内表面等离子体增强化学气相沉积TiN涂层研究

介绍了一种新型等离子体增强化学气相沉积内表面复合处理系统.利用此系统沉积TiN涂层的结果表明,φ100 mm×1000 mm 316不锈钢管内表面沉积涂层相对均匀,且具有较好的表面特性和机械特性.     

内表面低粗糙度金刚石复合涂层细长管制备方法

内表面低粗糙度金刚石复合涂层细长管制备方法。该方法采用电子增强热丝化学气相沉积（CVD）法对钨棒料基体进行金刚石复合涂层制备，通过腐蚀去除钨棒料基体获得自支撑金刚石细管，并采用比自支撑金刚石细管略大的钢管或铝管作为细长管的外壳，套在自支撑金刚石细管外，在自支撑金刚石细管与外壳之间由改性的环氧树脂粘结剂填充，由此形成内表面由低粗糙度金刚石复合涂层组成的细长管。     

改善晶圆表面平坦度的方法

本发明揭示一种改善晶圆表面平坦度的方法,适用在一晶圆上以化学气相沉积法（chemical vapor deposition,CVD）沉积复数层的薄膜,包括：一晶圆;将晶圆置入一第一薄膜沉积设备中,以化学气相沉积法沉积一第一层薄膜,其中第一薄膜沉积设备具有至少一第一反应气体注入口（injector）,且晶圆相对第一反应气体注入口具有第一第一方向;将晶圆置入一第二薄膜沉积设备中,以化学气相沉积法沉积一第二层薄膜,其中第二薄膜沉积设备具有至少一第二反应气体注入口（iniector）．     

PVD技术在镁合金表面防护领域的应用及研究进展

综述了近年来国内外镁合金表面PVD技术制备的膜层对其耐蚀性的影响研究,提出:PVD膜层能够降低镁合金的腐蚀电流,提高其耐蚀性;造成膜层失效的主要原因是由于膜层中存在的微孔等结构缺陷充当了腐蚀通道;通过膜层体系的结构设计、制备工艺参数优化等方法,可降低膜层结构缺陷、提高膜基体系耐蚀性.     

可用化学气相沉积方法来低压沉积立方氮化硼（c—BN）吗？

自从1982年发现金刚石低压沉积方法以来，人们寻求一种用于c-BN合成的类似方法变得尤为重要。近年来，许多研究者们取得了很大的成功，但是，其中许多人在分析BN涂层的特征方面的工作并不理想。然而，由S.Matsumot和W.Zhang撰写的新论文阐述了使用直流等离子体喷涂的c-BN沉积方法和利用各种分析方法进行的特征描述。为了研究是否可以用一种纯化学气相沉积方法来沉积c-BN这个问题，我们用一个简单的无等离子体活化装置的CVD反应器做了实验。沉积了各种BN涂层并对其进行了特征描述。X－射线衍射、IR－光谱分光仪和SIMS表明沉积了含有c-BN的BN涂层。然而，到目前为止，用TEM方法仍不能最终证实c-BN晶体的存在。     

纯钛TAl化学气相沉积表面改性层的耐磨性能研究

为提高TAl表面的耐磨性能，在TAl表面采用化学气相沉积(CVD)表面处理。用X射线衍射的方法测定了改性层的物相。使用显微硬度计测定了改性层和基体的硬度，在往复式滑动磨损试验机上进行磨损试验，通过扫描电子显被镜分析磨痕形貌。结果表明，TAl经过CVD处理，表面由α-Ti、Ti2N及TiN组成，显微硬度为989HV0．025。干摩擦条件下，经化学气相沉积处理的TAl材料的表面改性层的耐磨性得到了明显提高。     

不同介电质层对弹性体表面形貌的调控作用

利用涂饰技术调控弹性体材料的表面形貌,有助于提高表面材料的稳定性及相关器件的运行性能,同时为微纳米尺寸的图形制备提供参考.通过物理气相沉积法在弹性体PDMS(聚二甲基硅氧烷)衬底表面分别沉积了SiO2、MgF2及ZnS三种介电质材料并对各形貌的形成进行了分析.结果表明,通过在PDMS衬底表面蒸镀不同的介电质材料,可以形成褶皱、龟裂及平坦的表面形貌;通过光刻及软光刻技术在衬底表面预制具有周期性的凹状图形,可以对褶皱、龟裂的方向进行调控,使褶皱、龟裂等形貌呈有序性分布;通过对比介电质材料在加热冷却过程中所受的应力与临界应力的大小,可以方便地选择合适的介电质材料来制备所需的弹性体表面形貌.     

