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沈阳仪器仪表研究所激光干涉仪组 《中国激光》1976,3(1):22-23
随着我国社会主义建设的飞速发展,无论国防和民用工业部门都对机械零件加工精度提出了更高的要求,尤其近年来数控技术的发展,促使大型精密数控机床不断涌现,机床定位精度的准确性,大长度尺寸的精密计量要求,是普通机械光学计量技术所难以达到的。但是,激光干涉计量技术的发展却使这些精密量度不仅有了可能,而且在许多方面都已实现。特别是,我国广大工人阶级、工程技术人员在毛主席革命路线指引下,自力更生,不侵险阻,敢于攀登科学技术高峰,使激光干涉计时技术的应用发展极其迅速地普及到许多领域。 相似文献
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超精密加工是一门新兴的综合性的加工技术,它集成了当今光学、机械、电子、液压、计算机控制、计量检测及新兴材料等成就,超精密加工是一个国家机械加工水平的重要技术标志,也是国防工业生产现代化武器装备的关键技术,它已成为衡量一个国家科学技术发展水平的重要标志之一。 相似文献
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1库格勒公司简介 库格勒激光光学元件和部件凝聚了库格勒公司(KUGLER GmbH)20多年来在精密加工工程和金属反射镜制造方面积累的经验.在工业发达国家,当人们谈论激光工业界、激光设备制造商和激光器用户所需要的最佳反射式光学零部件和光学系统时,总是首推库格勒公司制造的产品.库格勒公司不仅擅长制造现代化的激光光学产品,而且还从事相关的咨询、研发和人员培训.库格勒公司能够提供一系列先进的产品:从单一的激光反射镜到高精密的非球面自适应光学部件,从标准型光束偏转镜到完整的CNC激光聚焦机头,以及以库格勒气浮轴承技术为基础的精密旋转计量平台和微加工机床.库格勒公司向客户提供高可靠性的先进产品,这些产品的高性价比已经在许多客户的实际应用中得到了证实. 相似文献
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李淑芳 《固体电子学研究与进展》1992,(3)
<正>据《Solid State Technology》1991年12月报道,IEEE 1991年亚微米光刻技术讨论会在美国夏威夷举行。会议讨论了1997~2000年制造256Mbit和1 Gbit DRAM所需要的光刻技术。256Mbit和1 Gbit DRAM要求光刻特征线宽的尺寸为0.25μm和0.15μm。会议预测了X射线、电子束光刻和光学光刻技术作为实现上述要求的前景,还提出了精密尺寸测量的计量和缺陷检查等问题。 相似文献
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通常我们将计量分为十大门类,即:长度、热工、力学、电磁、光学、时间频率、无线电、电离辐射、化学、声学等.以上统称十大计量.电子仪器产品的开发、研制和生产,都需要十大计量,但作为专业最为密切的、涉及参量最多的是无线电、时间频率、电磁与光学四大门类的计量.本文仅就这四大门类计量基(标)准及精密测试系统现状简介如下. 相似文献
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此装置是用精密多齿盘与光电测微平行光管构成的一种精密测角装置。由于精密多齿盘具有分度精度高、使用寿命长及操作方便等特点,而光电测微平行光管能自动瞄准,因此构成的测角装置能广泛用于精密角度计量。精度可达到0.4″,是国内少有的一种测角方法和装置。经两年多的测试卖践表明该装置用于各种透明和非透明光学棱镜、光学多面体(四面体、八面体、二十四面体等),光学平板等角度与平行差的测试,都能得到满意的结果。 相似文献
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飞秒光学频率梳在精密测量中的应用 总被引:1,自引:1,他引:1
飞秒光学频率梳通过锁定飞秒锁模激光的重复频率和偏置频率至微波频率基准,在时域上得到重复频率稳定的飞秒脉冲激光,在频域上得到频率间隔稳定的激光频率梳。飞秒光学频率梳作为微波频率与光学频率的桥梁,可以实现对激光频率的直接精密计量,同时作为一种有别于传统连续波稳频激光的特殊激光光源,在激光频率标尺、绝对距离测量和精密光谱测量等光学精密测量领域都有着重要应用。综述了飞秒光学频率梳在若干光学精密测量应用中的研究进展、关键技术和研究动向,分析了其在未来光学测量中的重要作用。 相似文献
