金属氧化物半导体气敏传感器研究进展

金属氧化物半导体气敏传感器由于具有低成本、低功耗、高灵敏度、快速响应、稳定耐用等特点而引起人们广泛关注。本文主要介绍了金属氧化物半导体气敏传感器的基本原理、分类、器件结构、气敏机制,重点介绍了金属氧化物气敏传感器性能提升方法。通过掺杂改性、改变微观尺寸和形貌以及形成各种复合结构等都有利于金属氧化物传感器气敏性能的增强,并对其增强机理进行了一定的解释。     

金属氧化物气敏传感器(V)

大多数实用气敏传感器是金属氧化物半导体或金属氧化物固体电解质材料制作的,所以,把它们分为氧化物半导体气敏传感器和氧化物固体电解质气敏传感器两类.前者利用待测气体与氧化物半导体的相互作用引起器件电导（或电阻）的变化来测定气体，后者 利用氧化物固体电解质制作的电池的电动势与气体浓度的关系来测定气体的．     

金属氧化物气敏传感器（IV）

绝大多数金属氧化物气敏传感器的工作原理是基于待测气体的吸附和紧随着的表面 反应过程所引起的电导变化本章简要介绍金属氧化物的表面性质和表面反应过程, 作为 深入了解其气敏作用机理和改善气敏传感器性能的基础     

金属氧化物气敏传感器

金属氧化物气敏传感器是金属氧化物与被测气体发生作用后, 改变了它的电性质, 从 而把气体成份、浓度等化学信息转换成电的信息的一种元器件金属氧化物的电性质与材 料的点缺陷有密切的关系, 因而研究点缺陷理论对了解金属氧化物气敏传感器的作用原 理, 改善其气敏性能都是很必要的     

金属氧化物气敏传感器（Ⅳ）

绝大多数金属氧化物气敏传感器的工作原理是基于待测气体的吸附和紧随着的表面反应过程所引起的电导变化．本章简要介绍金属氧化物的表面性质和表面反应过程,作为深入了解其气敏作用机理和改善气敏传感器性能的基础．     

金属氧化物半导体SO2气体传感器的研究现状

介绍了气敏机理,总结了近年来国内外基于金属氧化物半导体的SO2气敏材料的研究现状,指出了基于金属氧化物半导体SO2气体传感器的不足之处,提出设计复合材料、优化合成方法是提高SO2气敏材料敏感特性的研究方向.     

金属氧化物SnO2半导体气敏传感器

金属氧化物SnO2半导体气敏传感器     

弱化温湿度变化对气敏传感器影响的方法探究

金属氧化物气敏传感器可以实时检测识别化学气体成分,对不同化学气体成分敏感的传感器组成气敏传感器阵列,可以有效识别多种气味,进一步识别散发气味的物体及物体的状态。相比传统的化学试剂分析方法,气敏传感器阵列具有实时性、高可用性、高性价比等优点。金属氧化物气敏传感器的性能会受到温度、湿度的影响导致传感器输出值波动,对气敏传感器阵列正确识别气味产生干扰。利用温度、湿度与传感器输出值之间的能带关系构建能带模型,通过模型拟合实时温湿度及其变化对传感器输出值产生的影响偏差序列,利用计算得到的偏差值序列校正传感器输出数据,达到弱化传感器与温湿度相关性的目的。该方法应用于传感器数据采集过程后的数据预处理阶段,独立于构建完整气味识别系统中的数据建模过程。实验结果显示该方法有效增强了基于气敏传感器阵列构建的气味识别系统的目标识别率。     

金属氧化物气体传感器的非线性处理方法

金属氧化物气体传感器的气敏特性为非线性,难以用于气体组分定量测量。本文在分析该类传感器气敏特性的基础上,提出了一种非线性处理方法。该方法先采用数据预处理技术来解决测量电路的非线性,然后根据其在双对数域中存在线性或近似线性关系的原理通过3点标定进行非线性修正。验证试验证明该方法可以解决该类传感器的非线性问题,获得较高精度的测量结果。     

二氧化锡膜气敏传感器最新研究成果

在论述二氧化锡气敏机理的基础上，介绍了通过掺杂金属、金属离子、金属氧化物等方法制备二氧化锡膜气敏传感器的研究成果以及二氧化锡传感器阵列电鼻子的研究现状，并对其发展趋势进行了展望。     

氧化物半导体的表面过程与气敏机理

本文讨论了金属氧化物表面的气—固,气—气反应及其相关的电子过程。这是金属氧化物半导体电阻型气敏传感器作用机理的基础。在此基础上,定性和半定量地解释了许多实验事实。     

金属氧化物半导体电阻 型气敏传感器作用机理

根据实验所得规律,知金属氧化物表面发生的气—固、气—气反应及其相关的电子过程是气敏作用机理的基础.添加剂、表面处理、温度控制等都能够影响这些反应过程,可用来改善传感器的灵敏度和选择性.     

