差异式离子泵在同轴磁控管上的应用

利用差异式离子泵在同轴磁控管上作动态排气,以抽除管子在脉冲老炼或工作时放出的气体。由于同轴磁控管在排气过程中,电子轰击内腔,而难以排除外腔、调谐活塞以及衰减负载等的出气问题。这些部件在老炼或工作时,在高频能量的作用下,将会放出大量的气体,致使管子不能正常工作,甚至真空度下降,以至阴极中毒、打火等,用一附加泵抽除这些气体是     

电离吸气钛泵及其在电子管排气中的应用

无油超高真空技术对真空器件的研制和生产来说都有它特殊的意义。从现有掌握的资料来看,无油超高真空排气不但能提高电子管的发射性能,改善耐压,耐高频性能,使管子的合格率和优品率提高,还能缩短管子的排气时间,改善排气环境,不怕突然停电等优点。现在国内在电子管排气中广泛使用以溅射离子泵为主,升华泵为辅的组合形式钛泵,这样的组合使排气系统体积庞大,笨重,价格贵,因此,在电子管生产上推广应用还有很多技术问题需要解决。 电子管排气与其它超高真空无油抽气装置有着很多不同的地方,如管子体积一般都较小,管子与系统联接都有一根通导能力…     

磁控管溅射──物理基础和磁控管的应用

在磁场与阴极表面平行的二极管装置中，使在Ｅ×Ｂ方向漂移的电子流自身围旋形成电子捕集阱，可以把这样的二极管装置当作磁控管溅射源。有关杆状阴极或空腔阴极工作在轴向磁场中的同轴圆柱形磁控管用射源的报导已发表几年了。然而，它们的性能由于东端损失而受到限制，但是如果经过适当的磁场整形或合适放置电子反射面来消除末端损失的话，其优良性能就表现出来了。甚至在低压强下，也能得到几乎与电压无关的大电流和高溅射率，这个特征就是我们为什么把二极管作为磁控管工作模式的根据，本文评述了磁控管模式特别是圆柱形磁控管模式中直流溅射源工作的基本原理，也评述了作为溅射源的这些装置的重要性质。     

显象管内残气的定量分析

一、前言 显象管是由多种材料组成。如黑白显象管由玻壳、电子枪(不锈钢电极、灯丝和氧化物阴极)、石墨乳、铝膜、荧光粉和消气剂等组成。这些材料表面上吸附大量气体分子,内部也溶解了部份气体分子。在管子排气过程中,经过烘烤除气、阴极分解和激活后,材料表面和内部大量气体已被排除,但仍有部份气体分子停留在材料的表面和内部。当管子封离后,材料表面的气体分子有可能解吸而进入真空空间,真空空间内的气体分子有可能同材料表面碰撞而被再吸附,形成了动态平衡过程;材料内溶解的气体分子,由于排气规范的某种原因未能扩散进入真空空间被真空…     

一种磁控管用W-Y合金阴极热发射特性研究

研制了一种大功率磁控管用W-Y合金阴极,并对该合金阴极的热发射、寿命等特性分别进行了测试。热发射测试结果显示,该合金阴极在1400℃工作温度时,其直流热发射特性曲线出现了较明显的空间电荷偏离点。而当阴极工作温度升高为1500℃、1600℃时,该阴极的直流热发射特性曲线一直呈直线上升,并未出现空间电荷偏离点,这与金属阴极的热发射特性曲线一般会出现空间电荷偏离点常识相违背。寿命测试结果显示,该合金阴极在1600℃工作温度下,经过80 h寿命测试后,热发射电流密度从初始的1.5直线下降至0.2 A/cm~2,能谱仪分析结果显示,此时W-Y合金阴极中Y元素从初始的46.45%下降至8.36%。最后,对该合金阴极热发射反常现象机理进行了有益的探讨。     

