─子午联系法

给出了一种以球体若干独立经圆的圆度误差推求整体球度误差的计算方法。该法为圆度仪测量球度开辟了一条新途径。     

角度的图像测量法

为提高角度测量的精度、速度以及扩大角度测量方法的应用领域,提出一种采用基于计算机视觉的图像测量技术进行角度测量的方法。通过对采集到的被测工件图像进行边缘检测、细化处理和霍夫变换,从而确定出其角度。实验结果表明,角度的图像测量法在测量精度、速度、抗噪声等方面具有很大的优势。     

排列互比法用于超精测角的研究

作者分析了我互比法现行的两种数据处理方法的缺点，提出了应用最小二乘法原理推导出合理的数据处理方法。本文还首次从理论上阐明了排列互比法测量结果中出现一次谐波系统误差的原因，提出了减少和消除这一些系统误差的方法，并给实验验证。     

层栅激光多普勒测振系统研究

应用单周期层栅和基于旋转场辨别速度方向的激光多普勒测振系统是近年来研制出的一种新型测速手段。本文在阐述测量原理的基础上,重点介绍了本系统的光学、光电转换、频压转换以及微机信号处理等各组成部分,综述理论与实验研究成果。     

纸浆浓度在线测试方法的研究

根据光的后向散射理论，利用光的反射和折射原理，本提出了一种新的在线测量纸浆浓度的方法－激光光纤测量法。此方法的测量准确度不受流速、温度、压力和纸浆中各种化学离子含量等因素的影响，具有实时性强、测量范围宽、测量准确度高等特点。     

光电摆角动态测量原理及其测量系统

本文阐述了用于测量物体摆角及摆心浮动量的光电动态实时测量原理,以及根据此原理研制的光电导弹喷管摆角动态测量系统。     

光热调制半导体激光波长降低干涉测量误差

本文首次将光源波长的光热调制技术用于正弦相位调制干涉仪中,消除了因直接调制激光波长引起的光强度变化对测量的影响,降低了测量误差。     

光学倍频影响激光外差干涉测量精度的机理

为了同时提高激光外差干涉测量的分辨力和精度,必须深入分析光学倍频对激光外差干涉测量精度的影响机理。在此基础上,建立了光学倍频相位测量模型,从理论上证明,光学倍频能够实现对激光外差干涉信号的细分,提高测量分辨力。光学倍频改变非线性误差的相位而使非线性误差减小,但同时改变了激光干涉多普勒频移的v/c平方项,使得残余累计误差增大。仿真结果表明,光学N倍频使非线性误差减小到原来的1/N,但使残余累计误差增大N2倍。因此,光学倍频仅适用于低速测量的场合。     

白光相移干涉中频谱对测量精度的影响

在相移干涉中有时采用白光干涉来扩大深度测量范围,白光光源的使用,缩短了光束的相干长度,降低了测量精度。本文从干涉理论出发推导了白光相移干涉法测量三维表面形貌的计算公式,通过数值积分的方法分析了干涉光频谱对测量精度的影响。分析表明,在白光相移干涉测量中表面形貌的测量精度与中心波长和频谱宽度有关,白光频谱越宽,测量精度越低,中心波长越大,测量精度越高。