高加速度超精密激光外差干涉测量模型

为了精确地描述激光外差干涉在高加速度超精密测量中加速度对位移测量精度的影响机理与规律,建立了高加速度超精密激光外差干涉位移测量模型.通过分析测量棱镜三维运动对多普勒频移的影响,推导出高加速度激光外差干涉位移测量模型.理论分析和仿真实验表明,当测量加速度为9m/s2,匀加速运行的位移为500mm时,由于加速度变化引起的相对论性效应对测量精度的影响为5nm.高加速度超精密激光外差干涉位移测量模型的建立,可提高激光外差干涉在高加速度超精密测量中的测量精度,为激光外差干涉在高速和超高速测量领域的应用提供了理论依据.     

激光全息和其他光学检测术在航空航天工业中的应用

激光全息和其他光学检测术在航空航天工业中的应用朱建堂（成都飞机工业公司工研所，６１００９２）激光全息检测系指应用激光干涉技术对任意形状和表面状况的物体进行三维干涉检验和测量。。全息干涉计量术是普通干涉计量与光学全息术相结合的计量术，是一种微差位移（或...     

激光干涉波形解调测量振动相位新方法

激光干涉频比计数法广泛应用于绝对法振动标准装置,针对频比计数法只能测量振幅不能得到振动相位,提出一种利用激光干涉条纹与振动台运动位移之间的关系,实现测量振动相位的新方法,并给出激光干涉波形解调测量振动相位的数学模型。该方法基于零差的迈克尔逊激光干涉仪,利用高速采集器同步采集激光干涉信号和传感器信号,并在Lab VIEW虚拟仪器开发平台上,软件解调振动波形,实现振动幅值和振动相位的实时测量。测量结果与正弦逼近法相一致。     

用于微位移测量的迈克尔逊激光干涉仪综述

迈克尔逊干涉术测量微位移可实现纳米甚至更高的分辨力,并且具备能直接溯源至激光波长等诸多优点,是目前微位移测量的重要技术手段.以限制迈克尔逊干涉仪品质提高的非线性误差为主要切入点,对目前各种基于迈克尔逊干涉原理的激光干涉技术进行了分类介绍,主要讨论了微位移测量中实现高精度和高分辨率的干涉测量技术,最后展望了激光干涉法测量...     

振幅分割无掩模激光干涉光刻的实现方法

无掩模激光干涉光刻中的分束方法一般有波前分割和振幅分割。研究和比较了振幅分割无 掩模激光干涉光刻方法和系统,包括振幅分割双光束干涉系统、三光束干涉系统、液浸式深紫外干涉系统及全自动干涉光刻系统。建立了双光束双曝光干涉光刻实验系统。模拟和实验结果表明,对点阵或孔阵图形,在同样的图形尺度下,无掩模干涉光刻比传统光刻简单得多。     

半导体激光端点测长干涉仪实验系统

半导体激光端点干涉测长法是利用半导体激光频率调制特性的一种在长度的两个端点干涉测量长度的新方法。本文介绍基于这种测长方法研制的半导体激光端点测长干涉仪实验的基本原理,构成,定标方法和测量结果。     

浅谈激光计米器

一、激光计米器的原理 激光计米器用双光线的激光多普勒干涉测量技术,实现非接触式长度测量.激光源发射出的激光通过光束分离器产生两束光在被测物体表面产生明暗相间的干涉条纹,光检测器通过回收激光检测到干涉条纹的变化,输出相应的电信号.被测物体移动,光检测器获得信号,测出被测物体的速度,并精确计算出通过测量区域的该物体的长度.     

用"牛眼"型麦克尔逊干涉仪测量入射激光

设计了一种新型的麦克尔逊干涉仪,因其干涉图状如牛眼,故称为“牛眼”型麦克尔逊干涉仪。它以两个球面反射镜代替了原有的平面反射镜,使得干涉加强,干涉图更清晰,同时省去了成像透镜,使系统体积紧凑,便于调节。应用这种仪器探测入射激光,对采集的干涉图进行条纹提取和细化后,可推算出入射激光的波长和入射角。实验对632.8nm和532nm的入射激光进行了测量,波长测量的相对误差分别为5.72%和3.91%。     

激光外差干涉测试

激光干涉测试具有测量准确度高、测量范围宽、测量速度快、测量过程容易实现自动化等优点。本文介绍一种抗干扰能力强、能在车间现场进行精密计量的激光外差干涉测试法和它的应用。     

