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白光干涉表面结构测量仪的优化设计与应用 总被引:1,自引:0,他引:1
为测量微机电系统的表面结构,研制了一种基于白光干涉法的表面结构测量仪。设计了显微干涉仪,通过实验分析了显微干涉仪关键设计参数中的光源带宽、物镜数值孔径、孔径光阑大小对垂直扫描白光显微干涉测量中干涉条纹光强分布的影响;设计了Z向一维位移工作台,提出了一种以显微干涉图像灰度值归一化标准方差为依据的白光干涉测量条纹自动搜索定位方法。相关实验结果为白光干涉表面结构测量仪的优化设计提供了参考依据。 相似文献
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介绍的基于激光干涉的微位移测量仪具有分辨率高、结构简单、成本低的特点。该微位移测量仪由基于迈克尔逊激光干涉原理的微位移测量装置、工作台、光电阵列、信号处理电路、计算机及数据处理软件等组成。该测量仪位移测量理论分辨力可以达到0.01nm,特别适合范围在微米及微米以下的位移测量,可用于MEMS器件的位移检测,压电器件位移检测等。 相似文献
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介绍的三针法角度法角度精密测量采用比较测量原理,引入了传递系数的概念,对新型三针法角度精密测量仪的工作原理做了比较详细的介绍,讨论了三针法测量角度精密测量仪标定的可行性,建立了新型三针法角度精密测量仪的工作结构,用测量算例验证了三针法测量角度精密测量仪的工作原理,说明了该角度精密测量仪测量过程,分析了新型三针法角度精密测量仪的工艺特点,总结了测量精度的影响因素并提出了设计注意事项。 相似文献
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全相位谱分析在自混合干涉位移测量中的应用 总被引:1,自引:0,他引:1
提出基于全相位谱分析的自混合干涉信号处理方法,用于减小激光自混合干涉位移测量的误差。首先,基于三镜法布里-珀罗腔模型介绍了自混合干涉系统的数学模型,分析了自混合干涉信号的产生机理和特性。然后,研究了弱反馈条件下自混合干涉位移测量方法,采用全相位谱分析算法进行相位测量,重构外部反射体位移曲线;讨论了信号处理算法原理并进行了算法仿真。最后,进行自混合干涉位移测量实验,并给出压电陶瓷位移测量实验结果。结果表明,全相位谱分析算法可将自混合干涉位移测量误差减小到4.4nm;应用全相位谱分析算法分析自混合干涉信号,可在不增加外部光学元件的前提下将位移测量误差减小到纳米量级。 相似文献
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根据仪表的基本原理并结合现场仪表的使用情况,对常见干扰源的类型进行了描述,重点介绍了电磁干扰对仪表的影响并对干扰的抑制措施作了阐述。 相似文献
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介绍了一种新型全光纤多功能实验仪。实验仪采用了白光干涉原理,通过一套主机系统,组合功能模块,可实现八种不同的教学性实验,并可测量多种物理量。其中光路系统由无源光器件组成,具有组装方便、抗电磁干扰等特性。可以实现满足不同课程、不同专业阶段的实验要求。 相似文献
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介质损耗变频测量仪原理与实现 总被引:3,自引:0,他引:3
介质损耗测量是电力系统检测高压电气设备的常规项目;变频测量是一种新的抗干扰技术。文中详细介绍了介质损耗变频测量仅变频测量的基本原理和系统设计的关键技术。 相似文献