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在基于Oxide有源层四次光刻工艺中,研究了增强型电感耦合等离子体干法刻蚀设备对光刻胶的灰化特性。通过正交实验分析了O2流量、功率和压力对光刻胶灰化速率、均一性和横向、纵向损失量的影响趋势。实验结果表明,O2流量对光刻胶纵向损失影响最大,当O2流量为6000 mL/min时,纵向损失量(vertical loss)达到最大。功率对光刻胶横向损失影响(CD loss)最大,当功率为32 kW时,横向损失量最小。在此基础上进一步优化工艺参数,当腔室压力为1.3 Pa,灰化时间为40 s时,CD loss为1.36μm,Vertical loss为0.84μm,C/V值最优。 相似文献
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光刻胶的大面积灰化是TFT工艺的核心工艺之一,本文研究了在增强型电容耦合射频放电模式下,SF6比例对光刻胶灰化率的影响,并建立表面反应模型对此进行解释.研究表明,纯O2气体中加入少量SF6,能够有效提高等离子中氧原子浓度和活化光刻胶的生成量,增大光刻胶灰化率.当SF6比例过高时,氟原子与氧原子形成化学吸附位竞争将导致光刻胶灰化率降低,而粒子间碰撞的加剧与溅射产率的下降使这一趋势愈加明显. 相似文献
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为研究超级铝热剂Al/MnO_2的热安定性,利用水热法制备纳米级MnO_2,采用透射电子显微镜(TEM)对纳米Al粉的氧化层厚度进行表征,计算出Al粉中纯Al的质量分数,从而确定更优配比.采用超声共混法制备得到超级铝热剂Al/MnO_2,利用X射线衍射技术(XRD)和场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)对超级铝热剂Al/MnO_2的晶型和形貌进行表征,采用热重-差示扫描同步热分析技术(TG-DSC)在不同升温速率条件下研究了超级铝热剂Al/MnO_2的非等温热行为,通过微分Kissinger法和积分Ozawa法计算样品的活化能,对活化能计算结果进行对比.结果表明:水热法制备得到的纳米级MnO_2呈短棒状,晶型为α型,球状Al粉氧化层厚度约5 nm,纯Al质量分数约64.5%,超级铝热剂Al/MnO_2铝热反应的温度区间为540~570℃,放热量约930 J/g;利用Kissinger法和Ozawa法拟合相关性较高,计算得到的活化能分别为429.1和421.9 kJ/mol.两种方法计算得到的活化能结果相近且数值较高,表明超级铝热剂Al/MnO_2具有较好的热安定性,安全性能良好. 相似文献
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丙烯酸表面修饰法制备纳晶TiO2薄膜的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
采用sol—gel法制备纳晶TiO2薄膜,在溶胶的制备过程中加入丙烯酸对纳米TiO2胶体颗粒进行表面修饰。溶胶的透射电镜(TEM)分析表明,丙烯酸的表面修饰作用可以抑制在制备和陈放过程中胶体颗粒的团聚。采用原位程序升温,使用X射线衍射仪(XRD)对TiO2粉体由锐钛矿向金红石的转变过程(A→R)进行了考察,结果显示,晶粒的迅速生长和晶型的转变有着密切的联系;此外,丙烯酸的修饰作用能显著提高A→R的温度,且有助于抑制热处理过程中纳晶TiO2颗粒的团聚。TiO2薄膜的原子力显微照片(AFM)表明,丙烯酸修饰法制备的TiO2薄膜,膜层均匀连续,颗粒为纳米尺度。 相似文献
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《中国测试》2019,(12):159-164
环境应力筛选是电子产品生产过程中非常重要的环节,能激发并排除早期故障,而高温测试箱在此环节起着至关重要的作用,其性能好坏直接影响电子产品可靠性。现有的高温试验箱内部温度梯度较大,无法满足试验箱温度均匀的条件,会导致测试结果不准确,此外,加热时间较长,严重影响试验工作效率。结合西门子公司要求,文章以改善高温试验箱温度场分布、缩短加热时间为主要研究目标,首先利用流体仿真软件Fluent对现有高温试验箱进行温度场分析,再通过试验验证仿真的可靠性,并基于最后建立的仿真模型进一步提出环境试验箱的优化方案。结果表明,通过优化,将高温试验箱温度偏差从±4℃优化至±2℃,有效提高高温试验箱温度均一性,加热时间从70 min减少至25 min,加热速率提升一倍,为电子产品高温试验提供更完善的的试验环境。 相似文献
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霍尔推力器的热设计对磁场性能有显著影响。为研究推力器的热优化方法, 对典型霍尔推力器进行热分布计算。采用热传导与热辐射耦合的计算方法, 以辐射传递系数替代角系数, 来表征微元表面间的相对位置对热辐射的影响。为验证模型及相关经验参数的正确性, 在真空舱中开展推力器试验件的放电试验, 获得推力器外部4个测点的温度, 并以此结果与同结构、同工况下的计算数据进行比对, 模型的最大相对误差可以控制在10%以内。在此基础上, 考察了几种典型的热设计方法对导磁组件温度分布的影响, 接着, 对最优方案进行磁场性能变化的评估。本文结果可对霍尔推力器的热设计优化提供参考。 相似文献
