用于X射线干涉纳米测量的微动工作台的有限元分析

Ｘ 射线干涉纳米测量系统要求分析器的俯仰角为１０－ ８ｒａｄ量级,侧滑角为１０－ ６ｒａｄ量级,为此设计了对称式高精度微动工作台,并利用有限元分析软件对设计的结构形式进行了分析,旨在找出影响其性能参数的主要因素,进而实现微动工作台的优化设计     

Ag—BaO纳米复合薄膜在红外超短激光脉冲作用下的内场助…

Ａｇ－ＢａＯ薄膜是一种新型光电发射薄膜材料。制备出ＩＴＯ／Ａｇ－ＢａＯ／ＡＵ三明治电极结构,在红外超短激光脉冲（ｈｖ＝１．１７ｅＶ）作用下,借助内场辅助方法,使得Ａｇ－ＢａＯ薄膜的光电发射量子效率提高了一个数量级,由钠场时的１０＾－７量级提高到内场偏压为１０Ｖ时遥２．２×１０＾－６量级;样品的阈值光强由６０ＫＷ／ｃｍ＾２降为４０ＫＷ／ｃｍ＾２,约降低了３０％。这些结果表明：内场辅助方法确实是降低Ａ     

用于光学调整的二维纳米级微动台的设计分析

研究开发了一种用于光学调整的二维压电驱动的纳米级微动工作台,建立了工作台的力学模型,并利用结构力学理论推导出工作台沿X、Y方向刚度及前二阶固有频率的解析式。通过微动工作台固有频率及沿X、Y方向刚度的实验测试,验证了解析方法和有限元方法用于微动工作台设计分析的可行性。有限元分析结果表明,可通过改变直角平板柔性铰链的特征参数,达到控制和优化工作台固有频率、输出位移、应力分布及驱动力响应的目的,并提出一种初选微动工作台柔性铰链参数的简易方法。     

高准确度直流电阻分压箱的校准

分析了直流电阻分压箱的技术指标和校准水平，提出了等分测量的校准方法，进行了不确定度分析，给出了验证方法。结果表明：用该方法校准的分压箱，比率误差为１０＾－７量级。     

电磁力驱动振膜真空计的研究

本文介绍了一种新的电磁力驱振膜真空计，它的压强量程覆盖１０＾－２Ｐａ－ｌａｔｍ，如需要上限可高达２ａｔｍ。改进电路稳定性后，下限可氏１０＾－３Ｐａ。与现今的静电务驱动振膜真空计相比，高压强扩展了一个量级。该振膜规管的特征是振膜两侧分别固定一个带磁极的驱动线圈和信号线圈。     

分形基片上无序金属薄膜的阻—温特性

研究了沉积在具有无规分形结构的α－Ａｌ２Ｏ３陶瓷基底上的两侧非平整无序Ｐｔ和Ａｕ薄膜的异常Ｒ－Ｔ特性，在１２－２００Ｋ的温区内，当薄膜的方块电阻减小至１０＾２－１０＾３Ω量级时，基底上的分形结构开始对样品的Ｒ－Ｔ特性产物明显的影响，电阻温度系数中负急剧转化，分析认为，在低温区的此种异常现象是由薄膜中的电子相互作用和电子的弱局域效应经起的。     

316不锈钢原位质子辐照疲劳过程中的声频内耗

３１６不锈钢原位质子辐照下疲劳过程中的声频内耗用弯摆在３３３－５７３Ｋ温区和应变振幅为１０＾－＾４量级下进行了研究。结果表明，有质子辐照的疲劳过程中的内耗在较大庆振幅下是与振幅有关的内耗明显小于质子辐照疲劳中的内耗。     

声发射测量系统的研制

介绍一种干涉式光纤声发射传感器,其分辨率高达１０＾－１０ｍ量级,频率范围为１００ｋＨｚ至１．４ＭＨｚ,响应时间小于１μｓ,具有很高的测量稳定性,且可用于状态监测和故障诊断。     

声表面波谐振器型振荡器的研制

本文介绍了金属条射栅双端对声表面波谐振器型的原理和结构特点，给出了一种采用声表面波谐振器稳频的低噪声，高稳定性的振荡器电路设计方案。对影响振荡器频率稳定度的因素进行了分析讨论，并探讨改善声表面波振荡器频率稳定性的方法。该声表面波谐振器的中心频率为１２０ＭＨｚ，无载Ｑｖ，大于２０，０００，插入损耗小于６．０ｄＢ，经测试，秒级频率稳定度为１０＾－１０数量级，在自由室温下的日平均波动为１０＾－６／ｄ数量     

六自由度微动工作台柔性铰链设计

主要介绍了用于六自由度微动工作台的柔性铰链即双向柔性铰链和万向柔性铰链的设计过程，根据微动台中柔性铰链的设计要求，分析了微动台运动时驱动力与铰链变形的关系，确定了满足驱动力条件的柔性铰链刚度范围，并结合柔性铰链强度条件、工作台动态特性以及柔性铰链转角刚度与结构尺寸的关系，进一步确定柔性铰链的刚度和结构尺寸，合理设计柔性铰链．另外，通过有限元分析软件分析了柔性铰链最大受力时的应力分布情况．对柔性铰链的强度进行了校核，进一步保证了柔性铰链设计的正确性．     

