砷烷／磷烷监测报警仪的研制

基于火焰光度法原理工作的砷烷/磷烷监测报警仪可对半导体及电子工业生产中使用的砷烷/磷烷进行TLV级的监测报警,对砷烷的最小检测浓度为0.004×10~(-6),对磷烷的最小检测浓度为0.003×10~(-6),响应时间不大于30s。该仪器不仅检测灵敏度高,响应速度快,抗干扰能力强,而且性能稳定,可连续自动监测,操作简便,能满足现场监测要求。     

联碳工业气体公司开始生产砷烷和磷烷

联碳工业气体公司林德分部于1990年10月在其新设的1600万美元的电子气体中心(位于亚利桑那州金曼以南)开始生产砷烷,预定11月份开始生产磷烷。砷烷和磷烷是化合物半导体和硅半导体制造所需的两种关键性气体。该特种工艺气体生产设施完工时,还将配制和包装全部超高纯气体。其中,某些产品将销往美国以外。新设施所用     

微电子学用高纯砷烷、磷烷或硅烷混合物中痕量杂质的气相色谱分析

介绍的分析方法是测定含有H_2或Ar的PH_3、AsH_3或SiH_4混合气中的痕量O_2、N_2、CO、CO_2和C_1～C_4的碳氢化合物。此法用化学法除去PH_3、AsH_3或SiH_4,然后用气相色谱分离,在低温下用13X分子筛富集痕最成份,再用TCD和FID检测。检测极限值估计O_2和N_2为0.5vpm;CO和CO_2为0.1vpm,碳氢化合物为0.01vpm。用同一个扑集柱进行吸附富集与解吸分离,可在同一个流程中,对所有感兴趣的痕量杂质进行分析。测量结果总的相对标准误差,估计在±22％左右。     

砷烷的气相色谱分析

砷烷是半导体生产和科学研究中的重要原材科,不但可应用于半导体外延膜N型掺杂和扩散工艺,还可以应用于离子注入工艺。同时,它对于砷化镓薄膜的制备,也是很重要的材料。砷烷是一种剧毒的易燃无色气体,具有令人厌恶的类似大蒜的气味,是溶血性毒物。由于它有剧毒,且易燃,虽然在实际工     

砷烷的合成与纯化

砷烷是重要的电子特气之一,是半导体工业中不可缺少的基础材料.由于其本身的剧毒性、合成纯度要求高,净化难度大等因素,在国内的安全大背景下,很少有企业愿意冒风险开展此类工作.在此,列举了关于砷烷制备、提纯等一系列工艺的进展.     

砷烷的纯化技术研究进展

砷烷是发光二极管、超大规模集成电路、Ga As、Ga As P生长,N型硅外延、扩散、离子注入掺杂等不可缺少的重要原料,因此需要有极高的纯度。主要概述了砷烷常用的纯化方法,包括吸附法、低温冷冻/精馏法、膜分离法等。     

水热处理增强磷酸钴催化臭氧分解性能的研究

臭氧污染逐渐取代PM 2.5成为大气首要污染物,因此臭氧污染是亟待解决的环境问题.在众多臭氧治理方法中,催化分解臭氧是较为环保、低能耗和低二次污染的臭氧治理方法.钴基无机酸盐由于丰富的表面氧和良好的电子传递能力,在臭氧催化分解方面具有很大的潜力.本文首先通过简单的共沉淀法制备了不同的钴基无机酸盐,并用于催化臭氧分解的研究,结果表明Co3(PO4)2(G?CP)具有相对优异的催化臭氧分解性能.随后,对G?CP样品进一步水热处理,得到改性的G?CP(Hy?CP),实现了催化臭氧分解的活性和稳定性的有效提升.水热处理12 h的Hy?CP(Hy?CP?12)在与臭氧反应6 h后仍保持76％的分解效率,相较于G?CP活性提升了2.1倍.利用XRD、SEM、BET和XPS等测试手段,证明水热处理会使G?CP的晶体结构和形貌发生变化,并且增加了G?CP的比表面积.此外,水热处理会明显增加G?CP的表面氧含量,这对臭氧分解具有重要作用,因而可以有效改善G?CP的臭氧催化分解活性.     

