高效压缩空气（气体）过滤器的试验方法

在过去的十年中，将压缩空气净化至极高纯度巳变得非常重要，因为在药物、饮料、化学精制、食品、电子及海上工业中，为了消除液体油、气态碳氢化合物及亚微米级粒子，都需用特净的压缩空气。     

气体屏蔽过滤器

气体屏蔽过滤器杉浦博文１半导体制造业用气的过滤器近年来，在半导体行业的高纯气供给系统中，气体过滤器是除粒子、水份及有机物必不可少的装置。但由于安装了气体过滤器，其滤芯自身磨粒清落引起粒子增加、过滤器材质脱气、或腐蚀性气体对过滤器材质的腐蚀、压差等会产...     

超净气体输配管道的施工验收技术

本文作为“高纯，高洁净气体输配管道的配管技术”一文的延续和补充。文中进一步阐述超净管道的配管标准，终端过滤器的功效，严谨的施工保障措施，以及验收的检测方法等细节问题，为设计，施工人员提供一个良好的借鉴。     

液化气体的微型过滤器

现在,在Messer Grishiem使用的Megabran过滤系统只能在气体状态下过滤液化气体。在法兰克福的空分装置中已将这种过滤系统成功地用于生产高纯无微粒气体。用两组串联的真空绝缘过滤器可有效地控制>0.1μm的微粒。采用Megabran系统     

高效气体净化过滤器

用过滤器除掉气体中的尘埃微粒，国内、外巳得到普遍推广应用。近十多年来，集成电路技术发展相当迅速，集成度愈来愈高，功能愈来愈多，构造愈来愈复杂，线条宽度愈来愈细，加工制造愈来愈难。气体中的尘埃微粒对集成电路的质量及成品率有极大的影响，严重者会导致整个电路报废。     

高效气体脱氧管的研制及其特性

言前随着新技术的发展,各方面对气体纯度的要求越来越高,特别是对气体中杂质氧和水的要求更为突出。半导体及微电子器件生产工艺用的携带气、稀释气、反应气和保护气;电真空加工用的稀有气体、常用气体;色谱及其它精密仪器用的载气、零点气及校正用标准气;金属有机合成、催化剂研制与     

要保持有毒和有危险性气体用超净气体系统的可靠性

要保持有毒和有危险性气体用超净气体系统的可靠性在半导体制造业中，使用的气体处理系统可分为三类：自燃／可燃、腐蚀性／毒性和惰性。当系统中的杂质与工艺气体相结合时，常常会出现问题。自燃气体，如硅烷（ＳｉＨ４），当它暴露在室内空气中时，可以发生爆炸反应。它...     

高效气体发生器氦检系统的设计研制

针对汽车安全气囊气体发生器自动化装配生产线中氦检工位检测精度与工作节拍矛盾的问题,结合真空箱氦检法的优点,设计了高效气体发生器氦检系统。基于发生器结构组成和氦检工作原理的特点,进行了理论计算和气动控制系统设计,在该系统中进行了大漏检测、无氦气填充实心件检测和标准件在线检测实验。实验结果证明,系统大漏防错件检测压力均大于180 Pa,合格产品检测压力均小于60 Pa,无氦气填充实心件的氦检漏率在10^-10Pa·m³/s数量级,在线产品氦检泄漏率均小于2.7×10^-7Pa·m³/s,氦检节拍小于8 s,氦检系统的检测功能、工艺流程和防错等方面能够满足发生器自动化产线要求。     

锥形粉末冶金过滤器的研制

较详细地论述了不锈钢粉末冶金过滤器的制造工艺及原始粉末形状、粒度、压制压力和烧结温度对过滤性能的影响。采用合理的工艺参数研制出性能达到国际水平的不锈钢粉末冶金过滤器并已用于生产。     

