微系统及其加工方法的介绍

微细加工技作为现代加工技术的延伸,是二十一世纪的关键技术之一。本文介绍了微机电系统的原理及特点,列举了一些微机电系统中所涉及到的微细加工方法,并阐述了其发展及应用。     

面向微机电系统的微细电铸制造技术

鉴于微机电系统(MEMS)承载的特殊功能,其制造技术成为当前研究的热点。微细电铸以其固有的诸多技术优势,成为制造复杂结构MEMS零部件的主流技术。概述了超声微细电铸技术、超临界微细电铸技术、屏蔽模板随动式微细电铸技术、辅助交变低气压-温度梯度微细电铸技术和高压微细电铸技术五项面向微机电系统的新型微细电铸制造工艺及其研究进展,并指出了今后的研究重点。     

陶瓷材料在微机电系统中的应用

在微机电系统(MEMS)中应用到了许多种材料,其中,使用最多的是陶瓷材料。本文分析了当前国内外在MEMS研究中 的陶瓷材料的应用现状。着重分析了在MEMS中硅作为结构材料的应用以及作为薄膜材料的应用,此外,还介绍了其它 一些在MEMS中常见的陶瓷材料,如碳化硅、氮化硅、PZT压电陶瓷等材料的性能和应用。     

微机电系统中的矩形通道内微气泡控制生长

采用微机电系统（MEMS）硅加工工艺,设计、加工出了6种不同规格的实验用微气泡控制生长MEMS器件;构建了MEMS器件中微气泡控制生长实验系统并完成了实验,讨论了热负荷、微加热元宽度、微通道截面参数、工质流速及物性参数等对微气泡生长的影响。结果表明：同等实验条件下,加热电压幅值越高,微气泡生长速率越快;加热脉冲宽度仅对微气泡形成后的进一步生长有影响;加热条件相同的前提下,微加热元宽度越大,气泡成核所需的时间越短、微气泡生长速率越快;微通道宽度一定且高宽比大于1的条件下,高宽比越小,后期微气泡生长速率越慢;微流体的流速越高,微气泡生长始点越晚、生长速率也越低。相同实验条件下,R113、FC-72、去离子水三者中,R113中微气泡生长始点最靠前、生长速率最快,去离子水中微气泡生长最靠后、生长速率最慢。     

微机电系统器件电镀镍厚度均匀性的模拟与改进

微机电系统(MEMS)金属基器件经常存在电镀镍层厚度不均匀的问题,采用大型有限元分析软件ANSYS对电镀过程的电场分布进行建模分析。探讨了片内辅助阴极的线宽及其与微结构单元的距离对电镀层均匀性的影响。通过正交试验对片外辅助阴极相关的参数──挡板通孔直径、挡板与基底的距离、铜环壁厚及其与基底的距离进行优化,得到合理的电镀工艺条件。     

MEMS的微冷却技术及喷雾冷却过程强化

本文对微机电系统（MEMS）的微通道冷却、微射流冲击冷却、微喷雾冷却、微热管冷却及半导体冷却技术的研究现状进行综述,并探讨了喷雾冷却的影响因素、传热机制及过程强化问题。     

基于MEMS技术的热导池检测器在变压器油中气体监测系统的应用研究

介绍用于变压器油中气体监测的色谱分析技术及存在的不足 ,分析热导池检测器的工作原理和MEMS技术的特点 ,在此基础上根据实际需求 ,设计了一个由基于MEMS技术的TCD构成的变压器油中气体在线监测系统 ,实验表明 ,该系统灵敏度、稳定性等均达到了现场检测的需求 ,能够应用于工业现场     

机电系统状态监测及故障预警的信息化技术研究

随着科技水平的不断进步,信息技术也得到了迅猛的发展。当前,信息技术已经逐步应用到各行各业中,其中也就包括机电系统状态监测及故障预警工作。信息技术可以极大提高工作效率,能够保证机电设备的正常运行。本文将论述机电系统状态监测及故障预警的信息化技术,对机电设备维护有着重要意义。     

微小有限空间内微气泡控制生长的界面追踪与数值模拟

通过对微机电系统微流体器件中气泡生长实验结果的分析,考虑加热元表面液体微层的作用,将微气泡生长分为晶核形成、球形气泡、受侧壁挤压的气泡、沿微通道生长的气泡4个阶段,建立了矩形微通道内微气泡控制生长物理模型;采用Level Set Method模拟了矩形微通道内微气泡控制生长过程,获得了微气泡生长特性。数值模拟结果表明：微气泡初期生长速率较快,后期由于凝结率增大使生长速率减缓;液体温度、微通道宽度、微加热元宽度、加热电压等均对气泡生长始点和生长速率有显著影响。     

