MEMS传感器技术产业与我国发展路径研究

随着全球跨入万物互联时代,传感器产业迎来爆发式增长。MEMS传感器因其体积小、灵敏度高、可靠性强的优势逐渐占据主流。当前,我国在MEMS传感器设计、制造、封装、测试等关键产业链环节均取得了长足的进步,但与国际先进水平相比,仍存在诸多差距与短板。根据当前产业发展现状,建议我国在关键技术攻关、产业协同发展以及加大政策支持等方面发力,进一步带动我国MEMS传感器产业全面提升。     

MEMS传感器的真空密封技术

文章介绍了MEMS传感器的几种真空密封方法，提出了一种真空密封方法的设想。     

加速创新步伐的MEMS传感器

近年来,传感器市场持续保持增长,其增速超过15％.特别是MEMS传感器依靠独特的技术优势,逐渐成为改变电子产品设计理念的幕后推手.     

MEMS传感器现状及应用

MEMS传感器种类繁多,发展迅猛,应用广泛。首先,简单介绍了MEMS传感器的分类和典型应用。其次,对MEMS压力传感器、加速度计和陀螺仪三种最典型的MEMS传感器进行了详细阐述,包括类别、技术现状和性能指标、最新研究进展、产品,及应用情况。介绍MEMS压力传感器时,给出了国内外采用新型材料制作用于极端环境下压力传感器的研究情况。最后,从新材料、加工和组装技术方面对MEMS传感器的发展趋势进行了展望。     

MEMS传感器市场热点

探讨了MEMS传感器市场的现状和未来发展趋势,并介绍了MEMS产业链方面的一些状况。     

电容式MEMS压力传感器的优化设计

由于MEMS压力传感器的制作过程中存在着许多不可控因素,例如,制备环境、工艺误差、设备误差等,因此,整个MEMS压力传感器的稳健优化设计是极其重要的。本文对电容式MEMS压力传感器进行优化设计,以期为后续研究开发电容式MEMS压力传感器奠定必要的基础依据。     

MEMS双光纤位移声传感器设计与分析

提出了一种新型强度调制型光纤传感器的理论模型。该模型使用单模光纤,讨论了光在准直透镜中的传播规律,利用光学透镜的准直作用,即矩阵光学原理和高斯耦合理论实现光强调制。强度型光纤传感器采用微电机系统MEMS结构的压力振动膜片拾取振动位移,通过分析施加在膜片上压力的变化及膜片尺寸得到影响双光纤位移传感器灵敏度的相关参数。仿真结果表明:合理的选择参数可以使传感器的灵敏度在不增加结构复杂性的前提下较传统方法有103量级的提高。     

MEMS遇见传感器，改变生活就此开始

通过分析MEMS和传感器技术融合的最新进展,介绍最新的MEMS传感器技术的应用及为智能设备带来的全新应用体验。本文网络版地址：http：//www.eepw.com.cn/article/170153.htm     

MEMS压力传感器工艺可靠性测试评价

随着MEMS技术的飞速发展,可靠性问题逐渐成为MEMS器件在军事和商业中应用的重要阻碍。结合器件的工作环境,分别从高温、高温高湿、温度冲击、过电压、压力过载、温湿循环等环境负载方面探讨硅压阻式MEMS压力传感器的工艺可靠性问题。试验结果表明,环境负载后,圆片级器件特性参数基本无变化,而封装级器件特性参数有不同程度的漂移。参照工厂制定的工艺标准（<10%）,封装级器件测试数据可以有效监控MEM产品的工艺质量。     

MEMS传感器让手机控制更加随心所欲

在手机上用手指敲击一下即可关闭铃声,晃动一下就能变换图片,这些应用听起来有些不可思议,但有了MEMS传感器,这样的场景很快我们都会在生活中看到。     

MEMS传感器开创汽车主动安全系统的新时代

本文试图让从事汽车电子系统设计的工程经理以及工程师概要了解MEMS传感器在汽车安全系统设计创新中的应用,全球主要MEMS传感器系统制造商和半导体公司,从而了解产业发展的现状和趋势。     

