光刻镜头象质测试方法

提出了一种用于测量紫外光或深紫外光光斑位置的新方法，并将这种方法同传统的哈特曼检验法结合起来形成了一种测试光刻镜头象质的新方法。这种方法测量原理简单，测量精度高。     

径向哈特曼动态测量控制

径向哈特曼像质检测系统(RHTS)是一种新型的大口径光学检测系统,在室内不用大口径标准平面镜就可以实现光学系统的检测.目前,RHTS存在测量时间长、图像采集数据量大、以及在测量过程中,温度、噪声等周围环境的不稳定因素对系统的测量结果影响严重等问题.在测量大口径光学系统的过程中,基于对该系统控制流程的分析,本文提出了动态测量控制方案,设计出满足该动态测量所需要的控制电路,并采用新的数据采集处理方法,实现了径向哈特曼的快速动态测量,减少了系统测量时间.     

基于哈特曼传感器的激光波前分布测量技术

激光波前分布作为ISO新列入的衡量激光光束质量的重要参数,对其有效、准确地测量显得十分重要.根据哈特曼波前测量原理,详细介绍了基于哈特曼传感器的激光波前分布测量装置、哈特曼传感器波前斜率测量方法和常用波前重构算法,引入一种定标哈特曼传感器针孔阵列与CCD间距的方法,分析定标实验数据及使用已定标的哈特曼波前分析仪测量波前的实验结果.实验证明定标方法可靠有效.     

图像处理在MDT测量镜片屈光度中的应用

从莫尔偏折技术(MDT)测量镜片屈光度的原理出发,给出了镜片屈光度与莫尔条纹倾角的关系式.进行了实验采集,获取了MDT实测镜片屈光度的莫尔条纹图.然后,基于莫尔条纹图像的特点,采用合适的图像处理算法对实测镜片的莫尔条纹图进行了灰度均匀化、降噪、图像增强、细化等一系列的数字图像处理操作,得到了镜片测量中莫尔条纹图形的清晰轮廓线.最后,给出了不同镜片屈光度的MDT测量结果,并与焦度计的测量结果进行了比较.结果表明,莫尔偏折技术结合数字图像处理用于测量镜片的屈光度时,具有很高的测量精度.     

莫尔偏折技术用于测量镜片屈光度的研究

本文从莫尔偏折技术的基本原理出发,结合镜片屈光度的概念,分别从泰伯效应与光栅遮光阴影原理相结合以及菲涅耳-基尔霍夫理论的角度推导了变形后的莫尔条纹倾角与被测镜片屈光度的关系.两种方法推算结果是一致的,即:镜片的屈光度与透过镜片后产生的莫尔条纹的倾角的正切成正比.对影响镜片屈光度测量误差的几个参量进行了讨论,理论分析表明,选用合适的光栅周期,设定合理的两光栅间夹角,莫尔偏折技术用于测量低屈光度及中高屈光度的镜片具有很高的测量精度.最后给出了测量单光镜片,非球面镜片和渐进多焦点镜片的莫尔条纹图,并进行了分析讨论.     

一种图像处理的全自动焦度计

为了提高全自动焦度计的测量精度和适应性,提出了一种测量图形和计算方法。该研究方法是首先利用脉冲恒流驱动的红外光将16点图像经光学系统投射到面阵CCD上,然后经高速CPU系统采集处理,变成二值化图像,最后用最小二乘法计算出镜片的屈光参数。实验用标准镜片、划伤镜片和镜片落灰尘进行了测试,同四点测量图像进行了比较,实验结果表明标准镜片误差小于国家计量规定屈光度检查最小误差±0.06 D,且都符合国家计量标准,划伤镜片和镜片落灰尘时测量精度明显提高,环境适应性也大大提高。     

镜片表面微变形测试中干涉条纹图象处理的一种新技术

介绍了一种镜片表面微变形测量试用的图象处理系统，此系统泰曼－格林干淑仪将镜片表面形成干涉系统。条纺图象由ＣＣＤ转换，图象卡采集，计算机处理和数据拟合后，获得镜片表面形状的空间立体和截面曲线分布以及镜片变形的绝对大小和相关信息。     