显象管阴极中毒原因的分析

一、前言1982年底,某厂生产出一批14吋显象管,经性能测试发现阴极无发射,阴极表面发黑。几百支管子不合格,使生产流水线作业被迫停产。作者用PHI-550型多功能电子能谱仪对显象管中阴极无发射的原因进行了分析。结果表明,阴极无发射的主要原因是硫和碳元素使其中毒所致。另外,还发现涂层不均匀有开裂现象也会引起阴极失效。     

微波管环境下场发射阵列阴极的工作稳定性研究

场致发射阵列阴极在微波管中的应用无疑是微波真空电子器件的一场革命,但经过多年的研究和发展目前仍没有解决微波管环境下阵列阴极的工作稳定性和寿命问题.虽然国外也有一些利用这种冷阴极的行波管和预群聚速调四极管的实验,但都存在同样的寿命问题.本文对场致发射阵列阴极在微波管环境中的工作稳定性和失效机理进行了分析研究,主要原因是真空度、微波管的残余气氛、电子枪区域的高压打火和离子的回轰影响了阵列阴极的稳定性和寿命等,提出了场致发射阵列阴极在结构、发射体材料、处理工艺、整管排气封接过程等方面的改进方法,以使这种阴极能适应微波电真空器件的特殊环境.     

稀土难熔金属阴极材料的研究进展

介绍了3种阴极,镧钼阴极、稀土钼金属陶瓷阴极及钪钨基扩散阴极的制备方法及发射性能.针对电子管用镧钼阴极发射不稳定的问题,采用原位光电子能谱法研究高温下La2O3(4%,质量分数)-Mo阴极表面La的价态,确定了适合La2O3-Mo阴极的碳化、激活等关键工艺制度,使实用型La2O3-Mo电子管的使用寿命超过了应用要求的水平.为满足大功率磁控管的发展要求,研究了新型稀土钼金属陶瓷阴极.经过高温激活处理后,材料的最大次级发射系数达5.24,实用管型测试结果表明,稀土钼金属陶瓷阴极的性能优于钡钨阴极,显示了良好的应用前景.亚微米结构的钪钨基扩散阴极具有优异的热发射性能,850 ℃下阴极的发射电流密度可达42 A/cm2,激活后Ba,Sc,O等元素形成的活性多层,均匀覆盖在阴极表面,促进了阴极的发射.     

Sc_2O_3掺杂对Y_2O_3-Gd_2O_3-HfO_2难熔稀土氧化物直热式阴极热发射性能的影响

Y_2O_3-Gd_2O_3-HfO_2难熔稀土氧化物直热式阴极具有制备工艺简单,热发射电流密度大,次级电子发射系数大,寿命长等优点,在大功率连续波磁控管中具有很好的应用潜力。为进一步提高Y_2O_3-Gd_2O_3-HfO_2阴极的热发射性能,本文对该阴极的发射物质进行了不同比例Sc_2O_3的掺杂,结果表明,Sc_2O_3的掺杂能有效提高Y_2O_3-Gd_2O_3-HfO_2阴极的热发射电流密度,其中,掺杂10%(质量比)Sc_2O_3的Y_2O_3-Gd_2O_3-HfO_2阴极热发射电流密度在1500℃下达到5.3 A/cm~2,比未掺杂时提升了35.5%。由于在阴极激活过程中Sc_2O_3与Y_2O_3形成了固溶体,合成氧化物中Sc得到电子并释放出游离Sc,增强了涂层的导电性,所以,Sc_2O_3掺杂Y_2O_3-Gd_2O_3-HfO_2难熔稀土氧化物直热式阴极热发射性能具有显著提高。     

平栅型双层膜阴极的脉冲电压处理及场致发射性能研究

采用脉冲电压法对平栅双层膜阴极进行处理,进一步提高其场致发射性能。采用磁控溅射法在平行栅电极上溅射氧化铋薄膜和氧化锡薄膜,并对薄膜进行AFM分析,通过场致发射测试结果表明,经过脉冲电压法处理后的平行栅双层膜阴极的发射性能,如亮度、均匀度等有了很大的提高,阳压为3 000 V,栅压为190 V,其腔体亮度可达462 cd/m2。平行栅双层膜阴极的脉冲电压处理可以有效改善阴极的场发射性能,为改善SED阴极结构及材料提供了一条有效的实验方法。     

