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研究了<0001<和<1210>晶向蓝宝石(α-Al2O3单晶)在注入360keV.1×10 ̄16cm ̄-2或100keV、6×10 ̄16cm ̄-2的In ̄+后产生的损伤、注入层的性能变化和退火行为。实验结果表明,退火过程中损伤的恢复和In的分布与退火气氛有关:在100keV、6×10 ̄16cm ̄-2的In ̄+注入时,注入层电阻率降低了10个量级,大小为6.8×10 ̄3·cm,表面损伤层的显微硬度提高了92%;在360keV,1×10 ̄16cm ̄-2的In+注入时,其表面损伤层的显微硬度提高了45%,在空气中不同温度下退火后,其显微硬度的变化和损伤的变化具有相同的规律。 相似文献
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离子注入α—Al2O3陶瓷材料的表面改性研究 总被引:5,自引:2,他引:3
研究了α-Al2O3单晶注入N^+后的力学性能变化。结果表明,注入剂量为1×10^17N^+/cm^2时,Al2O3的显微硬度提高了92%,注入剂量为3×10^17N^+/cm^2时,在Al2O3表面形成晶层,导致表面软化,显微硬度只是其50%左右。离子注入在样品表面产生了高达-1150MPa的压应力,材料的断裂韧性的改善与此有关,实验亦发现N^+离子注入后Al2O3的断裂韧性提高了95%左右。 相似文献
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N^+离子注入α—Al2O3的表面结构及摩擦性能 总被引:1,自引:1,他引:0
利用X射线衍射,光电子能谱,电镜,Raman光谱等现代测试手段分析了N^+注入α-Al2O3前后材料表面的相组成,原子组成及显微结构,对离子注入改性Al2O3表面的摩擦磨损行为进行了研究。同时,N^稍许主Al2O3后产生的表面压应力使陶瓷表面裂纹变短,变细,变圆等,提高了陶瓷的磨损性能。 相似文献
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Cu离子和Al离子注入M2钢表面改性研究 总被引:9,自引:0,他引:9
报道了M2型高速工具钢在Cu,Al离子注入后表面硬度及抗磨损性的变化。对注入样品进行了显微硬度及抗磨损性的测量和XRD与RBS分析,观察了表面强化与离子注入条件之间的关系。结果显示,注入样品与未注入样品相比,表面硬度及抗磨损性均有显著提高。分析结果表明,Cu,Al离子注入后样品中产生了不同的相,它们对表面强化所起的作用不同。 相似文献
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离子束混合及离子注入陶瓷材料表面改性研究概述 总被引:12,自引:1,他引:11
对离子注入陶瓷材料引起的辐照损伤和材料力学性能、摩擦学性能的改善及陶瓷基体上金属薄膜的离子束混合增强粘着研究的进展进行了综述。 相似文献
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用离子注入、氧化和慢正电子束分析研究了GH903合金的氧化性能的改善与微观作用机理。注入的Cr+.Y+的能量均为60keV,注入的剂量分别由1x1017.cm-2(Cr+)、1x1015Cm-2(Y+)和[1x1015.cm-2(Y+)+1x1017·cm-2(Cr+)]。结束显示,注入样品与未样品相比。氧化增重分别减少4.8%(注Cr+)、24.2%(注Y+)和32.3%(注Y++Cr+)。这表明合金氧化性能改善的作用机理主要是注入离子对样品浅表层内缺陷的填充与退火。同时,注入元素的化学性能和使样品表面更致密也起了重要作用。 相似文献
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简介了离子注入高分子材料研究领域的概况,重点阐述了利用离子注技术改善生物高分子材料表面生物相容性的研究进展。 相似文献
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等离子体浸没离子注入与工件外表面的注入不同 ,存在空间和时间上的尺度。研究结果表明 ,由于内腔 ,如内筒的有限尺寸 ,使注入电压的利用率降低 ,同时使内部等离子体快速耗尽 ,对于特定的内筒 ,利用提高注入电压从而提高注入能量只能在一定的电压范围内实现。在典型的外表面注入工艺条件下 ,内表面离子的耗尽速度是惊人的。如在对于直径 2 0cm的圆筒在 30kV、2× 10 15ions/cm3的条件下 ,等离子体耗尽时间仅为 0 .5 5 μs ,这个时间甚至小于多数脉冲电源的上升沿时间。结果表明 ,内部等离子体源的硬件结构可能是一种有效的解决方法。 相似文献
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聚四氟乙烯的CH4/O2混合气体等离子体表面亲水改性研究 总被引:7,自引:0,他引:7
利用CH4/O2混合气体等离子体对聚四氟乙烯(PTFE)进行表面改性,利用角发辨XPS和接触角对改性效果进行表征。结果表明:CH4/O2混合气体等离子体处理,在一定条件下可较好地改善PTFE的表面亲水性。对等离子体处理机理进行了探讨,认为在处理过程中存在相互影响的聚合、刻蚀和氧化作用,而O2等离子体的刻蚀作用对PTFE的表面亲水改性起着不良的影响。 相似文献
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采用改进的MEVVA源阴极对不锈钢进行了V +C共注入 ,并做了X射线衍射分析 ,硬度和磨损实验。V +C共注入剂量为 1× 10 17— 8× 10 17cm- 2 ,能量为 80keV。实验结果表明 ,V +C共注入后不锈钢表面的机械性能得到了改善 ,表面硬度增加了 16%— 82 % ,而耐磨性则是未注入样品的 1.4— 2 .2倍 ,最好的结果均从剂量为 4× 10 17cm- 2 的样品中得到。X射线分析表明 ,V +C共注入后在不锈钢表面形成了新相FeV ,Cr2 VC2 ,VC ,Cr2 3 C6 和Fe5C2 。这些新相在提高表面硬度和耐磨性方面起了重要作用。这些结果与V +C双注入同种不锈钢所得结果进行了比较 ,比较结果表明共注入方法对材料表面改性比双注入方法更有效。 相似文献
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