MEMS传感器在汽车电子中的应用

阐述了MEMS(微机电系统)的技术与市场特征,从加速度传感器、陀螺仪和压力传感器等多个方面,分析了MEMS传感器在汽车安全与舒适驾驶中的应用。     

MEMS传感器技术及其在海洋观测中的应用

MEMS技术是在微电子和半导体技术及超精密机械加工技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域。基于MEMS技术制造的传感器具有高集成度、高灵敏度、高分辨率、智能化、低功耗、低成本等优点,为海洋观测技术的智能化、网络化、小型化提供了技术支持和发展方向。从MEMS传感器的基本原理出发,介绍了MEMS传感器技术及其在海洋观测中的应用。     

应用MEMS技术，可以缩小传感器与探测器的体积

有一家传感器制造商,已经开始应用MEMS技术,在芯片上制造气体探测器样品了.这家公司的专有技术,有可能将体积庞大,价格昂贵的气体与化学品探测器和仪器制作在硅芯片上;这样的探测器,不论从体积大小方面考虑,还是从价格成本方面考虑,都能满足商业化的要求.     

MEMS运动传感器继续

运动感应器件实际上并不是什么新事物。自从上世纪五十年代开始,运动感应器件已在宇航和军用领域广泛用于导航应用。MEMS版本的加速度计和陀螺仪则是最近开发的新产品,可以极大地降低器件的成本和尺寸。与军用的高精度器件不同,MEMS型的加速度计和陀螺仪主要用于车载和很多消费类电子产品。或者更具体地说,从上世纪九十年代开始,MEMS加速度计已被作为碰撞传感器广泛用于轻型车的安全气囊。从该应用之后,很多产品都开始采用运动传感器件。最新同时也是最引人注目的例子是任天堂的Wii游戏控制器以及苹果公司的iPhone及iPod都采用了MEMS运动传感器。     

MEMS传感器ADIS16209原理与应用

MEMS传感器作为一种新型的、前景广阔的、用途广泛地传感器,正日益得到各国研究人员的广泛重视。本文在介绍MEMS传感器的特点和种类的基础上,详细介绍了AD公司的MEMS双轴加速度传感器ADIS16209的原理、结构以及使用方法等,并设计了基于ADIS16209的倾角测量仪的原理图及开发电路板。     

痕量爆炸物的化学、生物、MEMS传感器探测技术

利用爆炸物的化学或物理性质可实现多种爆炸物检测技术。现有的检测技术可分为两大类：爆炸物的体探测技术与痕量爆炸物探测技术。重点介绍了三种痕量爆炸物探测技术，即生物传感器技术、化学传感器技术及MEMS传感器技术，并指出MEMS传感器技术具有其它技术无可比拟的价格低廉、体积小、携带方便等优点。     

热电式MEMS微波功率传感器的优化设计

为了提高热电式微波功率传感器的传热效率,改善传感器的性能,对热电式微波功率传感器的衬底结构进行了优化设计,得到了最优的衬底结构尺寸。首先研究衬底厚度对热电式微波功率传感器的影响,然后根据得到的最优衬底厚度,研究基底膜位置及尺寸对热电式微波功率传感器性能的影响,最后对所得最优衬底结构传感器的微波特性以及电磁场分布进行研究。结果表明,当传感器衬底的结构尺寸最优时,传感器的最高温度达到352.76 K,S参数小于-20.62 dB。该结构不仅减少了热量在衬底的堆积,提高了负载电阻到热电堆的热传输效率,而且具有良好的微波特性。     

压阻式MEMS压力传感器的原理与分析

介绍了一种压阻式MEMS压力传感器的工作原理,该装置由玻璃支座、单晶硅衬底及PZT薄膜构成,压阻薄膜连接组成惠斯登电桥,以取得更高的电压灵敏度和低温度敏感性.使用有限元分析软件ANSYS对单晶硅衬底的轴对称模型进行了仿真分析,以达到优化设计的目的.