用超声测厚法测量眼镜镜片厚度技术探究

本文通过对使用百分表式测厚仪测量眼镜镜片厚度的不足之处,探究利用超声波测厚仪测量眼镜镜片厚度的方法,为广大眼镜镜片检验人员在测量镜片厚度领域提供了一种新的思路。     

镜片防紫外线性能的实验分析

本文对普通水晶镜片、玻璃镜片和树脂镜片进行了UV-A和UV-B两种紫外波段的透射比定量测量,并将采集的数据进行对比分析,以此判断各类镜片的防紫外线性能。     

哈特曼装置上均方根湍流速度的测量及研究

对哈特曼装置上的粉尘粒子速度及均方根（ｒｏｏｔ－ｍｅａｎ－ｓｑｕａｒｅ,ＲＭＳ）湍流速度进行了测量及研究,获得了哈特曼装置上不同位置粉尘粒子速度、ＲＭＳ湍流速度随时间的变化曲线。粉尘粒子速度采用激光多谱勒测速仪进行测量。文中还对激光测速法及数据处理中ＲＭＳ计算窗口的选取进行了讨论。     

逆反射系数测量标准装置的建立

中国计量科学研究院基于照度法建立了逆反射系数测量标准装置.介绍了该装置的构成和原理;分析了影响测量不确定度水平的主要因素,最终实现测量范围覆盖0.05～1999.00 cd·lx-1.m-2,测量不确定度Urel为3.0％～8.2％,k=2.     

基于激光差动共焦技术的后顶焦度测量系统

为满足后顶焦度高精度测量需求,提出了一种基于激光差动共焦技术的后顶焦度测量方法,研制了一套测量系统。该系统将激光差动共焦技术的精密定焦性能应用于后顶焦度测量,显著地提高了定焦定位能力,利用干涉测长技术测量相应偏离距离,最终实现后顶焦度的精密测量。分析了测量装置的设计思路和测量精度的影响因素。理论分析和实验结果表明,该系统测量精度可达0.03 m ^-1。     

Acceleration measurement using PVDF

An acceleration measurement system using the piezoelectric polymer poly(vinylidene fluoride) (PVDF) is described; furthermore a compensation of the polymer's pyroelectric effects has been achieved. The main advantages of this sensor are its robustness and that it has a very low cost compared with other sensors. The measured sensitivity is 1.071 V m^-1 s²     

基于差动共焦显微技术的微区拉曼光学系统构建与实验研究

研制了一种基于差动共焦显微技术的微区拉曼光学系统装置,对无机样品进行微区拉曼光谱探测。传统显微共焦拉曼光谱技术没有强调系统的定焦能力,而所研制的光学系统装置利用差动共焦曲线过零点与焦点位置精确对应的特性,采用反馈控制技术,具有长时间定焦功能。在微区拉曼散射信号收集时,采用多模光纤空间耦合技术,以光纤代替传统物理探测针孔,提高了环境抗干扰能力,优化了系统结构和装调性能。实验结果表明:该装置具有较高稳定性,可有效探测单壁碳纳米管在1581.510 cm^-1,2708.065 cm^-1特征峰处的拉曼频移及纯物质硫在153.113 cm^-1,219.917 cm^-1,473.322 cm^-1特征峰处的拉曼频移并且实现碳管的单线检测,满足了光谱探测系统装置设计需求。     

n型SnS热电材料的制备与性能研究

SnS由低毒、廉价、高丰度的元素组成, 在热电研究领域受到广泛关注。采用机械合金化(MA)结合放电等离子烧结(SPS)工艺制备了n型SnS_1-xCl_x(x=0, 0.02, 0.03, 0.04, 0.05, 0.06)多晶块体热电样品, 并研究了Cl^-掺杂量对SnS物相、微观结构以及电热输运性能的影响。结果表明: Cl^-的引入会提高电子浓度, 使SnS由本征p型转变为n型半导体。随着Cl^-掺杂量的增加, n型SnS半导体室温下的霍尔载流子浓度从6.31×10¹⁴ cm^-3 (x=0.03)增加到7.27×10¹⁵cm^-3 (x=0.06)。x=0.05样品在823 K取得最大的电导率为408 S·m^-1, 同时具有较高的泽贝克系数为-553 μV•K^-1, 使其获得最大功率因子为1.2 μW·cm^-1·K^-2。Cl^-的掺入会引入点缺陷, 散射声子, 使晶格热导率κ_lat由0.67 W·m^-1·K^-1(x=0)降至0.5 W·m^-1·K^-1 (x=0.02)。x=0.04样品在823 K获得了最大ZT为0.17, 相比于x=0样品(ZT~0.1)提高了70%。     