我国超纯砷烷产业化生产技术研究

砷烷是电子气体中用途十分广泛,技术难度非常大的烷类气体,它是一个国家电子气先进与否的重要标志。超纯砷烷的产业化技术,涉及到砷烷的合成、净化、分析检测等诸多专业,为发展我国IC产业,尽快开展超纯砷烷产业化技术研究意义重大。     

含砷铜烟尘砷的选择性分离实验

在氮气气氛下,采用低温焙烧的方法对含砷铜烟尘中的砷进行选择性分离,研究了温度、氮气流量和焙烧时间的变化对砷挥发率的影响,用X射线衍射分析、差热-差重分析等方法研究了含砷铜烟尘中砷的挥发规律,并分析了砷挥发过程的动力学。结果表明,含砷铜烟尘中砷的选择性分离应在低温下进行,避免高温下Zn、Pb挥发损失和As_2O_3生成难挥发的砷酸盐。在250℃,氮气流量300mL/min、焙烧120min的条件下,砷的挥发率为95.68%,渣中砷的含量为0.79%,其他有价金属基本不挥发,实现了砷与其他有价金属的选择性分离,砷以初级As_2O_3产品回收,纯度为96.85%。动力学研究表明,在一定范围内,砷的低温选择性挥发过程符合收缩核模型,其表观活化能为19.71kJ/mol,该过程受内扩散控制。     

乙二醇还原Ru／CNTs的制备及催化氨分解性能研究

为获得高分散的Ru负载催化剂,采用乙二醇液相化学还原沉积法制备Ru／CNTs,TEM、XRD、H2-TPD表征,结果表明,乙二醇液相还原法可以制备金属粒径小（2—4nm）而均匀的高分散度的钌修饰CNTs,其表面存在较高稳态浓度吸附氢。以氨分解制氢作探针反应,实验结果表明,在相同反应条件下,经乙二醇油浴液相还原沉积制备的Ru／CNTs催化剂上氨转化率约为浸渍法制得相应催化剂上的1．6倍,同时发现钌微晶粒径在3—4nm范围的Ru／CNTs对氨分解制氢的催化性能最佳,钌微晶粒径≤2nm时氨分解转化率明显下降。     

不同硅铝比对Fe-Beta分子筛选择性催化还原性能的影响

采用离子交换法制备Fe-Beta分子筛,重点研究不同硅铝比对Fe-Beta的低温性能影响。以NO、NH_3、H_2O、CO_2为反应物的小样催化性能评价显示,当硅铝比为30时,Fe-Beta分子筛催化剂展现出优异的催化活性。研究表明,自主制备的Fe-Beta可有效降低NOx排放,副产物生成量极低。采用X射线衍射、扫描电镜、氮气吸附、氨气程序升温脱附、固体紫外光谱等手段研究分子筛物相结构与分子筛催化剂活性之间关系。结果表明,当控制Beta硅铝比为30,Fe负载量为1.3%时,Fe-Beta具有适宜的比表面积、酸性位及优异的NH_3-SCR活性。UV-vis谱图显示,分子筛中存在不同的Fe物种,通过分峰计算发现,孤立的Fe~(3+)、低聚物、高聚物大颗粒3种同时存在,其中孤立的Fe~(3+)、低聚的Fe■O_y为Fe-beta的SCR活性位点。高性能Fe-Beta催化剂的制备对指导满足非道路四阶段排放法规的高效环保SCR催化剂开发具有重要的理论及实践意义。     

铁基柱撑凹凸棒土的制备及低温选择性催化还原NOx性能研究

以天然的凹凸棒土(ATP)为原料,通过离子交换法、浸渍法制得V2O5负载Fe2O3柱撑凹凸棒土(V2O5/Fe-P ATP),并考查了催化剂(V2O5/Fe-P ATP)低温选择性催化还原NO的活性。运用XRD、红外光谱、扫描电镜、比表面积、孔结构对催化剂进行表征。实验发现,通过Fe2O3柱撑改性的凹凸棒土对于低温选择性催化还原NO具有很好的活性,尤其当温度为220℃时,NO的脱硝效率可达到90%以上。     