金属掺杂对Y_2O_3-Gd_2O_3-HfO_2浸渍W基阴极次级电子发射的影响

Y_2O_3-Gd_2O_3-HfO_2浸渍W基直热式阴极具有热发射电流密度大、工作温度低的特点,是一种用于大功率连续波磁控管的直热式阴极。本文主要研究了金属Re、W的掺杂对Y_2O_3-Gd_2O_3-HfO_2浸渍W基直热式阴极次级电子发射系数的影响。通过测试表明Y_2O_3-Gd_2O_3-HfO_2浸渍W基直热式阴极的次级电子发射系数(δm)为2.64,活性物质分别掺杂20%(质量比)和30%的Re粉和W粉后,阴极的最大次级电子发射系数(δm)都得到了提升,而且掺杂W粉的效果要优于掺杂Re粉。     

TM—86F脉冲调制管的无油排气和无油机组的建立

前言 国防现代化和无线电工业的发展要求电子工业研制更多更好的电子器件。1973年在试制TM—86F脉冲调制管的过程中,为了改善该管的工作特性,提高质量,对该管的排气系统进行了技术改造。用无油抽气系统更换了原排气台上的油扩散泵抽气系统,经生产使用和对无油系统的不断改进,TM—86F脉冲调制管的无油排气,在不改变原有排气工艺规范的条件下,克服了烘壳除气、氧化物阴极分解时瞬时放气大等困难,收到了初步效果。下面将TM—86F脉冲调制管无油排气的情况和无油系统的建立介绍如下: 一、TM—86F脉冲调制管概述 TM—86F型管是海绵镍氧化物…     

Hf栅极栅电子发射的研究

栅发射在栅控行波管及速调管中是较为普遍的现象,为了降低栅发射,通常采用高功函数金属作为栅极或在栅极表面沉积高功函数物质或沉积能与蒸散到栅极上的活性物质反应形成高功函数化合物的金属。本文直接采用纯金属Hf作为栅极,与普通Mo栅极对比,研究了Hf栅极在模拟电子管中管子激活前、阴极激活后栅发射的情况,并对氧化物阴极加速寿命中栅发射情况进行测试分析。结果表明:在阴极激活前后及寿命过程中,纯Hf栅极具有较小的栅发射电流。     

钛泵在磁控管生产中的应用

随着电真空事业的发展,对真空的获得设备提出了愈来愈高的要求。由于无油真空系统 本身有许多优越性,使它在这一领域里得到了广泛的运用。为适应磁控管生产的需要,在 车间党支部的直接领导下,在厂技术科的关心和支持下,我们组织了有车间领导,工人和技 术人员参加的三结合试制小组,充分调动了工人和技术人员的积极性,经过三年的实践,目 前已有几套无油真空系统用于我车间磁控管生产中,该系统性能稳定,操作、维修方便,深 受工人同志们的欢迎。 一、泵的结构及有关参数 我们所用的钛泵,是由…     

涡轮分子泵制造工艺的一些改进及其在微波管排气的初步应用

我所制造的ＡＧ０７５、 ０２８型立式涡轮分子泵与我国ＦＢ—１型立式涡轮分子泵是同一类型产品。在制做过程中对电机、隔离环等进行了一些改进。产品制成后，对Ｏ型运波管进行了排气实验，通过排气过程的质谱分析及管子封离后的频谱分析表明管子的主要性能（信／杂、寄生调频、边带噪声等）都优于有油排气系统（机械泵＋扩散泵＋冷阱），平于无油排气系统（分子筛吸附泵＋钛升华泵＋离子泵）。     