气·湿敏传感器的制造方法

本专利是关于气·湿敏传感器的制造方法的说明·也就是在电绝缘片上,形成一种由平均粒径是10～100多埃((?))的金属氧化物超细粒子组成的并经氧等离子作用生成活性的电阻膜。由于这活性电阻膜的电阻具有与被测气体的种类和浓度的不同而不同的特征。因此,可以用来制作检测水蒸气、气体的气。湿敏传感器。 下面,以锡这种超细粒子所形成的氧化锡膜制成的气·湿敏传感器的制造方法来加以说明。     

金属氧化物气敏元件稳定性的研究进展

金属氧化物气敏元件性能的不稳定制约了元件的实用化进程,气敏元件稳定性的研究成为气体传感器技术中的一项重要内容。概述了金属氧化物气敏元件稳定性的研究进展,介绍了敏感材料、敏感材料的制备工艺、载体材料、加热/测量电极等因素对稳定性的影响。分析了各种影响因素的作用机理,并对其研究前景进行了展望。     

一种基于全程动态扫描的白酒鉴别智能人工嗅觉系统􀀂

我们根据两类传感器的特性,针对白酒,采用了优化的金属氧化物气敏传感器阵列,进行白酒种类的鉴别实验。采用了一种新的实验方法——动态工作温度全程信号采集的方法。通过对气敏传感器工作电压的控制,使传感器工作温度发生周期性变化,从而形成一组传感器响应变化曲线．以更好地反映对象气体的特征。在对三种白酒的识别实验中,得到了98％的识别率。     

国内气敏传感器动态

气敏传感器对促进科学技术发展、安全生产、环境保护等方面的重要作用及其广泛的应用性,早为国内学者和科技人员所关注。目前,研制气敏传感器的单位上百家,在品种开发和提高产品质量方面的研究也已取得较大进展。国际上一些主要的气敏传感器,例如MOS式、MOSFET式、接触燃烧式、固体电解质式、电化学式、热导式、振动式、电极式等等国内都有研究。此外,利用光纤、LB膜等新技术研究气敏的工作也正在进行。金属氧化物半导体式气敏传感器,由于它能检测的气体品种较多,且检测气体的浓度范围符合易燃、易爆气体LEL值的要求,气敏灵敏度亦较高,价格低廉,因此,和国外一样是研究和生产最多的一种气敏传感器。     

金属氧化物气敏传感器（Ⅱ）

金属氧化物气敏传感器是金属氧化物与被测气体发生作用后,改变了它的电性质,从而把气体成份、浓度等化学信息转换成电的信息的一种元器件.金属氧化物的电性质与材     

金属氧化物微气体传感器制备技术的研究进展

阐述了金属氧化物微气体传感器制备技术的最新研究进展,介绍了气体传感器的气敏膜表面化学处理、气氛沉积、复合气敏膜、热氧化成膜技术、异形电极技术、显微铸造微传感器阵列技术和溶胶凝胶提拉成膜技术,分析了各自的特点,并提出了存在的问题和今后的发展方向。     

金属氧化物半导体气敏材料的研究进展

金属氧化物是重要的半导体材料,具有较好的气敏特性,作为气敏材料被广泛应用。本文较系统地对金属氧化物气敏材料的研究现状作了阐述,重点介绍了复合氧化物气敏材料的研究状况,并对其气敏性质进行了概述。展望了金属氧化物半导体气敏材料今后的研究重点及发展方向。     

金属氧化物气敏传感器（Ⅲ）

由于在太阳能电池、透明电极、催化剂,特别是气敏传感器领域的重要应用,金属氧化物材料日益受到重视.现已有不少文献资料介绍金属氧化物的单晶、陶瓷烧结体和膜材的