微细光成形和LIGA工艺集成的可行性分析

微机电系统的发展，对微细加工技术提出了更高的要求。目前常用的微细制造技术本质是基于掩模光刻的二维半微加工技术，难以进行真三维结构的制造。对单光子和双光子微细光成形技术的成形原理、加工分辨能力进行分析和实验研究，将其与微细电铸等工艺集成，提出一种能实现真三维制造的、具有不同应用材料的微细加工新方法，并从原理上验证了两者集成的可行性，为后续研究奠定了基础。微细光成形与微细电铸集成工艺技术为进一步拓展微细制造技术提供了新途径。     

微细电火花加工技术的研究进展

研究和综述了微细电火花加工技术的研究现状和发展趋势。比较分析了常用微细加工与微细电火花加工方法的特点及应用，论述了线电极电火花磨削技术的原理及在微细加工中的作用。结合电火花加工过程中无宏观作用力的特点，论述了微细电火花加工装置微小型化的可行性和几种主要形式。     

微细切削加工与微机械制造

介绍了微机械制造中的切削加工方法及设备的研究进展情况，包括微细车削、微细钻削、微细铣削、微冲压及微型工厂等。这些技术加工的工件都已经达到了微米尺度，它们在微三维结构的制造方面有独特的优势。     

微细电化学加工技术

介绍了微软电化学加工的原理及特点，详细介绍了基于电化学扫描探针显微镜进行的电化学微细加工技术，EFAB制作技术、刻蚀剂层技术（GELT）、超微细电极电化学加工技术等几种目前主要的微细电化学加工技术。     

特种微细加工的现状及应用

本文论述了主要特种微细加工的原理、特点、现状及其应用。     

微细孔电解加工控制方法及试验研究

基于微细电解加工的特点，介绍了一种微细电解加工系统。该系统能够将加工间隙控制到几微米到几十微米的范围内。根据电解加工以离子形式对材料去除的特性，进行微细电极、微细群电极的制备研究，并将其用于微细孔、群孔的加工中。试验分析了各工艺参数如电压、溶液浓度、加工间隙、进给速度等对微细孔电解加工精度的影响。结果表明，微细电解加工的侧面间隙随着加工电压的降低、溶液浓度的减小、脉宽变窄和初始加工间隙的减小而减小，改善了加工的定域性，加工精度得到提高。     

激光微细加工技术及其在MEMS微制造中的应用

文章综述了当前MEMS各类微制造技术，阐述了各种激光微细加工技术的原理、特点，主要包括准分子激光微细加工技术、激光LIGA技术、激光微细立体光刻技术等，以及它们在MEMS微制造中的应用。     

微型机械加工技术,途径和发展方向的研究

介绍了微型机械的基本概念和特点，综述了微型机械的加工技术和应用途径，讨论了微型机械的发展方向和趋势。     

微细铣削机床系统构建及微小型零件加工实验研究

研制了一台由直线电机运动平台、高速空气静压轴承电主轴和DMC-1842运动控制卡组成的三轴联动微细铣削机床,构建了基于IPC机和Windows操作系统的并行双CPU数控系统。以C#为开发语言,采用模块化设计方法开发了微细铣削控制软件,并设计了合理的人机界面。在三轴联动微细铣床上进行了微小型零件的加工实验,验证微细铣床数控系统的性能。结果证明数控系统的软硬件设计方案可以满足微细铣床加工的要求,验证了微细铣削加工技术的可行性和实用性。     

微细机械加工技术

随着微型机械的应用领域进一步拓展,微细机械制造加工技术得到了快速发展.在介绍了微细切削加工、微细电火花加工、微细蚀刻以及微细电解加工的基础上,对其加工特点和性能进行了比较,讨论了微细机械加工发展的方向与关键问题.     

微细切削技术及微型机床的发展

微细加工类技术是未来不可或缺的主要技术力量，其中切削技术作为最基本的加工步骤需要不断的熟悉和掌握。同时微型机床也应运而生，为微型机械加工行业的进一步发展提供了更多的可能性。     

导卫辊用WC-Co基合金微细晶粒的生成及其磨损机理

采用一种自制的WC-Co基合金作轧钢导卫辊材料，在轧制2000t45钢后用SEM和洛氏硬度计等对其表面形貌及硬度进行了分析和研究。结果表明：合金的主要磨损机制是体积塑性变形、犁沟效应和疲劳磨损。硬度由使用前的56HRC下降到49HRC，硬度下降的主要原因是合金表面部分晶粒在(受到冲击滑动摩擦作用)高速剪切变形条件下发生了动态再结晶，形成了200nm左右的细小晶粒。微细晶粒形成符合一种渐进式位相向差亚晶合并再结晶机制。     

日本制造业的回顾与展望（Ⅵ）

（接上期）IMS计划是针对工业国家的制造区的共同问题而进行的另一个主要研究活动。它发表了以下一些挑战：加工愈加复杂，全球环境改良，制造加工培训的提高和与制造全球化、标准化过程所相应的各个大小不同的组织所面临的时机。IMS计划于1989年由日本提出。可行性研究开始于1     

面向微细制造的微成形技术

本文主要集中论述了面向微细制造方向的微成形技术，具体分析了当下微细制造技术工艺及其应用，论述了微成形技术的关键问题和技术，并探讨了其未来的发展方向。     

大面积微细结构的电火花高效加工

采用深度光刻与电铸技术相结合较好地解决了大深宽比的电火花工具电极的制造问题。在此基础上,利用优化的微细电火花加工工艺,可以实现大面积微细结构的高效、精细制造。     

微细铣削切削力正交实验研究

在自行研制的三轴联动微细铣床上,选取典型微三维零件特征进行铣槽和侧铣两种工况正交铣削实验,对微细切削力进行测量和分析。深入研究了主轴转速、轴向切深、每齿进给量等工艺参数对微细切削力的影响规律,以优化加工参数,提高微铣削的加工效率和加工精度。     

微细电火花加工的发展现状与展望

目前,尽管出现了各种不同的微细加工方法,但由于微细电火花加工法具有独特的优点,因此采用此种方法可以制成各种极微细的高硬度(金刚石烧结体和硬质合金)工具、复杂形状的模具和工件,为此受到业界的普遍关注。     

微细加工铣床研制及其铣刀的力学特性分析

研制了一台由直线电机运动平台、高速空气静压电主轴和DMC-1842运动控制卡组成的三轴联动微细铣削机床.开发了可编辑和执行G代码程序的数控系统,并利用有限元法对微细铣刀的力学特性进行分析.通过模态与静力学分析,研究微细铣刀的固有频率和振型,探讨刀具的悬伸长度对加工过程中刀具振动的影响,以及微细铣刀的应力和变形特点.     

微细加工铣床研制及其铣刀的力学特性分析

研制了一台由直线电机运动平台、高速空气静压电主轴和DMC-1842运动控制卡组成的三轴联动微细铣削机床。开发了可编辑和执行G代码程序的数控系统,并利用有限元法对微细铣刀的力学特性进行分析。通过模态与静力学分析,研究微细铣刀的固有频率和振型,探讨刀具的悬伸长度对加工过程中刀具振动的影响,以及微细铣刀的应力和变形特点。     

自成型微细电极制备技术研究

以目前微细电火花加工中微细电极常用的制备技术为基础。提出了自成型微细电极制备技术。通过研究,掌握了自成型微细电极制备技术工艺关键。并与传统制备方法的反拷块法进行了实验对比。获得了较为理想外形尺寸精度、长径比的电极。