自洁式过滤器与板式高效过滤器比较

介绍C55M×3型和C95055M×3型离心空压机入口分别采用板式高效过滤器和自洁式过滤器的使用情况,从过滤效果、空压机运行状况以及经济性3方面对两种过滤器进行了分析比较,阐述改善自洁式过滤器过滤效果的措施以及自洁式过滤器和板式高效过滤器较经济的使用场合。     

电子级高纯气体过滤器研制成功

高纯气体中尘埃粒子的存在,不但严重影响了电子产品的质量,而且使电子元件制备工艺不稳定和成品率降低。因此,排除尘埃粒子对高纯气体的污染,是气体洁净技术中的一项必不可少的重要工作。为了满足电子工业的需要,1986年9月,北京市特种气体研究所承担了“七五”科技攻关项目高纯气体净化的研究。对于4.5N氧、4.5N氮、5.5N氩、5.5N氢5.5N、氦等5种电子级高纯气体,要求研制的过滤器能有效地控制尘埃粒子使对5微米(16K位)的电路,粒径>0.5     

工艺气体过滤器过滤介质的评价

现代微电子电路的生产需要非常纯净的气体和液体,其中杂质粒子的含量必须非常稀少,且其直径均在亚微米量级。理想状态是无杂质粒子存在。目前,常用薄膜过滤器来去除杂质粒子,实践表明,它具有较高的过滤效率。     

采用高效密封式马达的气体压缩装置的研制

日本前川制作所已研制成一种采用高效密封式马达的气体压缩装置。该装置是按新技术开发事业团的委托进行研制的。这项技术的发明是以科学技术厅金属材料研究所的研究成果为基础的。     

尘埃粒子计数器校准装置的研制

采用“尘埃粒子计数器-凝结核粒子计数器-气溶胶静电计”的逐级溯源方法,开展了尘埃粒子计数器校准装置的研制。首先采用可溯源至国家电阻及电压标准的高值电阻和直流电压源,对气溶胶静电计的响应电流进行了校准;之后利用比对法和稀释技术,对凝结核粒子计数器进行了校准研究,最后将凝结核粒子计数器作为量值传递标准,通过比对法实现对尘埃粒子计数器的校准,校准结果可溯源至国家电流标准。     

高效除油过滤器使用小结

<正>我厂1994年3月购西安压缩机厂净化设备分厂一台 GYL-16/50型高效除油过滤器,在安装和使用过程中碰到了一些具体问题。为了在制氧工艺上更好地使用高效除油过滤器,现将碰到的问题及改进方法作一小结。     

核电厂用高效过滤器介绍

本文结合核电厂用高效空气粒子过滤器的使用情况,对核电用过滤器分类,效率测试方法尤其是钠焰法、荧光素钠法,阻力及容尘量实际判定方法进行了说明和分析。     

锥形粉末冶金过滤器的研制EI

较详细地论述了不锈钢粉末冶金过滤器的制造工艺及原始粉末形状、粒度、压制压力和烧结温度对过滤性能的影响。采用合理的工艺参数研制出性能达到国际水平的不锈钢粉末冶金过滤器并已用于生产。     

脱除痕量硫化氢气体的化学反应过滤器试验

由于环境空气中常常含有痕量流化氢气体，在象半导体加工制造那样对污染敏感的设施中，可能需要使用化学反应过滤器来净化气源．叙述了在脱除痕量硫化氢气体所用这种过滤器的性能．采取分析银和镀银表面在要过滤的硫化氢污染气体中的脱色情况来评价．另外，通过荧光Ｘ射线分析来测量达银样品表面硫的峰值．结果发现，Ｈ２Ｓ浓度＜３×１０（－９）时，腐蚀速率（表面反应）和所得的脱色现象是微不足道的．     

在低温冷却器中用过滤器保证高纯度气体

设在英国Hatfield的英国航天公司的空中武器部(Air Weapons Divison)，最近开始生产一种很紧凑的低温冷却器。它是为满足红外传感器及相关技术的长周期工作需要而特别设计的。现在，这种装置可用于军用或民用的地而或空中雷达设备的配套。