遮光剂掺杂Al2O3-SiO2气凝胶/莫来石纤维毡复合材料的高温隔热性能研究

分别以TiCl₄和ZrOCl₂·8H₂O作为钛源和锆源, 经过溶胶-凝胶和超临界CO₂干燥过程, 将遮光剂粒子TiO₂和ZrO₂掺入到Al₂O₃-SiO₂气凝胶, 并进一步以莫来石纤维毡为增强相制备出具有一定力学性能的耐高温气凝胶复合材料, 分别探究了两种遮光剂粒子对复合材料的微观结构、力学性能和热导率的影响。结果显示: 遮光剂粒子的引入可以有效阻止气凝胶在高温下的塌陷和团聚, 保持气凝胶高孔隙率的特性; 复合材料呈现典型的气凝胶填充纤维结构, 并且具有轻质(0.21~0.24 g·cm^-1)和高强度(弯曲强度为0.98~1.26 MPa)的优异性能, 拓展了材料的实用性; 在 1050℃的高温下, 由于 TiO₂ 和 ZrO₂ 粒子对红外电磁波具有吸收和散射作用, 可以将复合材料的热导率由0.098 W·m^-1·K^-1分别降低至0.085 W·m^-1·K^-1和0.076 W·m^-1·K^-1, 从而有效提高材料的高温隔热性能。     

一种用于测量重力梯度的扭秤装置

基于扭秤测量重力梯度的原理,设计一款扭秤重力梯度仪,该仪器由扭秤系统、角度测量系统、振幅衰减系统、转台、真空容器5部分构成。针对扭秤悬挂系统稳定的时间过长,极大地影响了重力梯度的测量效率的问题,采用PID控制技术,设计了振幅衰减系统。仿真结果表明:曲率及水平重力梯度的测量精度可达0.5E(1E=1×10^-9m/s²),测量一组重力梯度的极限效率优于1h。     

纳米晶体钛基掺钽TiO2薄膜的摩擦磨损性能

采用室温直流反应磁控溅射技术在纳米晶体钛表面制备掺钽TiO2薄膜,研究了掺Ta量对纳米晶体钛基TiO2薄膜摩擦磨损性能的影响。结果表明：在室温模拟人体体液条件下,掺钽TiO2薄膜与不锈钢淬火钢球（Φ4mm）对摩的磨损率为10^-6-10^-5mm^3·m^-1 N^-1级;随着Ta含量的增加,薄膜的摩擦系数和磨损率呈先...     

基于分子流传感元件的真空腔体漏率测量方法

本文介绍了一种基于分子流传感元件的真空腔体漏率测量方法,该方法通过分子流传感元件测量真空腔体整体漏率,采用的测量装置由气体流量测量系统、真空抽气系统、恒温系统等部分组成.在测量系统中,流经传感元件的气流处于分子流状态,通过测量传感元件两端的差压,计算质量流量,可以得到真空腔体的整体漏率.实验中对多个真空腔体漏率的测量结...     

La、Nb掺杂固相反应法合成SrTiO3热电性能的优化

SrTiO₃作为钛矿型金属氧化物半导体,具有环境友好、原料来源丰富等优点。本研究发现了一种制备高新热电性能SrTiO₃材料的新工艺,对比固相反应法直接烧制的SrTiO₃陶瓷,采用本工艺的PAS+埋烧热处理方法可以降低制备反应温度,并且所得材料的功率因子得到显著提高。该项发现主要研究了在此工艺下制备的不同La、Nb掺杂比(5%-15%)的样品性能变化情况。结果表明,该工艺下制备的SrTiO₃样品中La15Nb15样品在873K时的最大功率因子可达1.279mW·m^-1·K^-1。但是部分样品热导率也会出现一定程度的增加。综合效果是材料热电优值ZT得以提升,在873K时La10Nb5样品的ZT值达到了0.28。