动态三维面形测量

简述三维测量必要性和要求后，提出用光栅莫尔三维测量，激光全息干涉计量和计算机全息干涉计量的工作原理。     

动态三维面形测量

简述三维测量必要性和要求性，提出用光栅莫尔三维测量，激光全息干涉计量和计算机全息干涉计量的工作原理。     

绝对距离测量技术综述

本文从非相干测量和干涉测量两方面综述了绝对距离测量技术方法。重点介绍了干涉测量法中的半导体激光调频干涉测量技术在绝对距离测量中的一些新应用和新方法。     

光学倍频影响激光外差干涉测量精度的机理

为了同时提高激光外差干涉测量的分辨力和精度,必须深入分析光学倍频对激光外差干涉测量精度的影响机理。在此基础上,建立了光学倍频相位测量模型,从理论上证明,光学倍频能够实现对激光外差干涉信号的细分,提高测量分辨力。光学倍频改变非线性误差的相位而使非线性误差减小,但同时改变了激光干涉多普勒频移的v/c平方项,使得残余累计误差增大。仿真结果表明,光学N倍频使非线性误差减小到原来的1/N,但使残余累计误差增大N2倍。因此,光学倍频仅适用于低速测量的场合。     

原子干涉中的拉曼激光技术

介绍用拉曼激光激励冷原子云团实现原子干涉以及用原子干涉测量重力加速度的原理，讲述了拉曼激光的组成及其频率、相位的控制以及多普勒频移补偿的方法。     

激光定位工件台干涉仪装校

一、概述和技术要求在电子束曝光机中,激光干涉仪测量工件台的位置精度是获得高精度掩模版图形的重要环节。因此对激光定位干涉系统不仅要 1、组合干涉分光镜与长条直角反射镜相对位置的正确,即使组合干涉分光镜的棱线垂直于长条直角反射镜镜面棱线,不垂直度小于30角秒,以保证干涉圈的质量。     

波前分割无掩模激光干涉光刻的实现方法

激光干涉光刻不受传统光学光刻系统光源和数值孔径的限制,其极限尺寸CD达到曝光波长 的1/4,研究了波前分割双光束、三光束方法及四光束无掩模激光干涉光刻方法,提出了可用于五光束和多种多光束和多次曝光的梯形棱镜波前分割干涉光刻方法。用自行建立的梯形棱镜波前分割系统进行了多光束干涉曝光实验,得到孔尺寸约220nm的阵列图形。     

常用计量技术中光波干涉讲座（四）光波干涉光路设立技巧及应用

本文讲述用于计量测试的光波干涉光路设立的一般方法和技巧。列举用白光串联干涉光路作定位原理以及用激光源球面波干涉环调整镜面平行，检测镜面间平行的原理。     

常用计量技术中光波干涉讲座(四)光波干涉光路设立技巧及应用

本文讲述用于计量测试的光波干涉光路设立的一般方法和技巧。列举用白光串联干涉光路作定位原理以及用激光源球面波干涉环调整镜面平行 ,检测镜面间平行的原理。     

PTB所建激光干涉振动一次绝对校准标准简析

按照ISO/16063-11：1999《激光干涉绝对法振动校准》所述,激光干涉振动一次绝对校准方法主要有条纹计数法、最小点法与正弦逼近法三种,其复现频率范围为1Hz～10kHz.而德国联邦物理技术研究院（PTB）现已建立和保存的低频、中频、高频振动激光干涉一次绝对校准标准的复现频率范围则达0.1Hz～20kHz.此外,PTB还实现了旋转运动物理量值--角加速度的复现;其复现频率范围也达到0.3Hz～1kHz.作为曾在PTB1.22实验室进行过研究工作的访问学者,作者旨在通过对PTB所建激光干涉振动一次绝对校准标准的     

激光自混频干涉法测量表面粗糙度的理论分析

设计了一种半导体激光自混频干涉法测量表面粗糙度的实验，对半导体激光自混频干涉法测量表面粗糙度中的干涉效应进行了理论分析，推导了干涉信号与表面粗糙度的数学关系式，讨论了影响测量信号的因素。实验结果表明，随着加工表面粗糙度的降低，反射光的强度逐渐增加，被测物体表面的反射率越高，越有利于测量。