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相似文献
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1.
真空泵     
采用多段喷管的喷射器式真空泵适于粉状物体的真空传输。 有吸入空气量为18~13,800升/分,到达真空度为—65~99kPa等多种模式。 特点: ① 消耗空气量少。  相似文献   

2.
常压真空泵     
DirectorrG真空泵用内齿轮元件代替叶片,其抽速为1立方英尺/分。可以在100μm到1个大气压之间的任何压强下连续工作。特别是内齿轮的设计是很严格的,这就使所产生的摩擦最小。而且它可以在高压强时启动冷凝器,可与带有绝缘阀门的双电压/频  相似文献   

3.
无油真空泵     
在核聚变或巨大加速器中,真空技术非常重要。最近,日本原子能研究所和三菱重工业共同研制成一种称为“梦幻真空泵”的无油真空泵。这种真空泵是能够获得高真空的“陶瓷涡轮真空泵”。该真空泵的内部无任何油或润滑油,但能达到每分钟280升的抽气速率,达到10~(-5)托以  相似文献   

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6.
本文将要介绍一种报警器,专用于监视玻璃真空泵的工作情况。当玻璃真空泵受到撞击、破碎、振动时,该监视器能发出报警。特别要指出的,当玻璃真空泵振动在超声波范围内的频率时,危险性最大,但人不易觉察,此监视报警器能很快报警,可避免真空泵玻璃破碎的损失。玻璃真空泵监视报警器的具体线路如图1所示。使用时,只要将C_(o1)用粘胶贴附于玻璃真空泵的玻璃上,并用屏蔽线引出 C_(o1)的两端,如图1连接。  相似文献   

7.
本文介绍在半导体工艺中应用的干式真空泵的几种选择类型。  相似文献   

8.
介绍了在半导体工艺中应用的干式真空泵的几种选择类型。  相似文献   

9.
在小型激光器系统中,是用油封机械泵给循环的工作气体连续抽气,使其在冷却和纯化之后回到激光器。对于较大的激光器,是用罗茨泵来维持总气流,但油封机械泵仍然需要,用以提供预备真空并连续抽掉辅助气体流,以便除去不要的气体分子,使纯化后的气体以任意必要的组分返回激光器。  相似文献   

10.
介绍了半导体工艺中应用干式真空泵的几种选择类型.  相似文献   

11.
过去,人们在各种半导体工艺中广泛使用油式真空泵,其中又以悬片式真空泵和活塞式真空泵为主要代表。而它们在各种应用中的表现越来越不能令人满意。因此,干式真空泵应运而生。在过去的十多年里,有好几种不同类型的干式真空泵被设计和生产出来,它们在机械结构设计上有明显差异。因为  相似文献   

12.
大唐甘肃西固热电厂2×330MW机组采用水环式真空泵。夏季时真空泵工作液温度高,效率较低,严重影响机组经济性和安全性。生水温度稳定,管路距2台机组真空泵距离均较近,利用现有管路,改造工程工作量较小。真空泵增加一路生水作为冷却水源,显著提高真空泵效率。  相似文献   

13.
无油机械真空泵及其应用   总被引:1,自引:0,他引:1  
综述了适合于电子行业用的无油机械真空泵的种类 ,介绍几种无油机械真空泵的结构、性能、特点和存在的问题 ,以及对泵的选择和应用。  相似文献   

14.
<正> 低温抽气的前提是低温环境。本世纪初低温制冷技术的发展为低温真空技术的发展创造了条件。特别是空气和氦气的相继液化,以及G—M制冷机的产生,使低温真空泵逐步从实验室走向实用化。  相似文献   

15.
在真空科学实验中,经常要使用金属真空泵。为了使金属真空泵能得到高的真空度,则必须对它进行足够的烘烤除气。但它烘烤的时间需要长达几十小时,若用人工控制是很费力的。本文将介绍一种以50Hz 交流电网为基准,控制时间可达100小时以上的时间计时器,其精度很高,由电网的稳定性而定。它很适合于金属真空泵烘烤时间的自动计时。另外超导体在坩埚中烘烤时间也  相似文献   

16.
山东济矿鲁能煤电股份有限公司阳城电厂安装2台150MW凝汽式汽轮机,每台机组配备2台150EVMA型水环式真空泵。该泵工作液冷却水采用以凝汽器的循环水为水源的循环冷却水,在夏季运行时冷却效果差,达不到要求,使真空泵出力下降、泵轮气蚀,影响机组的安全和经济运行。对水环式真空泵的原理、运行特点进行了阐述,提出了对真空泵工作液冷却水系统进行改造的方案,并对系统改造前后的运行效果和经济性进行了分析。  相似文献   

17.
油密封真空泵的安全使用   总被引:1,自引:0,他引:1  
本文主要阐述真空机械泵的运行原理,其中着重说明了泵发生安全事故的主要原因,并 提出了如何改善真空系统的建议。  相似文献   

18.
严增濯 《光电技术》1996,37(1):18-30
电光源和电子管都需要真空设备,优质的真空泵可以制出高性能的器件。本文介绍了机械真穴泵的一些新技术详细介绍了德国莱宝公司的旋片真空泵的种类。  相似文献   

19.
任家生  赵宁 《电子器件》1992,15(1):20-24
WC-0.5型微型真空泵是基于变容原理工作的往复式真空泵.本文介绍了该泵的工作原理和抽气特性.文中还给出了测试结果.  相似文献   

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