日本超高真空技术概况

日本超高真空油扩散泵及冷阴极钛泵已有系列,超高真空蒸发设备亦有商品出售,其它如热阴极针蒸发离子泵及冷凝泵等均处于试验研究阶段。日本真空技术株式会社(以下简称为日本真空)在超高真空的生产研究方面在日本可居首位,该公司除了研究改进现有些户的超高真空设备外,其它的各种超高真空的获得方法及测量均在进行试验。日本电子株式会社,神港精机株式会社,和岛津制作所等,虽然亦生产了超高真空油扩散泵及超高真空蒸发设备,但所见到的产品不多,而且在研究方面花的力量亦是不大。日本电气试验所在超高真空方面主要是围绕电子零件的蒸发来进行,…     

以聚苯醚为介质的油扩散泵超高真空机组试制总结

一、概述 随着真空技术在国民经济各部门的广泛应用。油扩散泵超高真空机组同无油超高真空机组一样被应用在许多大型表面分析仪器上。如国外电子能谱仪ES200、ES300、BSCA650B和VG公司SSMD2型分子束外延设备都配有油扩散泵超高真空机组。尽管返流油蒸汽污染真空室,但当采取适当措施。如挡油帽、水冷挡板、冷凝阱等,可使返流油蒸汽大大减少。尤其扩散泵与离子泵、升华泵比较,造价低。运行可靠、使用维护方便。特别是在某些仪器上,如电子能谱仪、高频溅射仪等,大大优越于无油机组。 一近年来聚苯醚的问世,给扩散泵的发展以强大的生命力…     

镀膜设备真空系统主泵的配置

真空系统是真空镀膜设备的主要组成部分,其主泵的选择对真空性能影响很大,真空镀膜设备的发展要求真空性能清洁无油,动态抽速大.传统的以油扩散泵为主泵的设备不能满足要求,本文叙述了油扩散泵、分子泵及低温泵的特点及北京北仪创新真空技术有限责任公司开发以分子泵及低温泵为真空系统主泵的镀膜设备情况.     

具有冷冻升华阱的金属超高真空系统

在以金属油扩散泵为主泵的抽气系统中,附加一冷冻钛升华阱,消除了一般扩散泵抽气系统中普遍存在的压强脉动现象,获得了1× 10-11乇的极限真空。这是目前用来获得同等真空水平的简单、经济、适用的好方法。而且实质上是一台用有油的手段达到“无油”目的相当清洁的系统。 一、引言 油扩散泵抽气系统几十年来都是用以获得高真空和超高真空的重要抽气手段。但是近年来由于表面物理,空间模拟,电子器件等科研和生产对更清洁的真空环境的要求,完全采用无油抽气手段获得清洁真空环境的所谓“无油”系统迅速地发展起来。因此流行着一种看法:认为采用…     

1989年《真空》杂志主题目录

14C 真空技术及设备 用国产锆一铝吸气剂获得极高真空性能的研究 2(1) 大型全金属超高真空规管比对系统 2(40) 五级金属油扩散泵的研制 2(52) 短叶片涡轮分子泵──一种复合分子泵 2(58) 爪型泵型线的研究3(9) 制冷机低温泵中光屏蔽问题的探讨 3(34) 真空阀门的改进3(45) 用于     

复合离子泵的研制与调试

我厂是生产电真空器件的工厂。为了减少油蒸汽对器件的污染,原来所用的无油超高真空系统是以溅射离子泵为主体泵,尽管溅射离子泵有使用方便、可靠、极限真空度高、寿命长等优点,但也存在着启动压强低、用机械泵做前级难以启动,以及抽速低不能承受较大放气量(如电子管阴极分解时     

JK型真空机组油扩散泵的修复

JK型真空机组主要由机械真空泵和油扩散泵组成,是高真空的获得设备。目前,在科研单位、学校、企业等都得到广泛应用。我厂从1977年起有14台JK──10(JK-200A)真空机组用于生产。 JK型真空机组工作时,机械真空泵是做为前级泵。在扩散泵工作前,使系统和扩散泵内达到一定的预抽真空度(≤5×10-2托)。在扩散泵工作中,把送到排气口的气体抽出泵体。扩散泵是获得高真空的主要设备。扩散泵加热后,泵内油蒸发,油蒸汽连续不断沿导流管经过备级喷阻得到高速蒸汽流。被抽容器的气体,由进气口扩散到蒸汽流中,即被高速蒸汽流迅速带走。蒸汽与其夹带的…     

