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化学气相沉积高纯钨的择优取向与性能研究 总被引:1,自引:0,他引:1
利用光学显微镜、X射线衍射(XRD)和扫描电子显微镜的电子背散射衍射花样(electronic backscatter ring diffraction,EBSD),对用化学气相沉积制备的高纯钨进行了微观结构和晶面取向分析;利用霍普金森压杆系统和电子万能试验机测试了高纯钨的动态和准静态力学性能。研究表明:化学气相沉积高纯钨具有柱状晶组织,并且具有明显的(100)择优取向;动态屈服强度达到2000 MPa以上,静态屈服强度约为1350 MPa,具有应变速率敏感性 相似文献
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采用较低温度下的化学气相沉积技术制备了高纯钨,利用分离式HOPKINSON压杆装置对制备的高纯钨和商用粉末烧结纯钨进行应变率为1000/s~2000/s的冲击加载,对冲击后的样品进行了变形机制对比分析。结果表明:在冲击载荷作用下粉末烧结纯钨变形机制以滑移和品界滑动为主,析化学气相沉积纯钨则是孪生变形起到很大的作用:临近孪生间的交互作用会产生2种类型的穿晶断裂,这是化学气相沉积纯钨致脆的原因:在低于10^3/s应变率量级化学气相沉积纯钨不会发生绝热剪切,难以与钨合金一样通过绝热翦切变形提高其塑性变形能力。 相似文献
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吕延伟 《稀有金属材料与工程》2017,46(9):2499-2504
本研究结合CVD(chemical vapor deposition,CVD)-W材料实际应用对其性能及组织结构的要求,详细讨论了随生长阶段的变化CVD-W晶体生长习性,获得了CVD-W表面形貌-晶粒生长尺寸-表面粗糙度三者与涂层厚度之间的关系,为CVD-W材料及技术在半导体行业及相关高温发热及防护领域中的应用和推广提供了借鉴。 相似文献
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钼基体上化学气相沉积钨功能涂层的研究 总被引:6,自引:1,他引:6
采用CVD(Chemical Vapor Deposition)法沉积的钨涂层有[100]/[111]/[110]择优取向。择优取向主要受气体组分、流动速度、温度等因素的影响。研究了钼基体上CVD钨涂层的表面形貌和织构、涂层界面的元素分布、涂层的抗热震性能及高温扩散性能。结果显示:钨涂层与基体钼有2μm左右的互扩散层且钼在钨中的扩散速度更高;涂层在通H2条件下,进行室温→1400℃→室温20次循环后涂层不脱落、界面没有明显变化,涂层结合力好;涂层界面上的杂质元素氧等影响涂层的结合性能。 相似文献
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为了提高CVD钨的强度和韧性,采用自制化学气相沉积装置,以WF6和H2为反应气体,在化学气相沉积钨过程中周期性地在基体上缠绕钨丝,沉积制备了钨丝-CVD钨复合材料。使用金相显微镜和扫描电镜(SEM)分别对沉积制备的钨丝-CVD钨复合材料涂层的显微组织和断口形貌进行观察和分析,使用X射线衍射仪(XRD)、电子能谱仪、密度测量仪、显微硬度仪和万能材料试验机分别测试分析了涂层的结构、成分、密度、显微硬度及压溃强度。结果表明:与不缠钨丝的CVD钨管相比,缠绕钨丝的CVD钨管中CVD钨晶粒得到了细化,择优取向基本消失;钨丝-CVD钨复合材料涂层具有较高纯度和致密度;钨丝-CVD钨管的压溃强度显著提高,断口形貌发生了明显的变化。 相似文献
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使用热丝CVD装置在钢渗铬层、三氧化二铝、YG8硬质合盒基底上沉积了金刚石膜、结果表明,在700~900℃温度范围内,热稳定性好的基底材料有利于金刚石晶核的形成。硬质合金和三氧化二铝的热稳定性都比钢港铬层好,在700~900℃能获得10^7cm^-2以上的形核密度,而钢渗铬层超过800℃后.形核密度低于10^6cm^-2。 相似文献
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Boron-doped diamond (BDD) films were deposited on the tungsten carbide substrates at different substrate temperatures ranging from 450 to 850 °C by hot filament chemical vapor deposition (HFCVD) method. The effect of deposition temperature on the properties of the boron-doped diamond films on tungsten carbide substrate was investigated. It is found that boron doping obviously enhances the growth rate of diamond films. A relatively high growth rate of 544 nm/h was obtained for the BDD film deposited on the tungsten