PECVD制程中磷烷轻掺杂N+A-SI成膜稳定性的研究

为解决G8.5世代线PECVD制程中磷烷轻掺杂N+A-SI成膜中频繁出现反射功率超过3000 W导致的沉积中断,研究了磷烷流量、RF Generator的匹配特性及RFoffset的电极间距对磷烷轻掺杂N+A-SI成膜中最大反射功率的影响,实验结果表明,在电极间距为20.875~21.875 mm之间进行RFoffset可显著降低磷烷轻掺杂N+A-SI成膜中的最大反射功率至3000 W以内,保证磷烷轻掺杂N+A-SI成膜过程的稳定,且该方法可有效地解决此问题,而提高磷烷流量及使用匹配特性较好的RF Generator解决该问题均存在一定的局限性。     

十四烷微胶囊的制备及性能研究

为解决低温相变材料稳定性不好和易泄露等问题,采用原位聚合法制备了一系列以十四烷为芯材,脲醛树脂为壁材的低温相变微胶囊。探究了乳化剂种类、HLB值、预聚体水量和初始pH值等因素对微胶囊制备的影响,采用SEM、FT-IR、DSC和马尔文激光粒度仪对微胶囊的形貌、化学构成、热力学性质和粒径进行测试分析。实验结果表明,以Span80-Tween80复配乳化剂制备得到的微胶囊,形貌光滑且呈球形,粒径分布均匀,相变温度为3.05℃,相变潜热达到60 J/g,平均粒径为8.4μm。芯材和壁材仅为简单的物理嵌合,具有良好的储热性能和热稳定性。     

Cu@Co纳米颗粒合成及催化氨硼烷水解放氢性能

以Na BH4为还原剂合成了具有核壳结构的Cu@Co纳米颗粒,研究了其催化氨硼烷水解放氢性能。结果表明,Cu和Co的比例不同,Cu@Co纳米颗粒的催化活性也不同,其中Cu0.2@Co0.8的催化活性最高,室温下最大放氢速率达1364 m L min-1 g-1,活化能为59.1k J mol-1。Cu0.2@Co0.8催化氨硼烷水解反应对催化剂浓度是一级反应,对氨硼烷浓度为零级反应。Cu@Co核壳结构在催化反应中比Cu Co合金能够提供更多的反应活性位点,而且单质铜和钴之间存在的协同作用和电子效应在提高催化性能方面起着关键作用。     

新型金属注射成形催化脱脂型粘结剂的催化快速分解研究

催化脱脂是目前MIM技术领域新的发展方向,研究了新型金属注射成型催化脱脂型粘结剂的催化快速分解,研究结果表明,该催化脱脂型粘结剂在以HNO3为催化剂进行催化脱脂时,注射成形坯经3－4h催化脱脂后,脱脂坯内部已形成大量的连通孔道,脱脂时间,脱脂温度以及 不同粘结剂组成影响催化脱脂效果。     

低温选择性催化还原脱硝催化剂CeVO_4/凹凸棒土的制备和性能研究

燃煤电厂产生的氮氧化物会严重危害大气环境和人类身体健康,如何减少氮氧化物的排放已成为研究的热点。通过水热法制备的低温选择性脱硝催化剂CeVO_4/凹凸棒土是以凹凸棒土为载体材料,以CeVO_4为活性催化中心,通过XRD、SEM和N_2吸附等表征手段分析表明所制备催化剂的活性成分主要为CeVO_4,同时有微量的CeO_2和V_2O_5生成,且具有大的比表面积(217.571m~2/g),在180℃时的催化转化效率达到最大93.24%,在一定量SO_2存在的条件下,催化转效率依然维持在81%以上,表明CeVO_4/凹凸棒土催化剂具有较好的低温催化活性和抗SO_2毒害性能。