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用离子束增强沉积法(IBED)在硅及铜基体上沉积了TiB2薄膜,研究了轰击离子束能量和束流对薄膜的微结构及力学性能的影响。用俄歇电子谱(AES)分析了膜的成分及其界面状况,用X射线衍(XRD)研究了膜的微结构,并测定了膜的硬度及进行膜的高温氧化试验。结果指出:(1)离子束轰击使薄膜晶化,从而影响到膜的硬度及抗高温氧化性能;(2)离子呸增强的二硼化钛薄膜是一种耐高温氧化的高硬膜。 相似文献
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利用多功能离子束增强沉积设备,采用三种不同工艺方法制备TiN薄膜,并对制备的TiN薄膜进行了AES,XPS,XRD,RBS和TEM等分析。结果表明:所制备的薄膜都有很好均匀性,TiN薄膜处在压应力状态;在溅射沉积的同时,在0-20keV范围内,N^+和Ar^+离子的轰击使得TiN薄膜的生长呈现不同择优取向;随着N^+离子轰击能量的增加,制备的TiN薄膜的晶粒增大。 相似文献
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离子束增强沉积TiN薄膜的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
利用多功能离子束增强沉积设备,采用三种不同工艺方法制备TiN薄膜,并对制备的TiN薄膜进行了AES,XPS,XRD,RBS和TEM等分析。结果表明:所制备的薄膜都有很好均匀性,TiN薄膜处在压应力状态;在溅射沉积的同时,在0~20keV范围内,N 和Ar 离子的轰击使得TiN薄膜的生长呈现不同择优取向;随着N 离子轰击能量的增加,制备的TiN薄膜的晶粒增大。 相似文献
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首次采用离子束增强沉积技术对钛基生物材料表面进行了Ti-O薄膜系统合成研究,获得了离子呸合成参数-薄膜成分,结构-表面物理性质-抗凝血性能的相互关系,合成的非晶Ti-O苤膜具有超过热解碳的优异的抗凝血性能。 相似文献
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新型离子束增强沉积技术 总被引:2,自引:0,他引:2
离子束增强沉积技术是近年在离子注入技术基础上发展的新型材料表面改性技术,本文简要介绍多功能离子束增强沉积设备和应用技术研究,设备具有金属离子注入、气体离子注入、离子束增强沉积、磁控溅射沉积功能,进行材料表面改性和制备各种材料薄膜科学研究。 相似文献
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利用电子枪蒸镀Al2O3,同时辅以Ar离子轰击的离子束辅助沉积方法(IBAD)制备Al2O3薄膜,并与单纯电子枪蒸镀方法(PVD)制备的薄膜进行了结构和表面形貌的比较,IBAD法可以得到结构均匀致密的γ-Al2O3晶态薄膜,而PVD9方法仅能得到非晶态疏松的结构,分析结果表明,薄膜沉积过程中,提高离子轰击能量和增加基片加热温度在一定程度上具有相同的效果。 相似文献
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利用离子束共混制备具有高硬度、高熔点及良好化学稳定性的C,B化合物对于彩和离子束增强沉积技术进行材料表面改性有重要意义。利用对烧结碳化硼合物靶进行溅射沉积,同时利用不同能量的Ar^+进行轰击的方法,制备了碳化硼及碳、硼、钛混合膜膜,并对它们的结构与力学性能进行了研究。 相似文献
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离子束辅助沉积制备TiO_2-Nb_2O_5氧敏薄膜 总被引:1,自引:0,他引:1
采用离子束辅助沉积方法在Al2O3陶瓷衬底上制备了TiO2Nb2O5氧敏薄膜。考察了薄膜组分比及退火温度对薄膜氧敏特性和结构的影响。电阻氧分压特性测试结果表明,纯Nb2O5薄膜的氧敏特性优于纯TiO2薄膜;掺入少量的Ti可使Nb2O5薄膜的氧敏特性提高,以5mol%TiO2掺杂的Nb2O5薄膜最佳;过量掺杂则使Nb2O5薄膜的氧敏特性明显变差。在5mol%TiO2Nb2O5薄膜中再掺入少量的Pt(03%05%)可使其氧敏特性更好,而且其响应时间大大缩短。X射线衍射谱(XRD)和X射线光电子谱(XPS)分析表明,在退火后的TiO2Nb2O5薄膜中Nb2O5为单斜(Mform)结晶相,而掺杂的Ti以非晶的TiO2形式存在,即使在高达34mol%TiO2Nb2O5薄膜中也不例外。纯TiO2膜为金红石结构。不同退火温度(90011000C)对薄膜的氧敏特性和结构无明显影响。 相似文献
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用电子束加热沉积法(EBD)制备了厚度420um的ZnIn2ZTe4薄膜。研究了最佳成膜工艺条件和性能,用电子能谱(XPS)分析了ZuIn2Te4薄膜的组成、结构和状态;典型ZnIn2Te4膜最佳参数为:电阻率ρ为3.2×10-1Ω·cm,Hall迁移率是79cm2V-1s-1,载流子浓度是1.58×1017cm-3,禁带宽度(Eg)是2.33eV;探讨了ZuIn2Te4膜导电机理,制作了ZuIn2Te4-Si太阳能电池。 相似文献
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液相沉积法制备TiO2薄膜及其亲水性能研究 总被引:6,自引:0,他引:6
本文采用液相沉积法(LPD)制备了透明TiO2薄膜,并研究了其紫外一可见吸收性能手紫外光照射下薄膜亲水性能的变化。发现热处理前后的薄膜具有相似的紫外吸收性能,在上光照射下亲水性能都有提高,热处理后的薄膜在紫外光照射下可与水完全润湿。和X光电子能谱对薄膜表面的分析表明,热处理前后的薄膜亲水性能的差异是由于薄膜表面的Ti-O键合及TiO2成分增多,在紫外光照射下,Ti^4+变为Ti^3+并有利于水的吸 相似文献
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