微型光传感器

1 引言 近年来,利用小型、集成化的微型光学系统的传感技术在微机械领域得到了长足的发展（见表1）。利用微细加工技术使批量生产和降低成本成为可能,而光学元件、电子元件和微机械元件的集成化可望实现高功能化和智能化,从而人们期望这些元件在工业方面得到广泛应用。光学元件的集成形式有光波导型、在硅基底上自由配置光学元件的自由空间型和混合型三种。在制作方法上,分为只利用程序加工技术集成光学元件的单片集成和将一部分光学元件表面组装在一起的混合集成两种。单片集成不需对每个光学元件准直,一次即可批量生产。而混合集成则具有将     

全国第十届红外加热暨红外医学发展研讨会召开

由中国光学学会红外光电器件专业委员会、中国光学光 电子行业协会红外分会、中国电子学会量子电子学与光电子 学分会、中国光学学会锦州分会、云南省光学学会、中国机械 工程学会工业炉分会、中国电工技术学会电热专业委员会和 国家红外产品质量监督检验中心联合主办,烟台大学光电信     

多孔硅研究的发展

多年来．人们对多孔硅的制备方法、微结构特征及其化学成分、发光特性以及发光机制等方面做了深入的研究和探讨．文章对这几个方面的研究工作做了介绍．并对目前的研究状况和应用研究中存在的问题进行了分析。制备出均匀性好、发光效率高、性质稳定、机械强度较高的多孔硅是促进其实用化进程的基本途径。人们对多孔硅进行大量研究的目的主要在于获得硅发光集成装置．另外多孔硅的应用研究也体现在光电子器件、光学器件和传感器件3个方面。多孔硅在微电子学、晶片机械加工、生物工艺学等领域也具有潜在的应用价值．     

微系统工程的关键问题:连接与装配

一个由电子学、微机械和光学与光电子学元件构成的完整的微系统,其整体结构所保留着一种理想的方式。由于这方面一同用到的工艺有一部分区别很大,在可预见的一段时间里,只能是一种混合结构。评论家们往往估计不足的一点正是装配与连接技术。它们对整个系统的可靠的功能有着关键性的     

光计算

过去几年内，正当失业率上升时，在劳动力市场上，对于一种全新技能的需求却在上升。正如电子学工程师在工作中使用电子学和集成电路那样，光电工程师需要用光学回路处理问题。这个新技术领域就是集成光学，它是做在平衬底上并具有电和光性能的薄膜回路。工程光学技术能进行简单的信号处理和提供逻辑功能。事实上，工程光技术元件的进步与光纤通讯的发展密切相关，它可以形成数字光计算机的基础。     

《光机电信息》征稿启事

本刊由中国光学学会、中国科学院长春光学精密机械与物理研究所主办,科学出版社出版。本刊征集光学和应用光学、光电子学和激光、微纳科技、材料科学、电磁学和电子学、机械、信息科学和技术等几大领域如下形式的文章:     

光机电产业的现状和市场预测

光应用技术的发展很显著,与其说是在纯光学产业,不如说是在横跨几个产业领域的许多领域中发挥其作用。另外与其以纯光学产业为基础,不如把基础放在机械产业上来重新认识光应用技术。特别是由机械产业如何有效利用光应用技术的观点,产生了“光机电”这种光技术、电子学技术以及机械技术融为一体的概念。基于     

玻璃与玻璃陶瓷蚀刻成型元件

在微型化技术的发展中,已在电子学领域获得成功,不断地制造出效率高而价格便宜的元件。由于微机械、微光学以及微生物学的出现,产生了许多虽然不具有电子学功能,但和电子工业中的芯片有同样作用的微型部件,如传感器、致动器。微型驱动机构、阀门,喷咀(图1)微型手术仪器以及测量物理、化学和生物过程的传感器元件,它们只是这些     

全国第十二届红外加热暨红外医学发展研讨会征文通知

由中国光学学会红外光电器件专业委员会、中国光学光电子行业协会红外分会、中国电子学会量子电子学与光电子学分会、锦州市光学学会、云南省光学学会、中国机械工程学会工业炉分会、中国电工技术学会电热     

《光机电信息》征稿启事

<正>本刊由中国光学学会、中国科学院长春光学精密机械与物理研究所主办,科学出版社出版。本刊征集光学和应用光学、光电子学和激光、微纳科技、材料科学、电磁学和电子学、机械、信息科学和技术等几大领域如下形式的文章:     

《光机电信息》征稿启事

本刊由中国光学学会、中国科学院长春光学精密机械与物理研究所主办,科学出版社出版。本刊征集光学和应用光学、光电子学和激光、微纳科技、材料科学、电磁学和电子学、机械、信息科学和技术等几大领域如下形式的文章:1.研究信息快报     

