场发射透射电镜真空系统的并行自动抽气控制

真空系统是场发射枪透射电镜的重要组成部分.按照场发射枪透射电镜对真空提出的要求,规划了真空系统的构成,设计了抽真空的流程.采用真空泵并行抽气的工作方式,缩短真空抽气时间,提高真空泵的利用率.通过隔离阀的通断实现了真空泵抽气对象的切换,通过计算机程序控制PLC实现了真空的自动抽气.通过测试,能够达到预定的真空度要求.     

涡旋干式真空泵结构对抽气性能的影响

本文主要讨论了涡旋干式真空泵抽气通道和密封的结构型式对抽气性能的影响，并提出了最佳的设计方案。     

高压差罗茨泵组合抽气系统在大型减压蒸馏深拔装置的应用

与蒸汽喷射真空泵抽气系统相比,罗茨真空泵组合抽气系统具有启动快、节能效果明显等特点,正在被越来越多的减压蒸馏装置所采用。本文介绍了一种高压差罗茨泵组合抽气系统在大型减压蒸馏深拔装置上的应用,详细说明了该系统的结构组成、控制原理、性能参数及一些关键技术问题的解决方案。     

320MW机组抽气系统改造可行性分析

抽气设备是凝汽器建立和维持一定真空度的重要设备,它对核电厂经济、可靠地运行有着重要的影响,通过对比射汽式抽气器与当前主流的水环式真空泵,对320MW机组现有的射汽式抽气器进行改造优化的可行性进行分析探讨。     

罗茨真空泵机组抽气速率分析

罗茨真空泵机组因配用前级泵不同和所处工作压力范围的差异，相应其抽气速率变化较大，设计中应根据具体工况条件及真空系统使用要求，力求使罗茨真空泵机组体现好的适用性和经济性。     

生产过程和工艺技术用的干式三级前级抽气系统

目前已开发出一种干式抽气系统，它与今天已面市的前级真空泵（爪形转子）罗茨转子原理）不同，具有许多明显的优点，这种抽气系统的两个转子是通过一齿轮对作相对旋转，转子几何开关特点是，其中一各转子只起抽运介质的作用另一个转子则是起关闭进，出口截面（控制转子）作用。这种转子型线在几何形状和分级方面起到极好的相互调节作用。图１是从吸气到排气的抽气相位图，示出三个抽气阶段中的一个抽气相位，理论抽速可用（Ｖ１＋Ｖ     

涡旋式无油真空泵抽气机理的研究

本文从涡旋式无油真空泵涡旋体型线的基本几何理论入手，对涡旋式无油泵的抽气机理进行了深入研究，在此基础上建立了涡旋式无油真空泵的主要性能参数的计算公式，并给出了涡旋式无油泵的计算实例，为涡旋式无油泵的设计计算提供了理论依据。     

确保最佳的干燥程序——正确选择和使用真空泵可确保最佳的干燥程序

真空泵最重要的用途之一就是作为化学和制药工业中的真空干燥设备，它是在保护条件下从固体物料中分离液体的一种方法。通过正确选择真空泵以及让抽气速率与工艺流程相匹配可以大大降低干燥的时间。[编者按]     

真空预冷中捕水器与真空泵的优化匹配研究

真空预冷过程中捕水器能力与真空泵抽气能力匹配决定着预冷过程的质量。通过对预冷过程中水蒸汽为理想气体的假定,分别计算了捕水器和真空泵在匹配时所需要的能耗。在这基础上,对真空预冷系统所需要的能耗进行了计算,并在一台真空预冷实验台上对装载率为60％时的白菜了实验研究,并和理论结果进行了比较。结果表明,在确定的工作条件下,单位时间内的能耗只是与抽气量有关,而整体能耗则取决于所需要预冷的果蔬,与系统参数无关。     

用于大尺度团簇交叉碰撞实验的差分抽气系统的设计与真空监测

本研究是给大尺度团簇与微团簇交叉碰撞实验提供一套性能稳定、真空度高的差分抽气系统。介绍了差分抽气系统的整体结构、真空泵以及真空测量与自动记录系统的性能。实验测试了差分抽气系统达到稳定真空的时间等参量,分析了第二级差分抽气区真空值异动的原因。用脉冲喷射的实验方法,测试了差分抽气系统工作性能及指标,并对装置可以改进的方面做了一些探讨。     