排气方式对氧化物阴极发射性能的影响

本文提出了一种新的排气方式——台下分解和台下激活。阐述了提出这种排气方式的实验依据和特点,介绍了二极管中的实验结果和在显象管中的应用情况。二极管采用台下分解的排气方式,使阴极分解过程中二氧化碳的分压强降低5个数量级,阴极发射密度提高一倍。对9英寸和12英寸显象管作台下分解试验,结果阴极活性显著提高,延长了使用寿命,9英寸显象管寿命达11000小时。     

具有七个焦点的碳纳米管阴极分布式X射线源

介绍一种具有七个焦点的碳纳米管阴极分布式X射线源,具有多焦点集成和可编程脉冲发射的特点,基于该X射线源的辐射成像系统能够快速实现7个不同视角的静态层析成像。碳纳米管阴极采用电泳沉积法制备,单个阴极产生的最大电流可达14 mA,具有很好的大电流发射稳定性和一致性。设计的阳极电压为70 kV,通过模拟仿真计算对结构进行优化,实现了电子束的有效聚焦,平均焦点尺寸小至0.60 mm*0.95 mm,且展现出较好的一致性。整个腔体采用精密加工封装工艺和超高真空排气工艺,获得并保持稳定的超高真空状态。     

锆-铝消气剂在大功率发射管中的应用

一、问题的提出 管内真空度是影响大功率发射管寿命的关键因素。吸附于电子管另件表面或吸收于另件内部的气体,在排气工艺中不可能彻底去除。在发射管存放和使用期间,它们或是慢慢解吸或是在高温加热、高能电子轰击之下迅速地扩散出来,成为发射管的主要气源,于是管内真空度逐渐下降,最终导致阴极中毒,高压击穿、管子寿终。 大发射管含气量大,而排气管通导总是很有限。为使管子在使用过程中能保持好的真空度,除了制定合理有效的排气规范外,一方面要加强材料的予去气处理,另一方面还须注意在管内使用消气剂一这可看成是在管内安装一台“化学泵…     

碳纤维复合石墨阴极的制备及电子发射性能EI

阴极作为强流电子束的起点,对高功率微波源的性能具有重要影响。石墨是高功率源用爆炸发射阴极的常用材料,具有高压重频条件下运行稳定和长寿命的优点。使用具有高长径比、低发射阈值的碳纤维对石墨阴极进行复合,采用场发射及高功率微波测试平台,对比分析纯石墨阴极及碳纤维复合石墨阴极的场发射性能、强流电子发射性能及输出微波特性,结合阴极的微观结构表征,研究碳纤维复合对石墨阴极电子发射性能的影响规律。研究表明:与鳞片石墨阴极相比,40%(质量分数)碳纤维复合石墨阴极的场发射阈值电场由143 kV/cm降低到119 kV/cm,降低了约16.8%,二极管电压为480 kV时输出的微波脉宽与峰值分别提高了13.5%,5.7%。同时考虑到碳纤维在爆炸电子发射过程中结构稳定性的特点,碳纤维的复合也有利于阴极使用寿命的提高。     

碳纤维复合石墨阴极的制备及电子发射性能EI北大核心

阴极作为强流电子束的起点,对高功率微波源的性能具有重要影响。石墨是高功率源用爆炸发射阴极的常用材料,具有高压重频条件下运行稳定和长寿命的优点。使用具有高长径比、低发射阈值的碳纤维对石墨阴极进行复合,采用场发射及高功率微波测试平台,对比分析纯石墨阴极及碳纤维复合石墨阴极的场发射性能、强流电子发射性能及输出微波特性,结合阴极的微观结构表征,研究碳纤维复合对石墨阴极电子发射性能的影响规律。研究表明:与鳞片石墨阴极相比,40%(质量分数)碳纤维复合石墨阴极的场发射阈值电场由143 kV/cm降低到119 kV/cm,降低了约16.8%,二极管电压为480 kV时输出的微波脉宽与峰值分别提高了13.5%,5.7%。同时考虑到碳纤维在爆炸电子发射过程中结构稳定性的特点,碳纤维的复合也有利于阴极使用寿命的提高。