1991年国际真空标准会议在莫斯科召开

国际标准化组织 ISO/TC 112真空技术专业委员会定于 1991年 4月 15 日至 4月19日在莫斯科召开国际真空标准会议。会议由 ISO/TC 112真空技术委员会秘书国苏联主持,参加会议的有“P”成员(积极成员)和“O”成员(观察员)全体。我国从 1989年起为“P”成员国。经国家科委批准由中国真空学会副理事长、国家真空标准化委员会主任姜燮昌率领中华人民共和国代表团赴苏联参加会议,团员有杨乃恒、李承禄、路玉玲、孙东等组成。会议主要内容有: 1.真空元件(法兰、管路、观察窗、导入元件)的尺寸参数标准。 2.油旋片泵、扩散泵、冷凝泵、涡轮分子…     

国外油扩散泵、钛泵近况

一、油扩散泵 自进入七十年代以来,国外油扩散泵制造厂的产品都已进入稳定和成熟阶段。很少有新品种出现。各主要生产厂都具有一种或数种系列的定型产品。从文献资料来看,自六十年代后期以来,就很少发表扩散泵理论研究的文章,改进扩散泵局部结构的专利也逐年减少。实验室研究重点是放在如何减少扩散泵的返油到10-6(毫克/厘米2·分)以下和测量微量返油的方法。 极限真空 油扩散泵在六十年代初期是因为出现了DC-705硅油,而再度被重视和发展的。由于DC-705硅油极低饱和蒸汽压力特性,使扩散泵能获得10-8-10-10乇的超高真空,这样才使扩散泵适应…     

玻璃扩散泵的新发展(Ⅲ)

本文对超真空玻璃油扩散泵获得大抽速作了一些分析,认为采取扩大泵的腔体和进气口径是克服玻璃材料强度差,获得较大抽速的两种好办法。并介绍了两种新型超高真空凸腔玻璃油扩散泵的设计和特性,泵的极限真空是1x10～-15乇,抽速分别是550升/秒, 850升/秒。 一、概述 油扩散泵增加抽速,除在结构上改进外,最有效的途径是扩大泵径。扩大泵径目的是为了使各级喷咀得到大的过流面积和大的进气口径,大幅度地增加油扩散泵的抽速。影响油扩散泵高真空抽速的主要部分是顶喷咀的过流面积,对顶喷咀来说,为了有利于气体分子的扩散,要求工作的蒸汽流是高速…     

扩散泵真空系统的运转和维护

本文详述了扩散泵真空系统的污染来源。说明了减少这些污染的方法。还提出了合理的抽气方法,特别强调采用干燥的氮气净化气体。 引言:本文的目的是汇集在真空技术的各个领域中合理使用扩散泵、机械泵机组,降低在抽气过程中来自有机泵油、人造橡胶一密封圈以及真空油脂等污染的经验。以前发表过的很多资料[1-3],从过去几年的经验表明还没有被广泛了解,为了进行更清洁的真空处理,还要更好地宣传。 讨论:我们规定污染就是系统里的各种有害气体,通常是可凝气体或活性气体(如油、水、氧),并考虑污染来源。图1表示不考虑机械泵的简化的扩散泵系统…     

玻璃扩散泵的新发展(I)

前言 玻璃扩散泵问世最早,自从盖德·朗缪尔·格劳佛等发明了玻璃扩散泵、水冷凝泵和平行喷射蒸汽泵后已有五十多年了,但是,由于后来金属扩散泵的迅速发展,使它在近十几年来发展极为缓慢,技术性能大大地落后于金属扩散泵。前几年,国内立式玻璃四级油扩散泵的出现,为玻璃油扩散泵的设计提供了新的途径。玻璃具有低的化学活动性、清洁,容易获得绝对不漏的焊接,加之制造和使用又很简便,用来制造50—1000升/秒抽速范围的超高真空油汞扩散泵是很适宜的。玻璃超高真空扩散系已在实验室,电真空器件工厂等方面得到广泛而普遍的应用。所以,玻璃扩散泵…     

Φ45和Φ50直角式超高真空阀简介

在毛主席的“独立自主、自力更生”方针指引下,我国的电子工业、国防工业、科学技术等方面都有了迅猛异常的发展。为此,超高真空技术也得到了广泛应用。我国电子工业近两年来,对超高真空专用设备的需要越来越迫切,很多兄弟单位都在进行超高真空设备的研制,如超高真空镀膜和排气,以及科研方面所需的超高真空系统等等。在这些排气系统中都需要一套可以烘烤除气的截止阀。七零年在试制超高真空离子泵(包括冷阴极和热阴极)和去年试制超高真空离子泵排气台时,我们对φ45和φ50直角式超高真空间作了初步研制。实践证明这种阀,用铝垫密封,能在200℃…     