气冷式直排大气罗茨真空泵及机组的热平衡计算

气冷式罗茨真空泵需要携带泵外换热器，以保证泵在高压差下正常工作而不会产生过热，热平衡计算是泵及机组成功设计的关键，本文对热平衡计算进行了探讨，研究表明，气冷式罗茨真空泵的温升，取决于工作气体本身的性质以及泵排气口压力与进气口压力的比值（即压缩比）。     

罗茨真空泵试车与运行

介绍了干气提浓装置变压吸附工序中抽真空设备罗茨真空泵,通过对罗茨真空泵气密、试车、运行过程中出现问题的讨论,提出一些解决办法和改进措施,确保泵组的安全平稳运行以及装置的长周期运转。     

油气混和状态真空抽气系统试验初步研究

根据系统抽真空要求,完成管路设计选型与抽空能力计算.针对混和型介质及系统防火防爆的特点,优先选用干式真空泵.通过搭建真空管路系统,针对不同抽速真空泵、不同管路长度、不同抽空容器、不同混和介质开展多组试验.试验结果分析表明,干式真空泵能够满足抽空要求:管路中最小管径的管路长度对抽真空时间有较大影响;在本次试验条件下,环境温度变化对抽空时间有一定影响.     

钢液炉外精炼设备真空系统的设计分析

本文综合一些国内外有关资料，讨论了钢液炉外精炼设备真空系统设计中的一些技术问题，对放气量的确定、真空系统的气体负荷的等效换算以及真空泵容量的选择和能源消耗等进行了分析。给出蒸汽喷射泵的抽气能力与真空度的关系，可作为钢液炉外精炼设备的真空系统设计时参考。（注：1 Torr=133Pa）     

水环离心真空泵在氧气充装系统中的应用

为保证气瓶充装的安全性,武钢氧气公司在新建氧气充装站时配置了一套气瓶抽真空装置。介绍选用的水环离心真空泵的工作原理和技术参数以及氧气充装系统的工艺流程。使用效果证明,在氧气充装系统安装气瓶抽真空装置,不仅可以降低氧气瓶发生化学爆炸的危险性,而且可以提高产品合格率。     

钢包真空脱气处理工艺及设备

随着炼钢技术的飞速发展,真空脱气处理技术成为减少钢中气体和非金属杂质的有效措施,其关键在于如何获得真空.本文以某厂利用蒸汽喷射泵的钢水炉外真空处理为例,介绍了真空系统的设备组成,阐述了真空泵的抽气理论,利用边试验边改进的方法来优化蒸汽喷射泵的抽气性能.最后,给出了钢水的真空脱气处理工艺及其效果.     

充入气体含水量对超高真空系统排气特性的影响

在未烘烤的超高真空系统中，真空室表面所吸附的水蒸汽是影响排气时间及极限真空度的关键因素。通过实验，对充气气体中水蒸汽含量及操作方式与真空系统排气特性的关系进行了测试，为超高真空系统操作工艺的确定提供了依据。     

镀膜设备真空系统主泵的配置

真空系统是真空镀膜设备的主要组成部分,其主泵的选择对真空性能影响很大,真空镀膜设备的发展要求真空性能清洁无油,动态抽速大.传统的以油扩散泵为主泵的设备不能满足要求,本文叙述了油扩散泵、分子泵及低温泵的特点及北京北仪创新真空技术有限责任公司开发以分子泵及低温泵为真空系统主泵的镀膜设备情况.     

中性束注入器真空系统设计

中性束注入器（NBI）真空系统的性能对束传输效率以及整个束线内相关部件的使用寿命与使用安全影响极大。本文结合中性束注入器对真空系统的要求，对真空室的结构选择及气源分布进行了分析并对各气源的气量大小进行了计算。为NBI设计了一套以4．2K液氦低温冷凝泵为真空主抽泵并配以涡轮分子泵机组的抽气系统，采用此真空系统的NBI系统具有良好的真空性能。