锆合金表面改性工艺的研究进展

以锆合金的表面改性技术为主线,简述了目前改性方法的种类及研究现状,重点介绍了物理气相沉积、激光表面处理、阳极氧化、微弧氧化及离子注入等常用表面改性制备技术的原理、研究进展及优缺点。探讨了锆合金表面改性过程中需要解决的理论问题和需要攻克的技术瓶颈。最后,结合相关研究进展,对锆合金表面改性今后的研究工作和工程应用前景进行了展望。     

铝合金表面沉积类金刚石薄膜的研究进展

类金刚石(Diamond-like Carbon,DLC)薄膜因其高硬度、良好的化学惰性以及优异的摩擦性能等优势,有望成为一种理想的铝合金表面防护涂层。对比了物理气相沉积(Physical vapor deposition,PVD)技术制备DLC改性材料与传统铝合金表面改性技术的优劣,概述了DLC薄膜在提升铝合金表面力学性能、减摩抗磨方面取得的最新成果,以及在复杂服役工况下面临的抗塑性变形差、易发生结合失效等瓶颈性问题。通过分析铝合金基体上生长高性能DLC薄膜的不利因素,指出界面化学结合强度低、薄膜残余应力大以及软基体/硬质薄膜的结构体系限制是导致上述问题产生的主要原因。在此基础上,重点综述了国内外研究学者为提高铝合金表面沉积DLC薄膜的膜基结合力所采取的有效措施及结果,包括:通过基体前处理增强基体力学性能与改善宏观表面缺陷;采用PVD或其他表面处理方法制备一层或多层的中间过渡层,缓解DLC薄膜与铝合金基体结构、性能之间的差异;调控DLC薄膜组分与结构以降低残余应力。最后展望了在铝合金基体表面制备DLC防护薄膜的发展趋势。     

用于机械工业的复合表面技术

介绍了针对提高表面耐磨性能的现代表面工程技术的发展前景和方向，提出用复合表面技术来提高铝压铸模、冷压成型模及热锻模等工具寿命的方法，最后列举了形成复合结构镀层的类型及其应用于工业领域所带来的经济效益。     

Surface technology for automotive engineering

The presented paper describes the role of surface technologies in the automotive industry. Various hard coatings like nitrides, diamond and cBN are used on tools for the manufacturing process. Due to their high hardness and low coefficient of friction, diamond-like carbon films will be indispensable for engine and power train components. The improvement of automotive glazings by optimization of optical and thermal properties of the glass is an ongoing development task. Coatings with switchable transmission, thin film solar cells as self-cleaning and self-healing surfaces will be features in the car of the future. Various atmospheric pressure and low pressure deposition processes are available. In this paper low pressure plasma and electrochemical deposition are in focus.     

CVD金刚石膜剥离后基底渗铬层的表面形态

研究了CVD金刚石剥离后基底渗铬层的表面形态以及金刚石的背面形貌。结果发现，以渗铬层为基底在600～900℃之间进行CVD金刚石薄膜沉积后，渗铬层的铬碳化合物层和铬扩散层的厚度都增加了；白亮层的铬浓度比沉积前低；渗铬层硬度梯度因铬的扩散而变得比金刚石沉积前更平缓。     