《光机电信息》征稿启事

<正>本刊由中国光学学会、中国科学院长春光学精密机械与物理研究所主办,科学出版社出版。本刊征集光学和应用光学、光电子学和激光、微纳科技、材料科学、电磁学和电子学、机械、信息科学和技术等几大领域如下形式的文章:     

微电子机械系统技术与蓬勃发展的光纤通信

硅微机械技术是一种新兴技术，它几乎影响着每一个科学技术领域，如汽车、移动通信、航天、化学以及光波系统。目前许多工业领域期待选用微／纳电子机械系统来解决技术上的问题。概括地说，是用标准的集成电路技术实现的。用硅晶片作基底沉积多层膜系，如氮化物、多晶硅、氧化物和各种金属膜系，用制造集成电路的方法可以制造复杂的三维结构。然而，这种结构并不是集成电路，还要通过蚀刻去氧化物释放器件以生产出能运动的结构。在制作工艺上做细微的改变就能生产可运动的器件，诸如旋转齿轮、铰链、平台和柔性梁以及各种类型的电机。在光纤通信应用方面，微电子机械系统(MEMS)技术可制作各种组件，如数据调制器，可变襄减器、光开关、主动均衡器、插／分复用器、光学连接器、色散补偿器、全光开关、可调谐激光光源，有源元件和自适应光学元件。本文描述了用现有的标准制造设备制作出的光通信用的各种微电子机械光学元件。     

控制光子器件的研究与开发

镀膜精度、材料纯度和面形将是光学制造商今后关注的重点。在过去几十年中 ,电子学、汽车甚至暗盒的制造技术都得到提高 ,但大多数光学制造工厂看起来仍像 5 0年代的老样子。你偶尔也会在传统的研磨设备旁边看见计算机数控研磨 /抛光机 ,但制造商说 ,老式手工技术能满足大多数光学元件客户的技术要求。如果价格是客户最重要的要求 ,制造商将扩展那些劳动力便宜的设备。光学元件市场的变革很快来临。互联网和通宵专递服务已改变客户对服务和即时递送的期望。改善了的个人计算机和易用的光学设计软件正使没有得到正式光学培训的客户自己做更多…     

马可尼为空军研制平视显示器的全息光学元件

为了发展General Dynamics F-16战斗机和Fairchild A-10近距离支援机用的低空红外夜视系统，全息光学元件将被用于美国空军“Lantirn”计划的平视显示器之中。空军航空系统处授予英国罗彻斯特马可尼机载航空电子学显示分部(它是英国通用电气-马可尼电子学公司的子公司)一个包括全息透镜在内的发展和制造显示器样机的合同。马可尼电子学分部已经制造了包括有通用衍射光学元件的平视显示器。     

Fabry-Parot平面扫描干涉仪和球面扫描干涉仪的设计制造

平面和球面激光扫描干涉仪包括扫描干涉仪头（光学机械部分），锯齿波信号发生器，光电接收器和放大器。主要机械结构件采用低膨胀系数的因瓦合金，光学件用熔石英，压电扫描元件用PZT压电陶瓷圆筒。F-P镜片的安装采用可折卸式，     

什么是集成光学——新技术简介

六十年代初期,人们在半导体、薄膜等技术的基础上,把电阻、电容、晶体管、二极管等分立的电路元件集成在一起,制成了起一定电路功能的集成电路。时间才过去十年,集成电路在电子设备中已经有了比较广泛的应用,形成了一门新的学科——集成电子学。在集成电子学的启发下,到六十年代末,就有人提出了集成光学的设想。那么,什么是集成光学呢?简单说来,把激光波的振荡、调制、接收等功能集成在一起,实现光波信号的传输,这门学问就是集成光学。     

全国第十一届红外加热暨红外医学发展研讨会征文通知

由中国光学学会红外光电器件专业委员会、中国光学光电子行业协会红外分会、中国电子学会量子电子学与光电子学分会、中国光学学会锦州分会、云南省光学学会、中国机械工程学会工业炉分会、中国电工技术学会电热专业委员会、武汉国家红外产品质量监督检验中心联合主办,常州市万     

全国第十一届红外加热暨红外医学发展研讨会征文通知

由中国光学学会红外光电器件专业委员会、中国光学光电子行业协会红外分会、中国电子学会量子电子学与光电子学分会、中国光学学会锦州分会、云南省光学学会、中国机械工程学会工业炉分会、中国电工技术学会电热专业委员会、武汉国家红外产品质量监督检验中心联合主办,常州市万     

电装开发出降低激光扫描仪成本的技术

日本电装公司已开发成功在硅底板上一体形成微小棱镜和透镜等光学元件阵列的技术。该技术可以利用深反应离子刻蚀（DRIE）工艺，形成数百微米见方的微小光学元件阵列。该公司虽然没有公布技术的具体用途，但是因为具有控制激光方向的功能，估计可用于车载领域的障碍物检测。