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绝对压力传感器大量应用于环境压力检测、海拔高度测量、大气数据处理、地球物理研究、海底测量等领域.尤其是近年来在汽车行业中的大量应用,使性能好、价格低、通用 相似文献
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介绍了采用簧片式硅弹性膜芯片研制成功的压力敏感元件和传感器,利用这种硅芯片已制得灵敏度和量程范围各不相同的性能优良的压力传感器。 相似文献
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本文介绍作者们已研制成功的一种新型压力传感器可靠性试验仪,它主要由集成定时电路、电磁控制阀门、集成运放、集成分频器、集成电子模拟开关等电路组成,具有自动操作、性能稳定、压力切换快、机械磨损小和重复性好等优点,因此它是压力传感器可靠性测定和老化试验的有用仪器,在实际应用中效益较好。 相似文献
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从电容式压力传感器的结构、环境适应性、介质相容性、产品性能及测量范围等方面,较全面阐述可变电容压力测量技术的特点。并以国外典型产品为例,说明该类传感器在很宽的压力测量范围(0~25Pa至0~70MPa)内能以百万分之一的高分辨率实现高精度测量。 相似文献
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先从理论上分析了半导体压力传感器的液位测量方法,导出差压与液位高度之间的数学表达式并给出了仿真曲线。介绍了测量系统中压力传感器的选型、信号调理电路的设计以及应用中的注意事项。 相似文献
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本文介绍的高性能多晶硅压力传感器,以重掺杂的LPCVD多晶硅薄膜作应变敏感电阻,用二氧化硅层隔离单晶硅衬底,使其工作温度高达200℃以上,若用恒流源供应惠斯登电桥,即使在没有外电路补偿情况下,灵敏度系数(TDS)也仅1.32×10~(-6)FS/℃,可实现近乎理想的灵敏度温度补偿. 相似文献
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<正> 压阻式绝对压力传感器是利用单晶硅的压阻效应,在周边固支的圆型膜片上采用半导体平面工艺,在晶片特定的方向和位置上制成电阻并组成全桥电路,最后通过静电封接技术形成真空腔制成。 相似文献
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文章分析了评述了空间流体测量这一专业领域对压力传感器的特殊需求,并对国内研制高精度高分辨压力传感器提出呼吁。 相似文献
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Tekscan压力分布测量系统 总被引:8,自引:0,他引:8
介绍一种先进的压力分布测量系统,该系统使用独特的柔性薄膜网格压力传感器,能够对任何触面之间的压力分布进行动态测量,并以直观、形象的二维、三维彩色的图形显示压力分布的轮廓和数值,进而做出评估。 相似文献
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压力传感器动态测量方法的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍一种获得压力传感器动态特性指标的方法,可以利用周期压力波激励压力传感器,测得压力传感器的频率响应,然后,利用计算机采集输出电压,通过软件处理滤波的方法,就可以获得压力传感器的频谱特性。测量结果证明:这种测量方法可以很方便地获得传感器全频程的动态特性,为进一步设计改善压力传感器的动态性能提供实验数据。 相似文献