CVD金刚石涂层刀具研究与应用前景

论述了CVD金刚石涂层硬质合金刀具的研究开发现状、存在的主要问题,重点介绍了硬质合金基体表面预处理方法及工艺。     

基于TD覆层处理技术的细长孔内表面覆层性能

目的 采用热扩散法碳化物覆层处理技术,研究细长孔内壁的成层厚度、覆层形貌,以及对细长孔内壁表面硬度性能的影响;探究在不同孔径和孔长条件下,采用热扩散法碳化物覆层处理技术在孔内表面形成覆层的微观形貌及形成原因。方法 采用目前使用最为广泛的碳化钒覆层配方对试样进行覆层处理,在试样内壁表面得到各组对应的碳化钒覆层;利用X粉末衍射实验(XRPD)分析处理结束后内表面的物相组成,利用光学显微镜观察形成覆层的厚度,利用扫描电子显微镜(SEM)对表面覆层的微观组织进行分析,并采用划痕法测试其结合强度,利用显微硬度计测量其表面硬度。结果 在不同孔径的孔内壁均生成了一层碳化钒覆层。3 mm孔样品的覆层厚度相对最薄(3.06 μm),6 mm孔样品的覆层厚度相对最厚(5.29 μm);在硬度测试实验中,与未进行覆层处理的原材料相比,覆层后孔内壁的硬度均得到了强化,且6 mm孔样品的强化效果相对最佳,其表面硬度达到了1 767.8HV2/15。结论 经热扩散法碳化物覆层处理技术处理后得到的内表面覆层厚度随着孔径的增加而增加,同时覆层的厚度、表面硬度等均与孔径呈正相关;随着孔长的变化,成层厚度等出现先下降后上升的趋势;所形成的碳化钒覆层均能够有效提高材料的表面硬度。     

硬质合金表面化学脱钴对金刚石涂层的影响

以CH3COCH3和H2为反应气源,采用热丝CVD法在经过一步法和碱酸两步法预处理的YG6硬质合金(WC-6％Co)基体上沉积了金刚石涂层.采用扫描电镜、能谱仪、硬度计等对样品进行了分析检测,着重考察了一步法和两步法化学腐蚀脱钴预处理工艺对硬质合金基体表面形貌、钴含量以及其对所得金刚石涂层的形核密度、晶粒尺寸、膜基附着性能等的影响.实验结果表明:无论是一步法还是两步法脱钴预处理工艺,都能去除YG6硬质合金基体表面的钴元素,一步法最佳腐蚀时间为15 min,两步法最佳腐蚀时间为5min,两步法效果强于一步法.在经两步法5min酸蚀脱钴预处理的YG6基体上,获得了膜基粘着性能良好、结晶性能好的微米金刚石涂层.     

甲烷浓度对CVD金刚石膜表面粗糙度的影响

研究了化学气相沉积金刚石膜时甲烷浓度与金刚石膜表面粗糙度的关系。结果表明，随甲烷浓度的增加金刚石膜表面粗糙度下降。表面粗糙度主要由金刚石膜的晶粒大小和二次形核决定，晶粒越细，表面粗糙度越低，在金刚石晶界二次形核及长大，也促使金刚石膜表面粗糙度降低。     

化学气相沉积金刚石膜的研究与应用进展

化学气相沉积(CVD)金刚石膜具有极其优异的电学(电子学)、光学、热学、力学、声学和电化学性能的组合,因此在一系列高新技术领域有非常好的应用前景,并曾在20世纪80年代中期形成席卷全球的"金刚石热"。30余年来,CVD金刚石膜研究取得了极其巨大的进展,但在产业化应用方面仍不尽人意。本文对此进行了比较详尽地综述和评论,希望更多的人了解,并推进其研究和产业化进展。     

化学气相沉积制备硬质合金刀具涂层研究进展

化学气相沉积技术(CVD)广泛应用于硬质耐磨涂层的生产中,该类涂层可大大提高硬质合金工具的耐磨性和寿命。综述了CVD涂层技术在硬质合金切削刀具中的应用研究进展,首先介绍了CVD涂层技术的原理及其发展历程;其次阐述了模拟计算方法(相图计算、流体力学计算、第一性原理计算、相场模拟、机器学习等)在CVD涂层中的应用;再次介绍了CVD涂层的沉积实验及结构和性能表征方法;最后列举了几种典型的硬质合金刀具用CVD涂层,以期为高性能涂层的智能设计、智能集成和智能研发提供新的思路:即把多尺度计算模拟、科学数据库和关键实验集成到硬质涂层开发的全过程中,通过对成分-工艺-结构-性能进行关联分析,将耐磨涂层的研发由传统经验或者半经验方式提升到科学的微结构智能设计上,以实现基体与涂层微结构调控和性能的协同优化,获得最佳的综合性能。     

基底材料和温度对CVD金刚石沉积的影响

使用热丝CVD装置在钢渗铬层、三氧化二铝、YG8硬质合盒基底上沉积了金刚石膜、结果表明，在700～900℃温度范围内，热稳定性好的基底材料有利于金刚石晶核的形成。硬质合金和三氧化二铝的热稳定性都比钢港铬层好，在700～900℃能获得10^7cm^-2以上的形核密度，而钢渗铬层超过800℃后．形核密度低于10^6cm^-2。