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波纹膜片是一种环状同心波纹的圆形膜片,是差压传感器的核心零件。针对传统膜片设计计算方法存在的计算工作量大、误差大、周期长、费用高、难以计算膜片在受力状态下的应力分布情况等缺点,以经典的膜片压力特征方程为理论依据,辅以有限元分析方法,对膜片进行设计。对基于该方法设计的膜片进行一系列的测试和验证。结果表明,与传统设计方法相比,该方法不仅缩短了膜片的设计周期、提高了设计精度,而且满足了传感器对膜片的特性要求,对于类似膜片的设计具有一定的参考意义。 相似文献
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采用高强度合金膜片作为初始敏感元件来承受被测压力,再利用硅油将压力传递到压阻敏感元件上,经硅油传递后的压力要比被测压力小很多,从而可用低量程的压阻元件制成超高压力传感器。基于此原理,本文采用量程为2MPa的压阻元件,研制成了400MPa量程的超高压力传感器。 相似文献
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量程和温度特性是传感器的两个主要指标,SAW压力传感器的量程由基片材料的结构尺寸决定,温度效应一般采用双端对谐振器来消除,目前关于两个谐振器的位置确定还没有一个确定的方法.通过力学分析得出了圆形石英膜片的半径、厚度、和最大载荷的关系;对石英圆形膜片的应力应变关系进行了有限元数值计算,得出了正负应力在圆形石英膜片的分界点,为设计SAW谐振式压力传感器的物理结构和合理的安排谐振器的位置提供了依据. 相似文献
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给出一种用于义齿压力测量的微型电容式传感器的研制工艺和封装测试。文中根据电容式压力传感器的原理,采用MEMS工艺,研制出微型传感器。在与义齿基托相同材料的作底基的树脂上挖一个边长为2mm平整的方形小坑,将传感器分布式埋植入底基,并用自制的施加压力的装置对传感器进行测试,从而检测出压力对口腔下方组织的作用力。测量结果表明,该传感器能够准备地测量出当牙齿咬合时,义齿基托所承受的力和力的分布。该传感器性能良好,具有比较稳定的输入与输出关系,适用于口腔恶劣环境下测量义齿对口腔下方组织作用力。 相似文献
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详细给出了一种用微型电容式压力传感器镶入义齿基托的义齿受力检测系统。根据电容式压力传感器的工作原理,采用微机电系统(MEMS)工艺,研制出微型电容式压力传感器。通过传感器的埋入封装工艺,在与义齿基托相同材料的作底基的树脂上挖一个边长为2 mm平整的方形小坑,将传感器分布式埋植入底基,并用自制施加压力的装置对义齿对口腔下方组织的作用力进行测试。测量结果表明:本系统能够准确地测量出当牙齿咬合时,义齿基托所承受的力和力的分布。该传感器性能良好,具有比较稳定的输入与输出关系,适用于口腔恶劣环境下测量义齿对口腔下方的组织作用力。 相似文献
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Sensitivity improvement is a challenging issue in miniature pressure sensors. To improve sensitivity and linearity of the
device, a wide micro beam structure has been proposed to gauge capacitance changes caused by the applied pressure in a capacitive
MEMS fingerprint sensor. Bending behavior of the device and the effect of the protrusion geometry on partial loading of the
micro beam has been analytically investigated. Based on the idea of efficient loading of the wide micro beam, an improved
design for the capacitive fingerprint sensor is developed to increase sensitivity. It is shown with FEM simulations that the
micro wide beam design is superior to the common membrane based MEMS fingerprint sensors in terms of sensitivity and linearity. 相似文献
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扩散硅压力传感器结构简单、集成度高、批量制造兼容性强,是目前MEMS领域研究最多的传感器类型,该类传感器面向航空航天等高端应用的最大技术瓶颈是封装后的传感器长期稳定性,因此相关长期稳定性提升技术已成为学术界和产业界广泛关注的共性关键技术。采用控制变量法和正交试验法,对比评价了疲劳脉动、冷热循环和振动时效三种常用长期稳定性提升技术对扩散硅压力传感器的作用效果。对比试验结果表明,三种技术均可改善扩散硅压力传感器的长期稳定性,且存在较优的环境应力参数组合,使传感器稳定性较试验前提升90%以上。本文的研究成果对各类硅压力传感器的长期稳定性提升具有较好的借鉴意义。 相似文献
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台面结构硅基法珀型光纤MEMS压力传感器的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
提出了一种新的光纤压力传感器的设计,该传感器敏感膜采用了台面结构而非传统的平面结构.用法布里-珀罗(Fabry-Perot)干涉理论阐述了传感器的工作原理,提出了敏感膜的力学模型.基于Fabry-Perot干涉理论推导出光纤MEMS压力传感器中台面敏感膜受到的压力与干涉光强的关系表达式,通过ANSYS有限元软件分析了台面膜型的力学性能,结果表明台面敏感膜在平行度上优于平面膜.通过数值模拟分析了传感器的关键参数对其性能的影响,为光纤MEMS压力传感器的加工和制作提供了理论依据. 相似文献
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介绍了建筑物风工程研究用的两种风荷载传感器. 种是采用MEMS技术的梁膜岛复合力敏结构压阻微差压敏感元件,用准齐平无应力微封装,适用于建筑物缩模风洞试验测试用的风荷载动态微型微压传感器.另一种是采用MEMS梁膜复合结构力敏芯片,考虑了减小雨水张力影响及冲击载荷伴生的振动影响及防雷保护而封装的复合风雨荷载,现场实测用的风... 相似文献
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提出了一种新的压力传感器的设计,该传感器基于Fabry-Perot腔干涉和波长解调理论测量压力.设计用MEMS技术以及普通的光通讯接插件制作出工艺简单,分辨率高的光纤MEMS压力传感器.阐述了传感器的工作原理,分析了硅膜的厚度对传感器性能的影响以及FP腔的长度对反射光信号的影响.系统采用可调谐激光器进行信号访问,利用反射谱的相位变化完成信号解调.理论分析和模拟计算验证了传感器加工制作方案的可行性. 相似文献
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N. K. S. Lee R. S. Goonetilleke Y. S. Cheung Geommi M. Y. So 《Microsystem Technologies》2001,7(2):55-62
The use of pressure sensors made of conductive polymers is common in biomechanical applications. Unfortunately, hysteresis,
nonlinearity, non-repeatability and creep have a significant effect on the pressure readings when such conductive polymers
are used. The objective of this paper is to explore the potential of a new flexible encapsulated micro electromechanical system
(MEMS) pressure sensor system as an alternative for human interface pressure measurement. A prototype has been designed, fabricated,
and characterized. Testing has shown that the proposed packaging approach shows very little degradation in the performance
characteristics of the original MEMS pressure sensor. The much-needed characteristics of repeatability, linearity, low hysteresis,
temperature independency are preserved. Thus the flexible encapsulated MEMS pressure sensor system is very promising and shows
superiority over the commercially available conductive polymer film sensors for pressure measurement in biomechanical applications.
Received: 1 December 1999/Accepted: 17 August 2000 相似文献