HL—1M装置硼化壁的出气特性

借助ＱＭＳ诊断技术，完成了ＨＬ－１Ｍ装置Ｂ／Ｃ壁和Ｓ壁的出气特的对比实验研究。Ｂ／Ｃ壁的最大出气率是２．６０×１０＾２０ｍｏｌ／ｓ其中Ｈ２占９９．６％杂质组分３．８×１０＾－３。与ＳＳ壁相比，Ｂ／Ｃ壁的Ｈ２出气率增加了１．３倍，杂质组分出气率小一个量级，且气体的动力学滞留时间得到增强。     

用双圆柱体测量大内径的定位方法及误差分析

一种采用平行双圆柱体定位、０．６３２８μｍ双纵模Ｈｅ－Ｎｅ激光绝对测距干涉仪测长，适用于直径为数米至数十米范围的小型大内径测量装置。该装置测量不确定主约为１０＾－６量级。     

分步重复投影光刻机精密快速定位工件台研究

介绍了“１．５－２微米实用型分步重复投影光刻机”用的精密快速定位工台的设计，结构特点，精度分析，检测及使用情况。工件台由大行程Ｘ－Ｙ工件台，微动台和调平微转台组成。同时该工件台利用大行程Ｘ－６工件台粗动兼微动与调平微转台的组合完成了“１０：１分步重复投影光刻机”的研制。     

聚酰亚胺LB膜MIS结构C—V特性

本文报道了Ａｌ／ＬＢ聚酰亚胺膜／Ｐ－Ｓｉ（１００）ＭＩＳ结构的Ｃ－Ｖ特性研究结果。６７层ＬＢ膜样品Ｃ－Ｖ特性近乎理想，具有负的固定电荷密度约１０＾１＾１ｃｍ＾－＾２量级，平带时滞后小于０．３Ｖ，对于ＭＩＳ隧道结，除了在－０．５－１．５Ｖ间具有反型层箝位产生的电容峰外，在－１．５－４Ｖ间还出现了另一电容峰值，假设在强电场下隧穿能力剧增，从而结构由隧穿限制区重新进入半导体限制区，可以解释这一峰值的出现     

闪光法测试同心圆柱套筒间接触热阻的研究

用“闪光”法测量同心圆柱套筒之间的接触热阻，利用Ｌａｐｌａｃｅ变换和热四端网络法建立了热参数估计的数学模型，根据灵敏度分析原理对测量系统所涉及的参数进行了分析计算，并以此提出了分段估计接触热阻和试样对流换热系数的方法。作者还实验研究了接触热阻与接触面压力的关系。所介绍的测量方法能够测量１０＾－６ｍ＾２Ｋ／Ｗ量级的接触热阻。     

温轧态2618A铝合金高应速率超塑性的研究

对温轧态２６１８Ａ铝合金在不同度温（４７０－５５０℃）和应变速率为１０＾－＾３－１０ｓ＾０＾－＾１范围内的塑性进行了研究，确定了最佳超塑性变形规范：在５００－５３０℃温度范围内，应变速率为２．８×１０＾－＾１ｓ＾－＾１的条件，可获得大于２３０％。的延伸率，表明该合金具有高应变速率超塑性的特性。     

动态流量法超高真空标准装置

研制成功的动态流量法超高真空标准装置是一台用来校准真空规的绝对真空计量标准,装置由校准系统,微流量计系统,抽气系统和计算机控制系统组成,校准系统采用四球结构,校准球室直径为５００ｎｍ,极限真空度为６．５×１０＾－９Ｐａ,校准范围为１０＾－２～１０＾－７Ｐａ不确定度为３％（１０＾－２～１０＾－６Ｐａ）和１０％（１０＾－７Ｐａ）。     

阳极真空弧及其特性研究

介绍阳极真空弧设备的现象。对弧等离子体特性，阳极的蒸发和起弧方式进行了实验研究。在２５Ａ弧电流下，电子温度０．４￣０．７ｅＶ，电子浓度１０＾１５￣１０＾１７ｍ＾－３，离子通量１０＾１８￣１０＾２０ｍ＾－２ｓ＾－１。     

一新型3自由度柔性微动平台的设计和分析

为解决微定位平台大行程与高精度之间的矛盾,本文设计一新型柔性精密微动平台,并利用螺旋理论对其进行相应的运动特性分析。该柔性微动平台是将三个柔支链构分别作用于工作台的三个轴向上,对柔性机构施加相应的力,使工作台做相应的移动。通过对该平台的有限元分析,获取施加力与各个轴向位移的关系,及输入位移与输出位移之间关系,以使该柔性微动平台达到微米级定位精度的目的。     

双加热丝多元热电偶型标准交流功率,电压,电流测量仪

热电偶具有交直流转换精度的特点，但配对困难。本文提出了利用单热电偶测量交流功率、电压、电流的新方法，介绍了利用单个ＦＥ－１０型热电偶设计的热电偶型标准交流功率，电压，电流测量仪的工作原理，该测量仪的综合误差为３×１０＾－５￣５×１０＾－５。