微反应器研究最新进展

微化工系统是实现化工过程绿色、安全、高效的重要方法,微反应器作为微化工系统的核心已经成为科学研究的热点之一.近年来,随着微尺度下"三传一反"研究的进展,微尺度流体的性能得到了深入揭示,微反应器技术也被广泛应用于科学研究和工业生产领域.本文以液相微反应器性能和应用为中心,重点讨论微反应器研究的最新进展.     

燃料电池的微尺度测试技术

随着燃料电池体积的微小化,传统的测试技术已经不再适合微型燃料电池某些参数的测试。在这种情况下,基于微机电系统的微尺度测试技术被逐步引入燃料电池的测试中。本文对燃料电池的温度、湿度及燃料浓度等参数的微小型测试技术进行了回顾,同时也对引入显微镜等设备的微型燃料电池可视化系统进行了讨论。最后对燃料电池的微尺度测试技术发展前景进行了分析。     

电磁振动给料机在聚氯乙烯生产中的应用

介绍了电磁振动给料机在PVC生产中的应用，并从该机结构设计、安装、调试等方面模索出最佳运行规律。     

反渗透-电去离子脱盐系统

介绍了反渗透－电去离子（RO－EDI）脱盐系统的特点和应用，RO－EDI脱盐系统具有出水质量高，连续生产，使用方便，无人值守，不用酸碱，不污染环境，占地面积小，运行经济等一系列优点，重点说明制备国产EDI设备中所用的材料（离子交换膜和离子交换剂）及寺充物填充方式等有关问题。指出推广RO－EDI脱盐系统的当务之急是制备国产设备，等空隙填充法为制备EDI设备提供了一种良好的填充方式。     

电-Fenton法废水处理技术的研究现状与进展

电-Fenton法是一种新兴的废水处理技术,在水处理中的应用越来越受到关注。作者综述了电-Fenton技术的特性、动力学特征、各种形式及其特点,以及国内外电-Fenton废水处理技术的试验研究现状。同时提出了该技术亟待解决的突出问题和发展动向．指出高效催化性能的阴极材料的开发应用是电-Fenton法最具潜力的发展方向。     

对制备稳定的微乳液体系过程的分析与探讨

在利用微乳液技术制备复合导电粒子的过程中,微乳液的稳定性是关键。所以在制备稳定的微乳液体系过程中应注意几点问题：首先要明确微乳液是热力学的稳定体系,是一个自发过程,不需要额外补充能量;其次是正确地选择乳化剂和助表面活性剂;再者要掌握正确地制备方法。判断是否是稳定的微乳液体系就要看该乳液在静置的情况下不分层、透明或半透明的液体。本文主要讨论W／O型的微乳液体系。     

阴离子改性硅油乳液的合成及其应用

采用微乳液聚合法,共聚得到改性有机硅微乳液.试验确定了最佳合成工艺条件,产品用于涤棉织物整理,效果良好,是一种优越的织物整理剂.     

新型微孔薄膜及其复合过滤介质基本性能研究

介绍了利用凝固涂层的技术研制出综合性能良好的微孔薄膜复合过滤介质,其中的薄膜具有良好的弹性,能完全匹配基布的各种力学形变。且与基布黏合良好。说明了微孔薄膜的孔径可以人为控制,随不同的制膜条件孔径一般在1．41～9．12μm范围内变化,薄膜的孔隙度最小不低于52％,以及具有良好的耐酸碱能力和可控疏水性;同时,复合过滤介质的抗拉强度主要由基布承担,基布复合微孔薄膜后的经向、纬向断裂强度仅提高1．75％和2．38％,经向、纬向断裂伸长率提高7．14％和6．26％;复合滤布表面平整光滑,其最大静摩擦系数小于常规的机织滤布,且具有较高的透水能力。     

医药院校有机化学实验半微量化的探讨与研究

在绿色化学理念指导下,并结合本校的实践,将半微量化引入医药院校有机化学实验教学的改革中。在实验内容设置上,做到常规实验半微量化,在实验过程中,以减少药品和仪器用量等方法尽可能实现实验的绿色化。实践证明,半微量化实验对学生实践能力和创新自主能力的培养,实现有机化学实验绿色化具有重大意义。