F-3500型涡轮分子泵设计计算及性能测试

七十年代以来，国内各真空应用领域和科研部门对涡轮分子泵的发展极为重视。一些学者和专家为 涡轮分子泵的研究、设计制造做出许多贡献并积累了大量宝贵经验，目前已趋于完善阶段。中、小型涡 轮分子泵的产量逐年增加，泵的主要性能指标接近国外水平。在Ｆ－２００、Ｆ－６００、Ｆ－１５００型泵相继研制成 功的基础上．为补全涡轮分子泵产品系列．增加大规格品种，进一步满足各使用部门急需，我所自行设计、 制造Ｆ－３５００型涡轮分子泵，于１９８６年９月通过部级鉴定。鉴定结论指出：Ｆ－３５００型涡轮分子泵的 极限压强、抽速和压缩比三项主要性能指标均达到原设计技术要求，几项参考指标也不低于国外同类型 产品水平。     

涡轮分子泵制造工艺的一些改进及其在微波管排气的初步应用

我所制造的ＡＧ０７５、 ０２８型立式涡轮分子泵与我国ＦＢ—１型立式涡轮分子泵是同一类型产品。在制做过程中对电机、隔离环等进行了一些改进。产品制成后，对Ｏ型运波管进行了排气实验，通过排气过程的质谱分析及管子封离后的频谱分析表明管子的主要性能（信／杂、寄生调频、边带噪声等）都优于有油排气系统（机械泵＋扩散泵＋冷阱），平于无油排气系统（分子筛吸附泵＋钛升华泵＋离子泵）。     

双拖动分子泵

介绍一种新颖拖动分子泵，其抽速达到传统拖动分子泵的３０倍左右，达到了涡轮分子泵的水平。该泵高压强（１－１００Ｐａ）性能明显优于涡轮分子泵。泵的结构则简单得多。     

无油分子泵机组的组装

介绍了将ALCATEL公司生产的一台ATPl00涡轮分子泵、一台MDP50ll牵引分子泵及一台VRC公司生产的lBy6型干泵组装成无油分子泵机组的过程。文中给出了泵间配合的计算、机组方案的设计、连接管路、仪器支架的设计及选择。本机组所采取的设计方案使三个泵都最大限度地发挥了优点避免了缺陷，较好地满足了使用要求，为今后选购单泵和组装无油分子泵机组提供了可靠的理论和实验依据。     

超高真空大抽速复合分子泵的设计

本文介绍了一种超高真空大抽速复合分子泵的研制,该型分子泵转子采用了涡轮叶片与螺旋槽式牵引级的复合结构,由整体加工而成。文中重点介绍了复合转子的设计及优化,并对定片隔环一体型结构与复合底盘结构的设计以及改进进行简要介绍。该型复合分子泵的抽速比同口径涡轮分子泵高10%左右,同时具有更高的压缩比与抗前级压力,可以在100Pa的真空压力下启动,排气端不需要匹配较大的前级泵就可满足抽气要求。该型分子泵动平衡性较好,结构简单,集成性较高,整机的制造成本相对涡轮分子泵更低。     

国外新产品

PFEIFFER—TURBO 040型涡轮分子泵 西德普法伊费尔公司最近研制成一种新式的微型涡轮分子泵──PFEIFFER-TURBO 040型泵,这是已知涡轮分子泵中最小最轻的泵。这种泵为单流式结构,具有其他涡轮分子泵的全部优点,抽速可充分进行利用,泵可以在任何位置进行安装,从直立式乃至水平位置都可以。另外,泵采用新式的混合轴承,因此使泵达到了最小的振动和最低的噪音,这样就更适用于真空分析仪。这种泵采用对流式空冷,冷却装置成为泵内的一个部件。采用各种不同的高真空连接法兰,使泵很容易连接到各真空系统上。 泵的对氮抽速为 40升/秒,对…     

