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相似文献
 共查询到20条相似文献,搜索用时 93 毫秒
1.
利用等离子体增强磁控溅射离子镀(PEMSIP)技术在铁基体上沉积TiN涂层之前,先镀一层很薄的钛中间层,继之再沉积TiN。研究了基片负偏压对涂层相组成的影响。结果表明,随着基片负偏压增加,膜层的相分朝着富氮相及其含量增加的方向发展,变化趋势为(a-Ti+Ti2N+TiN)→(Ti2N+TiN)→TiN。在基体中间层界面处有FeTi相;在中间层与后继膜的交接处,发现a=1与Ti2N有取向关系。  相似文献   

2.
应用X射线衍射分析研究了活化源功率对反应溅应离子镀TiN涂层相组成的影响,随着活化功率的增加,膜层相组成朝着富氮相及其含量增加的方向发展,变化趋势为:(αTi+Ti2N+TiN)→(Ti2N+TiN)→TiN。活化源功率对膜层硬度的影响,主要是膜层相组成变化引起的,而由Ti2N和TiN两相组成的膜硬度最高。  相似文献   

3.
等离子体增强磁控溅射离子镀TiN涂层的研究   总被引:3,自引:0,他引:3  
王玉魁  韩会民 《真空》1996,(1):24-29
利用等离子体增强磁控溅射离子镀(PEMSIP)沉积TiN涂层,研究涂层的组织结构和性能。随着氮气分压增加涂层相组成朝着富氮相及其含量增加的方向发展。氮气分压对涂层硬度的影响是由膜层相组成变化引起的,由Ti2N和TiN两相组成的涂层比TIN单相涂层的硬度高。由Ti2N和TiN组成的刀具涂层使切削力下降。  相似文献   

4.
多弧离子镀Ti-W-N多元多层膜的研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
采用Ti/W复合靶,用多弧离子镀技术沉积了Ti-W-N多元多层膜,并对其组织结构与性能进行了研究,结果表明:在本试验我元膜的结构形式为(Ti,W)2N最佳多层膜的结构形式为基体/Ti/TiN/(TYiyW1-y)N/(Ti,W)2N,并具有较高的显微硬度和极低的孔隙率,在800℃具有很好的抗氧化性能,在沉积过程中存在着多元合金膜层与复合靶的成分离析现象,这与靶材的结构有关。  相似文献   

5.
主要介绍采用多弧物理气相沉积(PVD)技术研制新型(TiAl)N超硬膜的工艺技术特点。对其膜层相结构、化学成分、显微组织等方面做了分析研究。结合工业生产实际应用进行了(TiAl)N与TiN涂层刀具切削耐用度对比试验。  相似文献   

6.
采用Ti/Mo复合靶,用多弧离子镀技术沉积了Ti-Mo-N多元多层膜,并对其组织结构与性能进行了研究,结果表明:在本试验条件下多元膜的结构形式为(Ti,Mo)2N,最佳多层膜的结构形式为基体/Ti/TiN/(TiyMo1-7)N/(Ti,Mo)2N,并具有较高的显微硬度、耐磨性和极低的孔隙率,在800℃具有很好的抗氧化性能。在沉积过程中存在着多元合金膜层与合靶的成分离析现象,这与靶材的结构有关。  相似文献   

7.
多弧法沉积Ti(C,N)膜中的CN相   总被引:4,自引:0,他引:4  
辛煜  范叔平 《功能材料》1997,28(6):612-614
在高速钢基片和〈100〉单晶硅片上,用多弧法在C2H2,N2,Ar的气氛中电弧蒸发Ti靶来制备沉积Ti(C,N)膜。总气压在1.2Pa内,起始镀膜温度为260℃。Ti(C,N)膜的晶格取向以除了〈111〉,〈200〉,〈220〉外,还出现一些新的衍射峰,配合XPS成份分析,本文认为Ti(C,N)膜中有CN结构相存在。随着C2H2/N2流量比的增加,膜中增加了TiC、CN结构超硬相和石墨相,从而导致  相似文献   

8.
用射频等离子体沉积TiN膜,对影响薄膜生长的因素作了研究。特别是H2,N2,TiCl4及射频功能、偏压对膜生长速率的影响进行了报导。  相似文献   

9.
王茹等  朱英臣 《真空》1994,(5):13-19
本文有摩擦力监测的划痕法研究了试样参数(基体硬度、膜厚、基体表面粗糙度等)对硬质摩膜(或软膜)的临界载荷Lc的影响.样品基材是W6Mo5Cr4V2、5CrMnMo、45钢、A3钢和不锈钢.膜层为磁控溅射离子镀TiN膜和Ti膜、化学镀NiPCU膜,以及在Si3N4上溅射镀Al膜.结果发现离子度TiN膜和Ti膜与NiPCu膜规律不同,TiN膜和Ti膜的临界载荷Lc随基体硬度的提高而提高,但当基体硬度接近和超过膜层硬度时,Lc变化不大;基体粗糙度增加时Lc下降;随膜厚的增加Lc提高.而化学镀NiPCu膜的临界载荷Lc随基体硬度的提高而下降,随基体表面粗糙度的提高而增加.以W6Mo5Cr4V2为基体的NiPCu膜,随膜厚的增加Lc变化不大.本文对上述规律的实质进行了初步探讨,并对目前生产中正在推广的工具钢磁控溅射离子镀TiN膜的划痕法标准提出建议.  相似文献   

