白光干涉表面结构测量仪的优化设计与应用

为测量微机电系统的表面结构,研制了一种基于白光干涉法的表面结构测量仪。设计了显微干涉仪,通过实验分析了显微干涉仪关键设计参数中的光源带宽、物镜数值孔径、孔径光阑大小对垂直扫描白光显微干涉测量中干涉条纹光强分布的影响;设计了Z向一维位移工作台,提出了一种以显微干涉图像灰度值归一化标准方差为依据的白光干涉测量条纹自动搜索定位方法。相关实验结果为白光干涉表面结构测量仪的优化设计提供了参考依据。     

全光纤干涉系统在测量激光光谱结构特征中的应用

利用自制的全光纤干涉系统,对激光光谱结构特性所引起的干涉条纹幅度变化进行了理论分析和实验证明。首次将全 光纤干涉系统应用于激光光谱的结构分析领域,可能会导致出现一种新的激光光谱测量仪。     

基于激光干涉的接触式微位移测量仪

介绍的基于激光干涉的微位移测量仪具有分辨率高、结构简单、成本低的特点。该微位移测量仪由基于迈克尔逊激光干涉原理的微位移测量装置、工作台、光电阵列、信号处理电路、计算机及数据处理软件等组成。该测量仪位移测量理论分辨力可以达到0.01nm,特别适合范围在微米及微米以下的位移测量,可用于MEMS器件的位移检测,压电器件位移检测等。     

气电组合测量技术

气动量仪对于提高检测效率和测量精度是十分有效的。本文以浮标式气动量仪为例,介绍了常见的气动量仪的基本工作原理及方法;并在此基础上,介绍了近年来发展起来的气电组合测量仪的工作原理和性能。     

光栅尺动态测量仪

阐述了利用激光差外干涉法,检查光栅尺准确度的原理,并介绍了根据这一原理而研制成的“光栅动态测量仪”的特点。该仪器在2.2m范围内的测量准确度为±1.5μm并且在生产线上已经可靠地工作了三年。     

一种新型三针法角度精密测量仪的原理与结构

介绍的三针法角度法角度精密测量采用比较测量原理,引入了传递系数的概念,对新型三针法角度精密测量仪的工作原理做了比较详细的介绍,讨论了三针法测量角度精密测量仪标定的可行性,建立了新型三针法角度精密测量仪的工作结构,用测量算例验证了三针法测量角度精密测量仪的工作原理,说明了该角度精密测量仪测量过程,分析了新型三针法角度精密测量仪的工艺特点,总结了测量精度的影响因素并提出了设计注意事项。     

微型地图里程测量仪的研制

利用PIC16C5 7单片机为主控制器 ,设计并制作出微型地图里程测量仪。该测量仪可方便地在地图上测量出两地间通过某一道路的里程。分析了该测量仪的结构和软硬件的组成、特征及其工作原理 ,介绍它的性能指标。     

轴承接触角测量仪

本文介绍了单片机轴承接触角测量仪的测量原理，结构以及软硬件设计。     

全相位谱分析在自混合干涉位移测量中的应用

提出基于全相位谱分析的自混合干涉信号处理方法,用于减小激光自混合干涉位移测量的误差。首先,基于三镜法布里-珀罗腔模型介绍了自混合干涉系统的数学模型,分析了自混合干涉信号的产生机理和特性。然后,研究了弱反馈条件下自混合干涉位移测量方法,采用全相位谱分析算法进行相位测量,重构外部反射体位移曲线;讨论了信号处理算法原理并进行了算法仿真。最后,进行自混合干涉位移测量实验,并给出压电陶瓷位移测量实验结果。结果表明,全相位谱分析算法可将自混合干涉位移测量误差减小到4.4nm;应用全相位谱分析算法分析自混合干涉信号,可在不增加外部光学元件的前提下将位移测量误差减小到纳米量级。     

钢球表面粗糙度测量仪的改进

介绍了钢球表面粗糙度测量仪的基本设计原理、主要技术参数与仪器的基本结构和特点,主要对改进的机械结构进行了详细说明,测量数据表明,改进后测量仪的测量速度快,精度高,且不损伤被测钢球。     

浅谈自动化仪表的干扰及抑制措施

根据仪表的基本原理并结合现场仪表的使用情况,对常见干扰源的类型进行了描述,重点介绍了电磁干扰对仪表的影响并对干扰的抑制措施作了阐述。     

扫描力显微镜中的点衍射干涉现象及其应用

本文论述了扫描力显微镜中的点衍射干涉现象,论证了硅微探针可以作为后向点衍射板并用于检测微探针变位的光学原理。根据这一原理设计了一种新型灵巧的扫描力显微镜,它具有更好的抗干扰能力,稳定优质的光电信号。理论分析及实测表明,该扫描力显微镜具有０．０１ｍｍ 的纵向分辩率、５ｎｍ 左右的横向分辨率。     

基于白光干涉原理的全光纤多功能实验仪

介绍了一种新型全光纤多功能实验仪。实验仪采用了白光干涉原理,通过一套主机系统,组合功能模块,可实现八种不同的教学性实验,并可测量多种物理量。其中光路系统由无源光器件组成,具有组装方便、抗电磁干扰等特性。可以实现满足不同课程、不同专业阶段的实验要求。     

行星传动式渐开线齿轮范成仪的设计研究

对现有渐开线齿轮范成仪的结构、功能进行了分析,指出了其结构及使用上的不足和缺陷,摒弃了传统齿轮范成仪的结构模式,设计了一款新型行星传动式渐开线齿轮范成仪,介绍了其结构、参数、工作原理和特点.通过新旧齿轮范成仪使用对比证明,行星传动式齿轮范成仪操作起来更方便,效果更好,完全可以替代现有齿轮范成仪.     

基于MATLAB GUI的迈克尔逊干涉实验仿真系统的研究

针对传统光学实验装置使用的局限性,在波动光学光的干涉理论基础上,介绍了一种基于Matlab GUI的迈克尔逊干涉仿真系统的设计方法,用户只需进行简单的操作,即可得到各种不同参数下干涉的图样和强度分布图,还可根据需要选择不同的干涉种类,等倾干涉或者等厚干涉。结果表明,该系统仿真效果良好,具有显示直观、操作方便和可移植性强等优点,能够帮助学生更加形象的理解干涉原理,提高其学习兴趣。     

液压模拟加载测控系统设计与应用

为了对大修后工程机械液压系统的作业率评价提供一个量化指标,设计了液压模拟加载测试系统。介绍了该系统的工作原理、控制策略、硬件框架组成、软件模块结构及抗干扰措施。应用表明,该系统可以满足工程实际需要。     

亚纳米级超精细表面微观形貌光电测量技术的现状与发展

通过对亚纳米级超精细表面微观形貌光电测量技术发展现状的介绍，着重阐述了激光差动干涉到同轴式激光表面微观测量的原理，对四种典型同轴式激光轮廓仪的特点以及影响表面微观形貌测量精度和限制测量分辨率的因素进行了分析，介绍了作者关于同轴式激光轮廓仪运用到超精加工金刚石车床上进行纳米级微观形貌在线检测的研究成果。     

介质损耗变频测量仪原理与实现

介质损耗测量是电力系统检测高压电气设备的常规项目；变频测量是一种新的抗干扰技术。文中详细介绍了介质损耗变频测量仅变频测量的基本原理和系统设计的关键技术。