F-600型涡轮分子泵小批投产鉴定会园满结束

元月十六日至十八日,沈阳市通用机械工业公司组织鉴定会 议,对沈阳市真空机械二厂生产的F-600型涡轮分子泵进行产品 鉴定。东北工学院、沈阳真空技术研究所、二机部五八五所、中国 科学院高能物理所、上海核物理所及省市局领导同志等三十多个单位的代表参加了会议。二机部五八五所根据合同要求对产品进行了验收。 F-600型涡轮分子泵是沈阳真空技术研究所七八年科研成果,沈阳市真空机械二厂与沈阳真空技术研究所为推广这一科研成果,发展真空产品品种,提高真空工业技术水平,不断满足用户需要,决定将F-600型涡轮分子泵进行工业生产。沈阳市真…     

空冷型涡轮分子泵的研制

本文介绍新研制的空冷型涡轮分子泵系列。性能测试和现场试验与过去的水冷型相比，在抽速、压缩比、极限真空、剩余气体、振动、噪声等方面都得到了等于或超过以前的结果。新型空冷涡轮分子泵的特点是： （１）不需水冷，所以安装和操作简单，而且可靠。 （２）润滑油的寿命长，超过一年。 （３）与溅射离子泵和冷凝泵等其他超高真空泵相比，运转和维护费用最低。 该新系列的研制是把日本岛津多年经验的飞机用高速转动机器和各种真空机器的设计、制造技术为基础而实现的。同时还研制了具有不同特点的控制回路和保护回路的泵用高频电源。因为涡轮分子泵既适用于无油反复抽降，也适用于长时间超高真空抽气，所以可望广泛应用．目前研制的空冷涡轮分子泵有抽速 ２２０升／秒、４５０升／秒和１４５０升／秒三种规格。     

TURBOVAC型立式轴流涡轮分子泵的设计结构和数学理论计算

在ＳＮＥＣＭＡ和ＣＥＡ两家公司己取得经验的基础上，近几年来ＴＵＲＢＯＶＡＣ型涡轮分子泵已发展成为一个系列。本文介绍了其中的２００，４５０和１５００型的分子泵；描述了立式涡轮分子泵的设计结构和操作方法；详细地介绍了一种数学理论方法，这种方法参照单级和多级压缩机来设计涡轮结构。     

涡轮分子泵电源制动单元的研究

研究了涡轮分子泵电源制动单元的设计、制动功率和制动电阻的计算方法。为涡轮分子泵选用理想制动电阻提供依据。根据此设计和计算方法为我公司生产的FD系列涡轮分子泵电源选用了最佳的制动电阻,使涡轮分子泵的停车减速时间大为缩短,该泵的性能和效率显著提高。     

分子泵的世纪回顾与展望

分子泵自1912年诞生以来,至今已快近一个世纪了,它在初期进展较缓慢,在1970年以前,分子泵的应用还仅限于核物理,电真空,表面科学等领域,但近20年来由于半导体产业的兴起和薄膜工业的发展,分子泵才被人们所重视,并得到了兴旺和发达,现代的分子泵已发展到实用和普及的阶段,本文回顾了分子泵分析近百年的发展历史,详细地介绍了分子泵在各个时期的发展状况,对初期的分子泵,涡轮分子泵,磁悬浮轴承和气体静压静轴式涡轮分子泵,复合式分子泵,低温型涡轮分子泵,新型牵引分子泵,陶瓷涡轮分子泵,轴反应生成物的涡轮分子泵和极高真空涡分子泵等做了重点的分析,最后指出分子泵的发展前景。     

高效,节能的分子泵电机

分子泵电机是分子泵的关键部件之一,它的质量直接影响分子泵的质量。原分子泵电机效率低,能耗大,一直是围绕分子泵设计的重要问题。目前重新设计了一种高效、节能的分子泵电机、它不但克服了原电机的不足之处,而且大大的提高了各项性能指标。     

涡轮分子泵在磁场中的问题

随着涡轮分子泵在等离子物理学中应用的增加，在涡轮分子泵附近的强磁场问题，越来越经常地被提出来了。假如涡轮分子泵的旋转叶片，以高速度在磁场中旋转的话，则旋转叶片中的涡流，会引起泵的意外发热。每台涡轮分子泵的磁力线密度，由一系列泵的实验来测定。对磁场比较高的密度来说，必须使用屏蔽元件，因为泵的旋转叶片过分发热，会引起泵的损坏。     