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A bi-oriented shrinkable polyethylene film (with free ends) was subjected to a thermal treatment while irradiated by synchrotron X-rays. The experimental set-up allowed the simultaneous acquisition of one-dimensional wide-angle (WAXS) and small-angle X-ray scattered (SAXS) patterns in order to monitor the evolution of the microstructure under a controlled heating ramp (at 10.5 K/min, from 298 until 333 K) followed by an isothermal treatment at 333 K during 400 s. The results show that almost no changes occur in the crystalline phase, the main variations being a substantial reduction of the long period during the heating run. The results are interpreted by the recoil of previously highly stretched amorphous phase (taut-tie molecules). This mechanism is related to a low activation energy of 4.12 kJ/mol. 相似文献
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一种非均匀采样系统采样均匀性的评价新方法 总被引:1,自引:1,他引:1
提出了在多A/D合成采样系统中采样均匀性的评价方法;通过使用正弦波激励系统,将各个子A/D的数据分别抽取形成子抽样序列,使用最小二乘正弦波曲线拟合法,获得各个子抽样序列初始相位间的差异,该差异对应的时间差即为各个子A/D间的采样延迟时间,它们的一致性就是系统的采样均匀性。在一组仿真数据上验证了方法的正确性。在数字存储示波器的实测数据上进行了实验验证,获得了有效的测量结果,验证了方法的可行性。该方法可以用来评价非均匀采样系统的采样均匀性。 相似文献
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The thermal diffusivity of a graphite sheet having an extremely high anisotropy has been measured by a laser heating AC calorimetric method in the temperature range from 30 to 350 K. This graphite sheet has characteristics of high thermal diffusivity and high anisotropy, and it is only 100 m thick. Thus, it is difficult to apply the conventional AC technique. Therefore, we propose a simultaneous measurement method for the in-plane and out-of-plane thermal diffusivities, by analyzing the three-dimensional heat conduction process, which contains the effects of anisotropy and thermal wave reflections. This method was verified by checking with thermal diffusivity measurements of isotropic materials such as stainless steel and pure copper and was then applied to the anisotropic thermal diffusivity measurement of the graphite sheet. 相似文献
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为制定得到符合我国仪器现状、满足对不同测量原理(光阻法和电阻法)、不同测量介质(水和油)、不同测量方式(固定粒径档、可调粒径档和不设粒径档)液体颗粒计数器的分辨力检定需求,对现有的几种分辨力检定、校准方法的优缺点进行分析和比较,最终制定得到具有可靠理论基础和可操作性强的分辨力检定方法,并对该方法进行实验验证。结果表明:该检定方法准确可靠,具有很好的可操作性和适用性。 相似文献
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