carbide at 650 °C. The added boron-containing precursor gas apparently reduced activation energy of film growth to be 53.1 kJ/mol, thus accelerated the rate of deposition chemical reaction. Moreover, Raman and XRD analysis showed that heavy boron doping (750 and 850 °C) deteriorated the diamond crystallinity and produced a high defect density in the BDD films. Overall, 600–700 °C is found to be an optimum substrate temperature range for depositing BDD films on tungsten carbide substrate. 相似文献
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以1235铸轧板(7.0 mm)经过两道次冷轧后的1.1 mm厚的冷轧坯料为对象,借助光学显微镜(OM)、扫描电子显微镜(SEM)及能谱分析仪(EDS)、定量金相分析技术和电解抛光等试验手段,研究了退火温度对1.1 mm厚的1235铝箔坯料组织的影响。结果表明:在相同的退火时间(6 h)内,随退火温度(320~420 ℃)升高,析出相(AlFeSi)数量先增加而后减少且粗化;退火温度为380 ℃时,析出相数量多且均匀细小,平均尺寸约为3 μm。再结晶温度的区间为320~340 ℃;随着退火温度升高,再结晶晶粒逐渐长大;退火温度为380 ℃时,再结晶晶粒数量多且均匀细小,平均尺寸约为23 μm。因此,在380 ℃保温6 h的退火工艺最佳。 相似文献
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Effects of electric field on recrystallization texture evolution in cold-rolled high-purity aluminum sheet during annealing 总被引:1,自引:0,他引:1
The effects of an external DC(direct current)electric field on recrystallization texture evolution in the cold-rolled aluminum sheets with 99.99%purity were investigated by means of X-ray diffraction techniques.The cold-rolled high-purity aluminum sheets were annealed for 60 min at 200,300 and 400℃,respectively with and without an external DC electric field of 800 V/mm.The results show that with DC electric field,the recrystallization cube texture is strengthened at the stage of grain growth. Possible reason for the strengthening of the recrystallization cube texture with the applied electric field may be attributed to both selected nucleation and selected growth of cube oriented crystal nuclei. 相似文献
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铝表面化学气相沉积SiOx膜层的显微结构和性能 总被引:3,自引:0,他引:3
采用低温常压化学气相沉积(CVD)方法在铝基底上制备了硅氧化物陶瓷膜层.使用SEM、XPS、AFM、XRD、HRTEM和UV-VIS等技术分析了膜层的形貌、成分和组织结构特征,测试了膜层的孔隙率、光学和显微力学性能.结果表明:硅氧化物SiOx陶瓷膜层在铝基表面以气相反应沉积硅氧化物颗粒-颗粒嵌镶堆垛-融合长大的方式生成,大部分膜层为非晶态区域,其中包含少量局部有序区域,SiOx中的硅氧原子比为1:1.60~1:1.75,膜层疏松多孔,具有很高的紫外-可见光吸收率,膜层与基底具有很好的结合性. 相似文献
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化学气相沉积金刚石膜的研究与应用进展 总被引:3,自引:0,他引:3
化学气相沉积(CVD)金刚石膜具有极其优异的电学(电子学)、光学、热学、力学、声学和电化学性能的组合,因此在一系列高新技术领域有非常好的应用前景,并曾在20世纪80年代中期形成席卷全球的"金刚石热"。30余年来,CVD金刚石膜研究取得了极其巨大的进展,但在产业化应用方面仍不尽人意。本文对此进行了比较详尽地综述和评论,希望更多的人了解,并推进其研究和产业化进展。 相似文献