10.
闻立时  于宝海 《真空》1989,(1):18-23
采用x-ray衍射、电子衍射、电子探针、二次离子质谱及俄歇电子能谱等分析方法研究了低能氮离子轰击对不锈钢基材上 HCD离子镇 Ti膜层的组成,结构及界面状态的影响。结果表明,轰击后膜层的化学组成和结构以及界面状态均发生了较大变化.在较低的基体温度下,N元素就能够渗入 Ti膜层并与之反应形成 Ti、N或 TiN相。在适当的轰击电压下,N元素能够渗入基体,促进界面反应生成 Fe2Ti或 FeTi界面相,可见。低能离子轰击对于激活化学反应,降低沉积温度并改善膜基界面结合强度是十分有益的。  相似文献   

11.
A method is proposed for estimating the parameters of a mixture of exponential and Weibull distributions for which the accuracy of preliminary estimates obtained by graphical analysis is refined in accordance with the criterion of maximum likelihood. The efficiency of the proposed method is supported by the results of statistical modeling.  相似文献   

12.
水三相点是开尔文热力学温度的唯一基准点,也是ITS-90国际温标重要的定义固定点。因此,水三相点不确定度分析对整个温标的建立、温度量值传递起着至关重要的作用。近3年来,中国计量科学研究院研制出一系列高质量的水三相点容器,加强了水三相点的研究,为不确定度的分析提供了更为可靠的实验依据。同时,不确定度的分析也是客观评价新研制容器性能的一个重要指标。因此,根据实验结果对新研制容器所复现的水三相点进行了不确定度评定。评定结果表明,其扩展不确定度为0.16mK(k=2.69,P=0.99)。  相似文献   

13.
On the basis of an analysis of the principle underlying the construction of standards and systems designed for reproduction of the unit of mean power and energy of laser radiation, it is shown that these standards consist of unified subsystems that carry the principal metrological load. By means of such a division, it is possible to realize a systems-engineering synthesis of standards with preassigned error. __________ Translated from Izmeritel'naya Tekhnika, No. 11, pp. 20–23, November, 2005.  相似文献   

14.
介绍了用众数法评价方波幅度时的不确定度分析和评价过程;讨论了主要的不确定度来源,包括众数判别区间的影响、波形测量系统幅度测量误差的影响等等;给出了减小不确定度的主要措施,并结合一个实例,给出了方波幅度的不确定度评价结果。  相似文献   

15.
Ways of creating unified automatized reference (calibration) and standard measurement equipment for the purpose of developing a subsystem for the assurance of the uniformity of measurements of the energy of short-pulse laser radiation are considered. __________ Translated from Izmeritel'naya Tekhnika, No. 11, pp. 24–28, November, 2005.  相似文献   

16.
水线震荡对斜拉桥拉索风雨激振稳定性的作用   总被引:7,自引:0,他引:7  
从理论和试验两个方面研究了水线震荡对斜拉桥拉索风雨激振稳定性的作用。建立了拉索和水线的运动方程,应用李雅普诺夫函数给出了水线不平衡角的判别公式。设计了一种新型的带有可运动人工水线的拉索模型,并进行了风洞试验。理论和试验结果表明,水线震荡是导致拉索风雨激振具有较大不稳定范围的主要原因。试验结果证明了理论模型和分析的结果是正确的。  相似文献   

17.
文中依据杂化理论分析了亚硝酸的结构特点,主要以分子结构理论为基础,从理论上指出在DDNP重氮化反应中,可能是氯化亚硝酰作为重氮反应的亲电试剂,其进攻发生在氨基的氮上,从而推测了获得DDNP的反应历程。  相似文献   

18.
杜亮 《计测技术》2005,25(3):34-37
介绍了逻辑分析仪部分参数测量结果的不确定度分析评定方法,评定过程及结论,可应用在对于计量标准进行相应指标的不确定度评定分析上。  相似文献   

19.
由于空压机进气侧轴承箱蜗壳温度探头密封效果不好,使空压机及其后续管道受到油污染。后将温度探头的O形圈密封改为骨架油封,杜绝了轴承箱漏油问题。文章简介空压机的结构和技术参数,详细介绍了骨架油封的制作和优点。  相似文献   

20.
Development is continued of the empirical method for the calculation of the heat of combustion of organic compounds and, in particular, of hydrocarbons of different structures by the additive scheme based on their chemical structure.  相似文献   

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