粒子加速器用磁滞式电机的涡轮分子泵

普通的涡轮分子泵采用电子变频电源或频率变换器，来提供涡轮分子泵的起动电源（频率发生器）和速度调节的保护控制。由于从几种设计中受到启发，研制了一种带有自动同步磁滞式电机的涡轮分子泵，用于核物理加速器或其它大型设备中。该电机不要求特殊专用电源。本文介绍了一种可以由中心电源操纵的涡轮分子泵，中心电源可以提供稳定电压和中频电源。该涡轮分子泵能够直接接在电源上，对于涡轮分子泵的广大用户来说，这样可以大幅度降低购价和安装费用。     

新书介绍

苏联最新出版一书──涡轮分子真空泵 共 119页,其内容丰富,篇幅短小精悍。是真空技术方面一本很有实用价值的新书。该书着重的介绍了有关涡轮分子真空泵的理论、转子的计算、抽气性能的计算,以及泵的结构设计等等。对我国涡轮分子泵设计、研制、使用将起到一定参考作用。此外本书还叙述了苏联以及西方国家试验研究结果。本书作者E· C· 是莫斯科鲍曼高等工业学校教授,长期从事分子泵方面的研究,是苏联分子泵方面的权威。 本书适用于从事涡轮分子泵设计、制造、应用的工程师及科研工作者,对从事各种类型真空设备的设计、调试及使用维修的…     

JGP—600型磁控溅射薄膜沉积装置的研制

本文介绍了一种新的ＪＧＰ－６００型磁控溅射沉积薄膜装置。该装置采用射频和直流兼容的磁控溅射靶，靶－基距可以在工作时调节，ＫＡＵＦＭＡＮ源离子束清洗，涡轮分子泵真空系统，磁力偶合输送机构及行星转动工作架。测试表明本装置是一台先进的半导体工艺设备，７５ｍｍ样品的膜厚均匀度不大于５％。     

双拖动分子泵

介绍一种新颖拖动分子系，其抽速达到传统拖动分子泵的30倍左右，达到了涡轮分子泵的水平。该泵高压强（1～100Pa）性能明显优于涡轮分子泵。泵的结构则简单得多。     

涡轮分子泵与钛升华泵的组合真空系统

涡轮分子泵，钛升华泵各自对不同种类的气体有不同的排气性能。利用它们的特性来互相弥补彼此间的缺欠而获得低的极限压强和大的抽速。本文叙述了这种装置的设计方法和试验情况。从设计出发点至达到的预想效果都进行了较系统的介绍。该装置得到了满意的效果，获得１０－１１托的极限压强，对氮气或空气的抽速为３０００开／秒左右，而对于氢气的抽速为１万升／秒。并对涡轮分子泵和钛升华泵联用的系统获得超高真空的方法进行了讨论。     

改进的涡轮分子泵

本文介绍了一种抽速达1600升/秒的最新式涡轮分子泵的结构和性能。为了达到所要求的抽速,叶片的几何形状、叶轮的排列方法,以及压缩比的选择,都是根据不含有经验成分的理论,从大量模型泵中计算出来的。这种泵的机械尺寸与十年前相同,而抽速却超过了10倍。新型泵还安装了一种对水蒸汽抽速为1600升/秒的多层液氮致冷板。 1958年N.Becker描述了第一台商品化的轴流涡轮分子真空泵(普发伊费尔公司 TVP500型)。Becker认为,涡轮分子泵的工作原理来源于盖德的分子牵引抽气的理论,所不同之处在于它在工作时在互相牵引面之间采用较大的间隙,而且这…     

关于涡轮分子泵的调频起动及FB型分子泵专用电源的工作特性

近些年国内在立式涡轮分子泵的试制和生产上取得了很大成绩。分子泵具有良好的性能,除泵体本身的精心设计和加工制造外,它的专用电源在保障分子泵运行稳定、不受冲击载荷、延长涡轮叶片的寿命以及缩小分子泵体积等方面,都起着积极的作用。因此分子泵专用电源性能的好坏,常常成为一个重要的问题。这是因为分子泵电源是一种能够使异步电机获得良好的调速特性的专用电源,如果我们在试制中对这种电源应具有的工作特性注意不够,就不可能在与泵体的配合上取得满意的结果。 一、涡轮分子泵在加速过程中 对调频调压调速电源的要求 由于涡轮分子泵的…