中国真空学会第五届真空应用学术会议论文目录

真空技术vl。JLS一300无油超高真空机组·””·“·“·“一”””·“一”””·”一胡昌官金葆荔白玉礼(南光机器厂)V2.低返油玻璃扩散泵”·”·“一”·”·”·“·“··””··“”··”“·“··“”·“.”·“一李兰花王全盛(上海灯泡厂)v3.真空镀膜机油污染检侧     

玻璃油扩散泵的应用

扩散泵是一种利用高速定向蒸汽流喷射抽气原理制成的真空获得设备。按泵的构成材料来说可分为金属扩散泵和玻璃扩散泵两类,按使用的工作液来说又可分为油扩散泵和汞扩散泵。由于玻璃油扩散泵具有使用简便、造价低廉、制作简单、极限真空度高、返油率低、同时又无毒害等优点,使得它在工业生产和科学研究各部门获得了广泛的应用。但是由于玻璃油系存在着机械强度差,泵的抽速受到玻璃管道的限制等缺点,使得玻璃油泵只能够适宜于作为小容器的真空获得工具。在电真空器件、激光管、特种光源等的工业生产中,在各种科研的小容器超高真空实验装置中,…     

新型玻璃水银扩散泵的研制(二)

玻璃水银扩散泵早在20世纪初就巳获得应用,但是当高性能的油扩散泵出现后,水银扩散泵除在一些特殊用途使用之外,一股就不再用了。 水银的蒸汽压在常温下为10-3托,欲得到压强低于10-3托的高真空,必须利用冷阱才能获得。因而操作繁杂,运转费用增加,特别是水银蒸汽对人体健康的危害和环境的污染是限制它广泛应用的主要原因。 但是水银扩散泵也有其独特之处,单原子的水银分子在高真空条件下不分解。而多原子的油分子则不同,会分解出一些碳氢化合物,使被抽系统受到污染,这对某些应用部门来说是不许可的。 近年来冷冻技术的飞速发展,液态氮和干冰…     

清洁的超高真空技术(综述)

本文首先叙述了清洁超高真空的基本概念，并指出了污染的来源及其危害性。 叙述了各种清洁的超高真空获得手段。主要介绍了溅射离子泵、升华钛泵和用油扩散荣获得清洁的超高真空的方法。 叙述了用分子筛泵和机械泵获得粗真空的方法。 介绍了鉴别污染的各种方法及在超高真空中各种清除污染的方法。     

美国真空技术代表团来沈技术交流介绍(下)

美国真空设备制造商贸易代表团第二批四家公司,有ALCA-TEL真空产品公司、CTI空气产品与化学公司、 MILL LANE技术公司、MKS公司于一九八二年六月十三日至十五日在沈阳进行了真空技术交流活动。 交流的重点为旋片真空泵、罗茨真空泵、高真空和超高真空金属油扩散泵、低温泵及其应用、真空阀门、真空镀膜机、真空──压力──流量测量与控制仪器、真空技术标准化和检测技术等。 交流期间还参观了沈阳真空所和中国科学院沈阳五0七厂。 一、各公司概况 ALCATEL真空产品公司建于一九七六年,共有职员一万九千五百余名,下设六十五个公…     

电离吸气钛泵及其在电子管排气中的应用

无油超高真空技术对真空器件的研制和生产来说都有它特殊的意义。从现有掌握的资料来看,无油超高真空排气不但能提高电子管的发射性能,改善耐压,耐高频性能,使管子的合格率和优品率提高,还能缩短管子的排气时间,改善排气环境,不怕突然停电等优点。现在国内在电子管排气中广泛使用以溅射离子泵为主,升华泵为辅的组合形式钛泵,这样的组合使排气系统体积庞大,笨重,价格贵,因此,在电子管生产上推广应用还有很多技术问题需要解决。 电子管排气与其它超高真空无油抽气装置有着很多不同的地方,如管子体积一般都较小,管子与系统联接都有一根通导能力…     

二极式冷阴极溅射离子泵

冷阴极溅射离子泵是获得超高真空的重要工具之一。随着电子器件对超高真空环境洁净程度的要求愈来愈高,这种没有工作液蒸汽污染的冷阴极溅射离子泵用于真空排气比油扩散泵具有突出的优点。我们在试制行波管排气台时,研制了400升/秒离子系,现将研制情况简介如下。 (一)冷阴极溅射离子泵的工作原理 在了解冷阴极溅射离子泵前,先谈一谈有关气体离子电离以及离子泵的必要概念。我们知道,分子由原子组成,原子又由带正电的原子核和带负电的绕核运动的电子组成。在正常情况下,正负电荷平衡抵消呈中性状态。这些绕核运动的电子,处在距原子核距离不同…