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自由曲面光学的超精密加工技术及其应用 总被引:1,自引:0,他引:1
突破传统光学成像系统设计理论和方法,将自由曲面引入光学成像系统中,极大地提高了系统的成像质量和能量的传输效率;采用先进数控超精密制造技术加工自由曲面光学元件,解决了自由曲面光学元件加工的技术瓶颈.开发了自由曲面控制网格的节点矢量的精确计算方法,以及多轴超精密数控加工光学自由曲面的自动编程及其刀具轨迹仿真系统,建立了自由曲面三维拓扑预测模型与优化系统,研发了多个自由曲面测量及评估方法,并搭建了自由曲面光学设计、加工、测试一体化的集成平台.上述核心技术有助解决国际上对复杂自由曲面光学元件在超精密加工及纳米级表面测量中的关键技术难题.研究成果推动了超精密加工及纳米测量领域内的技术进步. 相似文献
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半导体工业在光学微影技术的帮助下,长期形成持续且快速的成长态势,但光学微影在面对更精密的工艺流程已开始出现应用瓶颈,尤其在小于0.1微米或更精密的工艺流程,必须使用先进光学微影或非光学微影术予以克服。 相似文献
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金刚石车削光学零件是指在超精密车床上采用金刚石刀具,在对机床和加工环境精确控制的条件下直接加工出符合光学质量要求的精密光学零件加工新工艺,用来加工非球面、旋转多面体、内外锥体光学表面,具有很好的技术经济效果,特别是激光和红外光子仪器应用的光学零件。 相似文献
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光学平台发展概况 总被引:1,自引:0,他引:1
齐豪 《激光与光电子学进展》2008,45(8):66-68
1.光学平台概述 光学平台是一种隔除振动的工作平面,它利用自身的隔振效果和固有频率等特点,能有效避开环境振动所产生的共振现象,控制振幅放大,减少振动传递率,消除环境振动对加工精度的影响,广泛应用于光学测试、激光扫描、激光干涉和光学制造等科研和教学领域中,适用于全息技术、光谱实验技术、精密检测技术、现代光学、激光技术、集成电子学、医疗生物及光纤等工程领域[1-4]. 相似文献
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超精密纳米位移台常用于扫描探针显微镜、光学显微镜等高精度分析仪器中,其纳米机械性能的精密计量和校准对显微测量系统的性能起着关键作用.基于一种双通道结构差动式平面镜干涉测量与校准方法(英国国家物理实验室),文中对一种超精密位移台的关键计量特性进行了定量研究.构建了基于现场可编程门阵列(FPGA)和LabView的高精度稳频激光干涉数据采集和数据解码系统,使其可溯源超精密纳米位移台的准静态校准计量特性.进一步地,利用该干涉测量系统对超精密位移台的计量特性进行了校准和分析.测试结果显示,该激光干涉校准系统在准开放环境中的背景噪声低于10 pm/√Hz;该超精密位移台具有优良的纳米机械性能,其线性度低于1.2×10-4,分辨率达40 pm,重复性和稳定性较好.上述对校准设备准静态性能和对纳米位移台计量特性的测试结果表明,所提出的方法和系统能够对纳米位移台进行计量,从而用于小于几皮米的皮米级压痕测量以及原子尺度上的大范围测量. 相似文献
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光学频率梳作为精确的光谱工具,在光学原子钟、激光频率计量、精密光谱测量等领域具有广泛的应用。提出了一种基于空间光腔的布里渊光学频率梳振荡器,利用金刚石晶体作为增益介质,在1μm波长双通泵浦的拉曼腔中有效激发了受激布里渊散射和四波混频效应,获得了中心波长为1.2μm、稳态功率为101 W、梳齿间隔为71 GHz的布里渊频率梳输出,对应的最高阶次为23、带宽达1.55 THz。该功率为已知布里渊频率梳的最高功率,相较于微腔结构提升了4个数量级以上。所提方案为实现具有特殊波长的连续波高功率光学频率梳提供了新的技术路径。 相似文献
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